太陽能電池片絲網(wǎng)印刷知識點匯總

1、出現(xiàn)過一種降級的電池片，是由于刮刀有缺口，造成三根主柵上都有一條突起的刮痕，容易引起包裝碎片和焊接碎片，希望各班引以為戒，發(fā)現(xiàn)相似的問題，及時更換刮條。G檔分類1、擴散面放反：Uoc:0.570.60 Isc：1左右 Rs:100-200左右 Rsh:10以內(nèi)，約為1FF：50以內(nèi)（30-40） Irve1:12（也有正常的） Ncell:2%左右主要參數(shù)特征：Irev1>12,Rs>100,Isc=1左右。解釋：擴散時下面和背面都成N型，但背面N型擴散的結(jié)淺，擴散面放反后，原下面的N型被Al摻雜為P型，原背面的淺結(jié)很容易被燒穿。2、部分?jǐn)U散：Uoc:0.580.60 Isc:34

2、 Rs:1020 Rsh:10以內(nèi)FF：50-60左右 Irev1接近12 Ncell:10%左右主要參數(shù)特征：Isc減小，Rsh<5,=10解釋：與上一個情況類似，下面有很多淺的結(jié)（被遮住的部分），形成局部燒穿漏電。3、正面粘有鋁漿Uoc 0.1左右 Isc:3左右 Rs負(fù)的 Rsh:0 Irev1>12Ncell<1% FF:2425主要參數(shù)特征：Rs=-30m, Rsh=0, Irve1>124、N型片或高度補償Uoc 0.02-0.06 Isc:5左右 Rs-20左右 Rsh:0 Ncell：2-3% FF:100200 主要參數(shù)特征：Rs<0, Rsh=

3、0, FF>100, Irev1=0.03解釋：N型片背面印刷鋁漿后成為P+型，下面擴散后形成N+型，從而產(chǎn)生電流。5、方塊電阻偏大Uoc 0.60-0.61 Isc:4左右 Rs:20左右 Rsh:10-20 Ncell：10%左右 FF:5060 Irev1接近1主要參數(shù)特征：Rs偏大, Isc偏小, Rsh偏小 解釋：方塊電阻不均的直接影響就是薄層電阻，此外應(yīng)為方塊電阻偏大，致使薄層電阻偏大，串聯(lián)電阻增大。6、方塊電阻偏小Uoc 0.2左右 Isc:3左右 Rs:-0.07左右 Rsh:0.2以下 Ncell：1%左右 FF:24多一點 Irev1>127、沒有擴散Uoc 0

4、.0002左右 Isc:0.03左右（正常偏低） Rs=0或為負(fù) Rsh<10或為0 Ncell：為0 FF:300-800 Irev1接近12或大于12主要參數(shù)特征：電壓和電流基本為0，串聯(lián)電阻為0. 解釋：沒有P-N結(jié)。8、銀漿混合不均勻Uoc 0.62左右 Isc:4.8左右 Rs=3-6 Rsh：60-90 Ncell：10%左右 FF:50左右 Irev1<0.2主要參數(shù)特征：串聯(lián)電阻偏大，短路電流偏小，并聯(lián)電阻偏大解釋：玻璃粉偏少，銀不能與硅充分結(jié)合，從而增大了串聯(lián)電阻。并聯(lián)電阻的增大是由于復(fù)合中心的減少（一般在金屬電極與硅接觸的地方會形成復(fù)合中心）。9、刻蝕未刻透Uo

5、c 0.57左右 Isc:1左右 Rs=0左右 Rsh：1-2 Ncell：1-2%左右 FF:30-40 Irev1>1210、刻過，將PN結(jié)腐蝕掉了。Irev1很大。11、不明原因Uoc 0.4-0.5 Isc:0.6-0.8 Rs:-2000左右 Rsh：1-4 Ncell：1左右 FF:30-40 Irev1>12主要參數(shù)特征：Rs<1000m, Irve1>12解釋：應(yīng)為嚴(yán)重?zé)?特殊：Uoc,Isc,Rs,Rsh,FF,Irve1>1212、測試異常：Rs值達到數(shù)千，這應(yīng)該是軟件問題。重裝軟件時，DB和DATA不用拷貝，其它文件直接覆蓋，Irev1=

6、0，應(yīng)該是反向偏壓設(shè)置錯了。13、周邊未刻蝕。Rsh<1,Irev1>12排查G檔片原因的步驟：1、看電性能參數(shù)，然后對照G檔片原因分析表，看一下是否以前曾出現(xiàn)過類似情況，不過G檔片分析表只能做為參考，不應(yīng)當(dāng)作證據(jù)指證任何工序。2、觀察外觀是否有異常，如下：背場是否有滾輪?。?條），判斷是否為RENA刻蝕不透。觀察是否為擊穿和隱裂。觀察是否有邊緣漏漿的現(xiàn)象。觀察是否背電極印偏的現(xiàn)象。觀察是否有微晶現(xiàn)象（1厘米內(nèi)的晶粒數(shù)多于10個）。觀察是否有手指印現(xiàn)象。觀察是否有斷柵的現(xiàn)象。觀察背場是否有特殊的圖形和印跡。觀察是否有刻蝕線，若沒有可以嘗試打磨。3、觀察燒結(jié)爐是否爐溫存在異常波動，若

7、Rs偏大的片子較多可以重?zé)?、觀察測試是否有異常，將G檔片放入其他線進行測試。5、若為Rs偏大，可以更換網(wǎng)版刮刀漿料，有可能為漿料攪拌不均勻，或被污染或干漿料瓶料瓶底料。6、片源是否為試驗片，是否為板P，是否為返工片，是否前面有流程卡混亂的情況。燒結(jié)爐進水壓力和出水壓力都在4-6之間，若有異常通知設(shè)備人員放水，同時觀察過濾網(wǎng)是否有雜質(zhì)附著，若堵塞，會進水，壓力>6.5，出水壓<4.在做板式PECVD出來的硅片，將會有4個對邊分布掛痕，在絲網(wǎng)印刷的第一臺背極印刷，放片時，要盡可能將掛痕壓在主柵線上，這樣使PECVD盡可能不影響硅片的外觀。烘干爐停下以后，降溫以后，再啟動容易在爐頂上

8、凝結(jié)，有機物液滴，有可能滴到片子或托盤上，需要事先擦一下，特別是背場烘干爐。排查G檔片原因和步驟：一、擴散面放反和未擴散電池片的區(qū)分（多晶）1、電性能上，放反和未擴散是沒有差別的，均為無Uoc,Isc,Irev1>12，這里的無Uoc,Isc是指Uoc<o.1V,Isc<1mA.原因：因為無論是未擴散還是放反，在電池片的正面都沒有形成有效的N層，即沒有PN結(jié)，所以沒有Uoc,Isc，又因為電池片為基片，姑子一個P型半導(dǎo)體，是可以導(dǎo)電的，所以正面和反面短接，Irev1>12.2、外觀上，放反的電池片是在二次清洗完成以后至PE鍍膜之前，由于特殊原因造成擴散面（N型）向下，非

9、擴散面（P型）向上，在非擴散面鍍膜，當(dāng)測試時光線照在非擴散面時，根本沒有電流產(chǎn)生，所以效率接近0.在外觀上，放反的電池片擴散工藝正常，二次刻蝕也正常，所以在擴散面的邊緣會有刻蝕痕跡出現(xiàn)，當(dāng)擴散面放反時，這些刻蝕痕跡會出現(xiàn)在電池片的背面，但是背面我們會印刷上背電場，在背電場的邊緣會有刻蝕痕跡。而未擴散的電池片，由于沒有進行擴散，所以沒有形成磷硅玻璃，而磷硅與玻璃具有親水性，能夠吸附HF和磷硅玻璃以及磷硅玻璃以下的硅層反應(yīng)，進而把PN結(jié)去除，如果沒有磷硅玻璃，電池片的表面呈現(xiàn)鈍化效果，所以阻礙了HF和硅層反應(yīng)，所以此時，從外觀上看，電池片的正面和背面都沒有刻蝕痕跡。3、P-N型。通過使用萬用表測量

10、電池片的P-N型，也可以斷定為何種G檔片，未擴散的電池片，正反面都沒有PN結(jié)，即都不存在N型導(dǎo)電區(qū)域，所以在使用萬用表測量其表面電阻時，它的值應(yīng)在104左右。而擴散面放反的電池片，其正面也是P型區(qū)域，表面電阻為104左右，但背面應(yīng)該存在N型區(qū)域，用萬用表測量表面電阻時，就在10左右。引起Rs偏大的原因：1、若發(fā)現(xiàn)某個時間以后，突然整體偏大，或是間斷性出現(xiàn)Rs偏大，是很有可能為印刷效果不好造成柵線和硅片之間沒有形成合金層，有空隙，造成Rs偏大，而此時的印刷效果與壓力很相關(guān)，將壓力增大，然后再等一會，觀察效果，一般會好轉(zhuǎn)。2、一般Uoc,Isc偏低的Rs大的G檔片，有可能為燒結(jié)原因造成的。而Uoc

11、,Isc偏高的Rs大的G檔片有可能為方塊電阻偏高的原因造成的。高串聯(lián)電阻片：燒結(jié)后的電池片，經(jīng)測試，串聯(lián)電阻高達10u以上。原因：一是燒結(jié)溫度與正電極漿料不匹配；二是正電極漿料被污染；三是由于正電極印刷不良；四是方塊電阻異常。處理方法：首先停止正電極印刷后硅片的流出，檢查燒結(jié)工藝是否有報警，然后用調(diào)墨刀把正電極網(wǎng)版底部的漿料鏟出去，添加新漿料試印刷5片流下去看效果，如果串聯(lián)電阻還是比較高，重新?lián)Q掉網(wǎng)版試印刷5片流下去看效果，問題還沒有解決的話重新開一瓶新漿料。測方塊電阻，取3片Rs>10m，再取Rs正常的2片電池片去測量方塊電阻進行對比，若有差異（即Rs偏大與方塊電阻的數(shù)值偏大正相關(guān)），

12、則說明這是由于方塊電阻異常偏大所導(dǎo)致的Rs偏大，通知擴散工藝員。需要我們對前道工藝有所了解。（比如各個中心方阻控制在多少，是雙面擴還是單面擴，大絨面和小絨面，酸制絨和堿制絨，干刻和濕刻都需要了解清楚）如果測試機有問題，先走標(biāo)片，再走重復(fù)性，最后互測，觀察是哪一個參數(shù)有異常，如果是串聯(lián)電阻互測偏差較大（大于0.5m）引起填充因子的偏差，就需要通知設(shè)備人員到場解決。如果燒結(jié)爐有問題，爐溫波動較大（溫度波動超過6）升高爐溫或是降低爐溫觀察一下效果。第三臺絲印機有問題，先更換漿料觀察效果，再調(diào)節(jié)印刷參數(shù)觀察效果。然后再排查一下前兩臺印刷機是否有問題。工藝員的處理原則：先搞清楚問題是否真的發(fā)生。問題為什

13、么發(fā)生。善后和避免此類問題再次發(fā)生排查異常情況的原因時最常用的，最有說服力的方法就是對比實驗：測試系統(tǒng)的互測（10片）燒結(jié)爐的精確對比（20片）絲印+燒結(jié)的精確對比（20片）絲印整條線的精確對比（100-200片）在遇到突發(fā)的異常情況時： 先看一下從其他線拿幾片電池片在出現(xiàn)異常的生產(chǎn)線測試一下，排查一下測試 在看一下燒結(jié)爐溫圖像是否有異常 再看一下正電極是否剛加入漿料。分析異常電池的方法有： 電性能/數(shù)據(jù)趨勢分析 外觀（包括測試柵線寬度） EL測試 方塊電阻 PN型測試 打磨/重?zé)娦阅?數(shù)據(jù)趨勢分析： 開路電壓、短路電流和漏電是實測的值，即便是異常電池片這三個值也是可以反映電池片的性能。 而

14、串聯(lián)值和填充因子是通過IV曲線來模擬近似計算出來的結(jié)果，在測試異常的電池片時IV曲線可能是較特殊的曲線，而此時模擬近似處理的結(jié)果有可能就不準(zhǔn)確了，例如：串聯(lián)成百上千，或是負(fù)數(shù)等，只能作為參考值。 常見的問題可以通過數(shù)據(jù)趨勢的分析大概得到結(jié)論，從而節(jié)省了排查時間，提高準(zhǔn)確性。常見問題： 理論上每一片電池的電性能都是不同的，他們的溫度和光強也是不同的。如果發(fā)現(xiàn)他們的測試結(jié)果有一項一直是相同的，這就極有可能是測試機出現(xiàn)了問題。例如測試溫度一直是一樣的，那就有可能是測溫探頭失靈了。光強一直是一樣的，那就有可能標(biāo)片上有異物蓋上了，或是氙燈壞了。無開壓和短流，而且漏電很大的情況極有可能為放反或是未擴散。開

15、壓短路低一些，而且串聯(lián)電阻偏低的情況有可能為片源問題。短路電流偏高而串聯(lián)電阻偏高，有可能是柵線印刷過窄造成的。短路電流偏低有可能是柵線印刷過寬造成的。開壓和短流偏高，串聯(lián)很高，有可能是方阻擴散較大造成。開壓短流正常，只有串聯(lián)很大時，有可能是漿料問題也有可能是燒結(jié)爐的問題。如果一條線和另一條線相比串聯(lián)很穩(wěn)定，只是稍大1m左右，有可能是測試串聯(lián)偏大，有可能是燒結(jié)爐溫設(shè)定的問題，也有可能是柵線寬度的問題，也有可能是漿料輕微污染。外觀排查：觀察電池片的邊緣是否有漏漿（漏電大）觀察電池片是否有印裂（漏電大）觀察電池片是否有擊穿（漏電大）觀察電池片是否有邊框拉毛（漏電大）觀察電池片是否嚴(yán)重的網(wǎng)紋（效率低，

16、漏電大）觀察電池片是否有微晶（效率低，漏電大）觀察電池片是否有黑邊（黑邊很重，有可能漏電大；沒有刻蝕痕跡，也可能漏電大，但打磨有效）觀察電池片背面是否有滾輪?。ㄓ锌赡苈╇姶螅┯^察電池片背面是否有鋁刺觀察電池片背面是否有鼓包（溫度過高，印刷不均勻或漿料攪拌不均勻）觀察電池片背面是否有脫落和掉粉觀察電池片背面邊緣是否發(fā)白（PE繞射）觀察電池片是否有正電極脫落背電極（印刷過厚）測量電池片的細(xì)柵線寬度是否超過范圍（120m）外觀排查總的原則是：不影響電性能，不影響包裝碎片，不影響焊接EL測試： EL正偏發(fā)亮的區(qū)域表示此區(qū)域結(jié)特性正常，發(fā)暗的區(qū)域表明一種可能是這個區(qū)域的少子壽命很低，載流子無法起到傳送電

17、流的作用，另一種可能是這個區(qū)域電極和電池片之間的接觸電阻很大，還有一種可能是沒有形成pn結(jié)。 EL反偏發(fā)亮的區(qū)域的區(qū)域表明該區(qū)域有漏電，發(fā)暗的區(qū)域表明該區(qū)域沒有漏電。方塊電阻使用四探針測試未燒結(jié)之前的電池片更有說服力。單晶方阻45±5 多晶方阻54±6是目前擴散的正常方阻。 但是如果在燒結(jié)之后測試到方阻為70以上的時候，這就說明方阻有問題。 pn型測試 使用萬用表的K檔，測量其表層的電阻值。 1，如果電池片表層有氮化硅層，而氮化硅層不會導(dǎo)電，將會影響其測量的阻值。所以需要使用探頭將電池片表層反復(fù)磨蝕，去掉氮化硅的顏色才可以進行測量。 2，兩個探頭間相距0.5cm左右 3，當(dāng)

18、測得的結(jié)果為10100左右時，即為N型導(dǎo)電層； 當(dāng)測得的結(jié)果為10000左右時，即為P型導(dǎo)電層。 N型導(dǎo)電層導(dǎo)電電阻值低的原因： 1，在擴磷的過程中，擴散面相對與基底為重?fù)诫s，所以產(chǎn)生的導(dǎo)電離子較多，所以電阻值會降低。 2，N型導(dǎo)電粒子比P型導(dǎo)電粒子更為活潑，導(dǎo)電能力更強。正常情況下電池片正面為n型，電池片的背面為p型，如果測試到電池片的正面為p型則說明正面沒有擴散進入磷，或者是擴散的磷被刻蝕掉了。打磨/重?zé)槍β╇娸^大的電池片，而且外觀上沒有看到刻蝕痕跡，EL圖像顯示漏電發(fā)生在電池片邊緣，可以進一步進行打磨，但是要注意一下幾點：使用細(xì)砂紙進行打磨，否者容易蹦邊。電池片的每一個邊緣都必須要打磨

19、到，導(dǎo)角處也一定要打磨干凈。絲印的返工片不需要打磨，它肯定沒有效果。針對懷疑沒有燒結(jié)透的電池片，可以重?zé)幌?。重?zé)靶枰獪y試電性能，以便和重?zé)蟮碾娦阅軐Ρ?。重?zé)臅r候需要在電池片下面墊上假片，防止背場鋁珠。如果重?zé)院蟠?lián)降低，則有可能是未燒透；如果重?zé)蟠?lián)增加，漏電增大，則有可能是過燒了。漏電原因1、印刷鋁漿時網(wǎng)版的漏漿及承印面感光紙沒有及時更換所致。2、表面雜質(zhì)：主要是生產(chǎn)過程中環(huán)境因素影響，在鍍膜面上留下雜質(zhì)，印刷時如果和電極重合，在高溫?zé)Y(jié)時進入PN結(jié)導(dǎo)致漏電。3、漿料污染：銀漿長期暴露在空氣中，多次印刷過程中有雜質(zhì)混入，最終表現(xiàn)出來漏電。4、燒結(jié)溫度的控制，如果燒結(jié)溫度過高或是

20、硅片本身某個區(qū)域有很深的制絨深洞，在燒結(jié)時則會造成燒穿，Irev1增加。5、擴散時，某些區(qū)域擴散的P很薄，或是沒有擴散，則會造成正極和背場導(dǎo)通造成Irev1很大。6、在硅片的生產(chǎn)傳遞的任何一個環(huán)節(jié)，對硅片的污染（即便戴上乳膠手套或是吸筆的碰觸）均會引起Irev1偏大。單晶更為明顯，板P更為明顯。7、微晶片（1厘米內(nèi)晶粒數(shù)目達到或超過10個），在有微晶的位置，雜質(zhì)C和O含量較高，更容易造成Irev1很大。8、網(wǎng)紋存在的位置氧含量較高，更容易被腐蝕，絨面更深，所以外觀上發(fā)暗，也更容易擊穿或是Irev1偏大。9、硅片本身的雜質(zhì)含量較高的硅片強烈依賴背場的鈍化和吸雜，若存在背場或是背電極印偏的情況有背

21、面沒有被背場Al漿所覆蓋的話，這個區(qū)域由于沒有經(jīng)過鈍化和吸雜容易出現(xiàn)Irev1偏大。燒結(jié)爐溫度波動較大：10-30度屬于爐溫異常波動，在有電池片在爐內(nèi)的情況之下，一般爐溫波動在5度以內(nèi)，基本是直線，高功率的加熱區(qū)所使用的加熱管易出現(xiàn)這種問題，燒結(jié)爐長期關(guān)閉冷卻，重新使用時和新?lián)Q上高功率的加熱管時易出現(xiàn)這問題。原因：當(dāng)燒結(jié)區(qū)溫度過高時，達到溫度控制的上限時，加熱管所顯示的功率逐漸接近0%，表示加熱管停止工作。此時，爐溫開始下降，燒結(jié)區(qū)的溫度急劇下降，降到燒結(jié)溫度的控制下限以下，此時加熱管全速啟動來加熱升溫，加熱管所顯示的功率由0%上升到最大值（一般設(shè)定為70%），很快燒結(jié)區(qū)的溫度又變得過高，達到

22、和越過溫度控制的上限，如此循環(huán)往復(fù)，爐溫記錄曲線圖象接近正弦波，周期為4.5min.解決方案：1、爐溫波動過在大的本質(zhì)是，加熱管功率劇烈起伏，接近于共振，而解決共振的一個方法便是擾動，將燒結(jié)爐徹底關(guān)閉冷卻，再重新啟動，相當(dāng)于一次徹底的巨大的干攪，但不是一定會好轉(zhuǎn)。2、在燒結(jié)區(qū)的爐溫超過下界時，加熱管的功率加大，正在全速加熱時，通過減小加熱管輸出功率的方法，減緩爐溫上升的速度，使?fàn)t溫慢慢上升到平均值，進而達到穩(wěn)定，但是容易造成爐溫劇烈波動，引起G檔和DE檔片，同增，要謹(jǐn)慎使用。3、通過控制輸出功率的大小的將爐溫維持在比較穩(wěn)定的水平，維持一段時間爐溫比較穩(wěn)定。爐溫急停的處理方法：1、通知設(shè)備盡快將

23、傳送帶啟動，將所有燒結(jié)爐內(nèi)的電池片取出。在取出的過程中要注意，接近出口的3-5片可以正常流入測試，背場發(fā)黃，變色或是部分發(fā)黃變色，為過燒，過燒的電池片也不必截下，都可以交給質(zhì)量組長進行外觀判斷。2、將其它所有燒結(jié)爐內(nèi)的電池片盡快取出（保證正面對正面，背面對背面，防止將正面污染，造成Irve1檔），如果燒結(jié)停頓時間過長，取出未燒透的電池片，流出時會有背電場脫落，正電場部分脫落的現(xiàn)象，將這兩類片子取出待處理，將其它片子取出，再次流入燒結(jié)爐，取出后交給質(zhì)量組長進行外觀判定。3、將柵線脫落的電池片交給質(zhì)量組長進行外觀判定。4、將背場脫落嚴(yán)重的電池片，背場刮凈待以后重新印上背場，背場部分脫落，又無法刮凈

24、的電池片交給質(zhì)量。5、統(tǒng)計由于燒結(jié)急停造成的碎片，由柵線脫落背場脫落，鋁珠，彎曲等造成碎片，以及印殘（柵線脫落等造成的印殘）。6、重新開線，確認(rèn)爐溫，冷卻水等。取片子時，針對那些背場未燒透，發(fā)白的電池片，要用泡沫盒或用插片盒裝盛，此時的背場極易脫落和劃傷，小心拿取，且不益存放時間過長，應(yīng)及時處理。7、燒結(jié)爐報警燈的頂端紅燈若是亮起，代表燒結(jié)爐在2分鐘以內(nèi)肯定會停止工作，要通知絲印，停止生產(chǎn)。加熱管的結(jié)構(gòu)形式：為實現(xiàn)燒結(jié)段的溫度尖峰，需在很短的爐膛空間內(nèi)布置足夠的加熱功率，目前，有短波孿管和短波單管兩種結(jié)構(gòu)可以選擇，其線性功率密度均達到60KW/m2。雖然短波孿管擁有更高的單根功率（相當(dāng)于兩根單

25、管并聯(lián)），但由于其制造工藝復(fù)雜，對石英玻璃管的質(zhì)量要求更高，制造成本約是單管的2.5倍。因此，在實際使用中，大多采用單管。加熱管的固定形式：燒結(jié)段的溫度峰值在850度左右，此時燈管的表面溫度將達到1100度，接近石英管的使用極限，稍微過熱產(chǎn)生氣孔就會立刻燒毀燈管。而在燈管的引出導(dǎo)線部位，由于焊接導(dǎo)線的金屬片和石英玻璃密封在一起，二者熱膨脹系數(shù)不一致，如果此處溫度過高就會產(chǎn)生應(yīng)力裂紋，造成燈管漏氣。因此，燈管在爐膛中的固定方式十分重要。爐管結(jié)構(gòu)設(shè)計：太陽能電池片的燒結(jié)工藝決定了相鄰兩個溫區(qū)的溫度會有300度以上的落差。雖然輻射加熱具有很好的定向性，但是在燈管和基本之間由于爐膛氣氛的存在，在一部分

26、能量會因?qū)α骱涂諝獾睦鋮s作用而損失，同時，高溫區(qū)的熱量有向相鄰低溫區(qū)擴散的趨勢，這種熱擴散會抬高相鄰溫區(qū)的實際溫度，阻礙溫度尖峰的形成。因此，如何減少空氣的熱損失和相鄰溫區(qū)的熱擴散是爐膛結(jié)構(gòu)設(shè)計的重點。整個爐膛采取大加熱腔小通道的結(jié)構(gòu)，大加熱腔可以提供足夠的熱量，減少熱震蕩，提高爐膛的溫度均勻性；小通道可以使每個溫區(qū)的空間相對獨立，減少對流，降低相鄰溫區(qū)間熱擴散干擾，由于硅基片厚度曲線測量器件從爐膛通過，一般有效高度在30mm左右。氣氛布置：1、烘干爐的氣氛布置。輻射加熱迅速烘干漿料中的有機溶劑和水分，為有效地將廢氣排出，需領(lǐng)先合理的氣氛流向。外界的冷空氣由鼓風(fēng)機送入加熱器，被加熱到約200度

27、，從頂部進入爐膛，分成左右兩段，通過對流將烘干過程產(chǎn)生的廢氣攜帶至廢氣收集管，在抽氣煙囪的作用下排出爐膛。通過這種強制熱風(fēng)對流循環(huán)，爐膛內(nèi)的廢氣定向有序地排出，減少了對基片的污染。2、預(yù)燒段的氣氛布置。輻射加熱在迅速提高基本溫度的同時，也會因燈管布置間距，電流通斷時間，輻射角度變化而造成基本受熱不均勻。而在爐膛內(nèi)通入一定量的熱空氣，巧妙利用對流攪拌作用，使溫度分布更加均勻，消除了基片產(chǎn)生熱應(yīng)力的隱患。此外，預(yù)熱時隨著溫度升高，漿料中的鋁離子開始擴散揮發(fā)，為防止基片正反兩面金屬離子交叉污染，如何形成上下溫區(qū)互不干擾的氣氛流向是設(shè)計的重點。3、燒結(jié)段的氣氛布置。燒結(jié)段燈管的表面溫度極高，此處氣氛布

28、置的主要目的是利用空氣的冷卻效應(yīng)，使燈管保持在安全的使用溫度以內(nèi)。冷壓縮空氣自爐膛兩側(cè)的連接嘴通入，從燈管與安裝孔的空隙吹進爐膛，一方面冷空氣經(jīng)過耐火層時被逐漸加熱，不會對溫區(qū)溫度產(chǎn)生擾動；另一方面，冷空氣在燈管表面形成一層很薄的冷卻層，防止燈管過燒，并給冷端降溫。4、降溫段的氣氛布置。降溫段的氣氛布置相對簡單，主要作用是阻隔燒結(jié)段的熱量擴散，因此，在燒結(jié)段與降溫段之間的過度區(qū)，布置數(shù)道垂直的壓縮空氣氣幕，并結(jié)合水冷鋼套的作用使熱能被完全阻隔在燒結(jié)段內(nèi)。金屬化工藝燒結(jié)過程下面Ag-Si合金-背面Al-Si合金-H擴散進入Si體相，鈍化缺陷和雜質(zhì)。優(yōu)化接觸需三個過程有機協(xié)作：1、正表面形成均一，

29、低電阻和高分流電阻的歐姆接觸，以提高Uoc和FF。2、H深入擴散進入材料體相并鈍化雜質(zhì)和缺陷，以產(chǎn)生高Isc和Uoc。3、背面Al-Si合金區(qū)需形成大的P+-P場，降低背面復(fù)合，提高Uoc.燒結(jié)對三個過程的影響方式不同：溫和燒結(jié)能得到較好的正面接觸，但是H無法深度擴散入體相；強力燒結(jié)雖可得到好的背電場，但導(dǎo)致正面結(jié)合的分流即并聯(lián)電阻減小及H的溢出。使電池效率最大化的一種方法是Tailor三個參數(shù)：氮化硅層，正面的銀漿，背面的鋁刺，使它們的功能在同一個溫度時間過程中達到極大值。Al-Si合金共熔溫度835度，Ag的熔化溫度961.9度，而現(xiàn)在的溫度均低于這兩個值。燒結(jié)對電池片的影響：相對于鋁漿燒

30、結(jié)，銀漿的燒結(jié)更重要很多，對電池片電性能影響主要體現(xiàn)在串聯(lián)電阻和并聯(lián)電阻，即FF的變化。鋁漿燒結(jié)的目的使?jié){料中的有機溶劑完全揮發(fā)，并形成完好的鋁硅合金和鋁層，局部的受熱不均和散熱不均可能會導(dǎo)致起包，嚴(yán)重的會起鋁珠。背場經(jīng)燒結(jié)后形成的鋁硅合金，鋁在硅片中是作為P型摻雜，它可以減少金屬與硅交接處的少子復(fù)合，從而提高開路電壓和短路電流，改善對紅外線的影響。異常情況處理流程一、 Rs偏大1、 將Rs偏大的電池片取出重新測試，檢查是否為測試偏差導(dǎo)致的Rs偏大。2、 測試Rs偏大的電池片的柵線高寬，確認(rèn)是否為印刷（只指印刷狀態(tài)）導(dǎo)致。3、 測試Rs偏大的電池片和正常的電池片的方塊電阻，看兩者之間是否存在差

31、異。4、 做交叉對比試驗，確認(rèn)為印刷工序（包括印刷狀態(tài)和漿料）或燒結(jié)工序的問題。5、 拉爐溫檢測爐溫是否在正常范圍內(nèi)，如超出范圍可適當(dāng)調(diào)整。檢查印刷零點和網(wǎng)版刮刀柵線高寬正常檢查方塊電阻Rs偏大檢查是否為測試導(dǎo)致測試偏差導(dǎo)致非測試導(dǎo)致檢查探針及夾手柵線高寬異常檢查柵線印刷高寬方塊電阻異常通知擴散，并檢查未印刷的電池片，防止方塊電阻大的電池片再流入絲網(wǎng)印刷方塊電阻正常做交叉對比試驗，確認(rèn)漿料或燒結(jié)問題漿料問題更換網(wǎng)版刮刀，并報廢漿料燒結(jié)問題拉爐溫，根據(jù)爐溫曲線調(diào)整檢查電阻率是否0.5-3二、Irev1偏大 1、取磨砂紙打磨電池邊緣，使邊緣露出亮亮的硅本色。重新測試觀測漏電是否改善。2、統(tǒng)計兩條線

32、數(shù)據(jù)，檢查Irev1是否有差異3、檢查烘干爐托盤和印刷軌道是否清理干凈Irev1偏大打磨電池片邊緣漏電無改善漏電好轉(zhuǎn)統(tǒng)計兩條線漏電差異（同一片源）通知擴散檢查等離子刻蝕，并要求生產(chǎn)將漏電大的電池片重新打磨有差異無差異做對比試驗可適當(dāng)根據(jù)管P或板P變換調(diào)整燒結(jié)，但調(diào)整幅度要小，無效果恢復(fù)燒結(jié)爐導(dǎo)致的漏電大印刷導(dǎo)致漏電大清理烘干爐托盤及印刷軌道，更換正面電極漿料網(wǎng)版及刮刀，確認(rèn)是否沾污導(dǎo)致。如為人為操作導(dǎo)致的沾污，記錄并通知其領(lǐng)班拉爐溫確認(rèn)工藝后，可作適當(dāng)調(diào)節(jié)；在產(chǎn)能允許的情況下，也可做燒結(jié)爐清洗三、 兩條線效率差異1、檢查兩條線同一片源差異大小。如數(shù)據(jù)較穩(wěn)定，可通過500片以上數(shù)據(jù)來判斷差異。如

33、數(shù)據(jù)波動較大，必須通過2000片以上的數(shù)據(jù)來確認(rèn)差異大小。2、取10片電池片（單晶取B3-1，多晶取C3-1檔），分別在兩線測試，檢查測試有無差異。3、統(tǒng)計兩條線數(shù)據(jù)，檢測產(chǎn)生效率差異的參數(shù)為哪個。根據(jù)相關(guān)參數(shù)來調(diào)節(jié)。4、確認(rèn)非絲印燒結(jié)情況下，可安排PECVD交換對比試驗。兩條線測試差異統(tǒng)計同一片源差異數(shù)據(jù)量少，暫不調(diào)整，再觀察數(shù)據(jù)足夠，確認(rèn)存在差異測試存在差異檢查測試差異通知質(zhì)量校正測試無差異Rs檢查引起差異的參數(shù)Rsh Irev1檢查印刷燒結(jié)，爐溫偏高或偏低都會導(dǎo)致串聯(lián)偏大檢查有無沾污，或適當(dāng)降低爐溫Rsh Irev1正常，F(xiàn)F偏低PECVD對比試驗Uoc Isc偏低檢查背場印刷，可適當(dāng)提

34、高帶速和爐溫四、電池片彎曲1、 檢查背電場印刷重量是否正常125單晶：0.9±0.05g156多晶：1.5±0.10g2、 檢查電池片厚度（重量）是否正常125單晶：重量應(yīng)大于5.3g156多晶：重量應(yīng)大于9g3、印刷重量調(diào)節(jié)方法：適當(dāng)減慢印刷速度可降低過墨量，但調(diào)節(jié)后務(wù)必記錄絲網(wǎng)印刷參數(shù)更改表，正常后應(yīng)恢復(fù)印刷速度。加大印刷壓力可降低過墨量使用高目數(shù)網(wǎng)版可降低過墨量電池片彎曲檢查背電場印刷重量是否正常印刷重量偏大調(diào)節(jié)印刷參數(shù)，使印刷量至正常范圍印刷重量正常硅片偏薄檢查硅片厚度重量是否正常適當(dāng)調(diào)節(jié)印刷參數(shù)或使用高目數(shù)網(wǎng)版，使印刷量低于正常范圍。但硅片厚度正常后，須恢復(fù)印刷工

35、藝硅片正常檢驗燒結(jié)爐溫，可做適當(dāng)調(diào)節(jié)如調(diào)節(jié)無效果，是否為設(shè)備零點漂移，通知設(shè)備處理粘片：在印刷硅片的時候，硅片脫離工作臺而粘到絲網(wǎng)上導(dǎo)致印刷故障。原因：硅片與工作臺之間的力小于絲網(wǎng)與硅片之間的力，原因是漿料變稠，有可能是網(wǎng)版的張力變小，也有可能是印刷工藝參數(shù)的零點漂移造成的。處理方法：首先確定漿料是否太稠，如果不是很稠，用調(diào)墨刀把網(wǎng)版底部的漿料鏟出去，添加新漿料試印刷，不能解決更換新網(wǎng)版，新網(wǎng)版也不能解決可以調(diào)節(jié)工藝參數(shù)snap off和down stop；如果網(wǎng)版上的漿料很稠，重新?lián)Q網(wǎng)版和漿料。彎曲片：燒結(jié)后出來的電池片的彎曲度大于1.5.原因：一是由于本身硅片太薄；二是燒結(jié)溫度過高；三是由

36、于印刷的背場過厚。處理方法：首先檢查燒結(jié)工藝是否正常，正常的情況下測量下鍍膜后硅片的厚度，如果厚度小于180um，不適合做，厚度在180-200um之間，調(diào)下背電極的Snap off和down stop,增大壓力，調(diào)慢印刷速度。主柵線脫落的原因：主柵太厚，PV159漿料易出現(xiàn)這種主柵線脫落的現(xiàn)象，將壓力增加，大于80N，保證刮刀平整，一般不會有主柵線脫落的問題，日本漿料也出現(xiàn)過這種情況。一般為刮條不平整有彎曲現(xiàn)象，而在彎曲的位置，易造成印厚或是虛印，但是把壓力加大，又易造成爆版。方塊電阻：單位厚度單位面積上的電阻值稱為方塊電阻，單位為歐姆/平方/密耳。單位厚度為密耳。1密耳=25um，用/口（

37、25um厚度下）表示，計算方法：1、測出被測線路的長度L，線路的寬度W和線路T（密耳）。2、用歐姆表測出線路兩端的電阻讀數(shù)R（歐姆）。3、L/W=被測線路的方塊數(shù)n。R/n=每平方塊上的電阻值。4、方塊電阻口=R/n/T.銀漿R口增大的原因是什么？1、烘干不徹底，即烘干的溫度不夠，時間不夠或干燥方式欠佳。2、印刷厚度不滿足銀漿要求的溫度，印刷厚度薄，銀與銀連接不結(jié)實。3、缸子打開時攪拌不徹底，造成缸子上層銀含量低，油墨方阻增大，下層銀含量高，附著力降低，因為銀的比重很大，是水的十幾倍所以容易沉在底部，所以應(yīng)徹底攪拌。背場燒結(jié)后鼓包的處理：1、漿料攪拌時間過度和漿料溫度過高。漿料攪拌時間過長導(dǎo)致

38、漿料發(fā)熱，漿料中的有機溶劑揮發(fā)使?jié){料中產(chǎn)生很多氣泡。措施：控制漿料攪拌時間，同時漿料攪拌完以后靜置一段時間才能上線使用。2、絨面過大而且不均勻絨面角錐過大同時不均勻，印刷后鋁漿沒有完全接觸硅片表面，硅片和漿料之間留有空氣，燒結(jié)后產(chǎn)生鼓包。措施：增大印刷量，盡量使印刷層與硅片表面接觸良好。調(diào)節(jié)間距參數(shù)：絲網(wǎng)間距超大，背電場越厚，刮刀高度越低，背電場越厚。印刷速度越快，背電場越厚，但速度超過一定量時，背電場又會變薄，印刷壓力越小，背電場越厚。背場鼓包最主要的原因還是在于漿料中的有機溶劑或者氣體在燒結(jié)過程中揮發(fā)不完全形成的?？梢陨邘讉€溫區(qū)會有效果。燒結(jié)溫度過高，則會在背場形成密密麻麻的鼓包，降低5

39、，6區(qū)的爐溫會有好轉(zhuǎn)，特別是5區(qū)的爐溫效果會更好。為何高方阻的Uoc,Isc較高？擴散的深度較淺，表面的空穴較多，所以方塊電阻較高，但是Uoc,Isc較高的原因有以下幾點：1、方塊電阻較高，表面表面的P濃度較少，雜質(zhì)也較少，少子壽命較高，所以Uoc,Isc也就較高。2、方塊電阻較高表示形成的P-N結(jié)較淺，載流子移動到表面的路更短，損耗也就更少，Uoc,Isc也就會更高。3、光譜響應(yīng)。Berger測試系統(tǒng)1、測試原理：Pulse長度超過16ms，其中主要包括兩個部分，光強1000W/m2部分和500W/m2部分。通過兩條IV曲線，可以用IEC61215標(biāo)準(zhǔn)提供的公式計算Rs.2、Moniter

40、Cell的作用。其功能只是用來確定光強。其電流輸出到一定值電阻上，通過測量該電阻上的電壓，確定Moniter Cell的短路電流，進而確定光強。3、測試點的分配。對于每一規(guī)格的電池，Berger系統(tǒng)需要知道電池的面積和大致電流密度，計算出Isc，并以此值為基礎(chǔ)分配IV曲線各段的測試點數(shù)量。其具體做法是：a.在坐標(biāo)系上找到（Isc,Uoc）(Uoc一般變化不大)，連接此點與原點；b.找到(Isc,Uoc/3),連接此點與原點；c.找到（Isc,2Uoc/3），連接此點與原點；d.找到（Isc/2,Uoc）,連接此點與原點；e.這4條線，加上兩條坐標(biāo)軸，把IV曲線分割成5個部分，Berger系統(tǒng)分

41、配給每個部分20個測試點，以保證測試點在IV曲線上分布均勻。4、IV曲線不完整的問題。IV曲線不在Isc端出現(xiàn)不完整，最可能是曲高接觸電阻造成的，測試探針（Pin）損壞，電阻偏高，或測試線內(nèi)部出現(xiàn)損傷等。Berger的系統(tǒng)在電路中設(shè)置了一個正向的補償電壓（offset voltage）來補償由于電路中寄生電阻造成的電壓降。寄生電阻主要來自三個部分。一是探針和電池片的接觸電阻，其典型值在100-150m之間；二是可變負(fù)載，其最小值也不精確為零，因此需要補償；三是電池的電阻。為了確保IV曲線與I軸有交點。在測試的初始時刻，即T=0時，測量電壓應(yīng)小于0，若寄生電阻過大，電壓降超過補償電壓，則會造成測

42、試電壓初始值大于0，反應(yīng)在IV曲線上就是IV曲線不完整，在Isc端出現(xiàn)缺口（V從一開始就大于0）。5、為了計算補償電壓，系統(tǒng)需要知道太陽電池的Isc，并默認(rèn)寄生電阻為一恒定值，二者的乘積即為補償電壓。這個短路電流是指系統(tǒng)測量得到和未加光強修正的電流，因此為了確保補償電流設(shè)置準(zhǔn)確，測試的光強應(yīng)為950-1050之內(nèi)。6、反向暗電流。Berger系統(tǒng)最大反向電壓15V，在測量反向暗電流的電路中，可變負(fù)載的范圍是0到400.有關(guān)漏漿的討論。結(jié)柵線上印粗的漏漿，也有員工稱之為細(xì)柵線印粗。1、有可能是網(wǎng)版老化。生產(chǎn)過程中會不斷擦拭網(wǎng)版，而網(wǎng)版又很容易在細(xì)柵線處磨損，所以造成漏漿，但這種情況下，漏漿的位置

43、很固定，很容易發(fā)現(xiàn)。2、漿料中有雜質(zhì)，而且是很細(xì)碎的雜質(zhì)，但一般會將網(wǎng)版磨壞，或者是斷柵，很少出現(xiàn)。3、硅片表面和毛屑，有時在第一次印刷時，毛屑就粘在細(xì)柵線上，造成這個位置相應(yīng)的印粗，而且以后印刷的幾片電池片也都會在相應(yīng)的位置印粗，但可印幾片就會又正常。印粗的位置在顯微鏡下觀察會發(fā)現(xiàn)呈葫蘆狀，中間細(xì)，兩邊很粗，處理方法是擦干凈第二臺烘干爐內(nèi)的托盤，并用干凈的無塵布擦掉硅片表面的毛屑。4、刮刀老化，鈍化也會造成漏漿點較多。5、回料刀過高或過低都有可能出現(xiàn)漏漿點。回料刀過高時，留給刮刀的漿料就較多，刮刀在行進過程中阻力較大，更易將漿料擠到網(wǎng)版以下漏在硅片上，回料刀過低，那么回料刀在回料過程中對漿料

44、的力就會增大，可能將漿料擠到網(wǎng)版下，所以在印刷過程中造成柵線的印粗。邊緣漏漿，將會影響電池片的漏電，由于Al是重?fù)诫s質(zhì)，在燒結(jié)過程中會擴散進入電池片表層3-6um片，若鋁漿較多，且連成一片，極有可能將正面的N層和背面的P層導(dǎo)通，從而造成邊緣漏電。不過要更正一種思想，邊緣只有一個小點的漏漿且很模糊不連貫，這樣的漏漿不會影響到電池片的電性能，因為Al在燒結(jié)過后，Al離子會擴散進入到3-6um，而電池片邊緣被刻蝕掉的距離有1mm，差將近兩個數(shù)量級，所以根本沒有影響。微晶區(qū)域?qū)﹄姵仄娦阅艿挠绊憽?、在多晶硅片上，作為晶界，位錯和雜質(zhì)三者聚集的微晶區(qū)域，是少數(shù)載流子的強復(fù)合中心，會嚴(yán)重影響硅片的少子壽

45、命。2、微晶區(qū)域，尤其是晶界處垂直PN結(jié)的長條狀導(dǎo)電型，SiC的存在，會造成多晶硅電池的嚴(yán)重漏電甚至PN結(jié)局部短路，使電性能嚴(yán)重下降甚至報廢。用萬用表測量PN型。使用萬用表的K檔測量其表層電阻值，由于電池片表層有氮化硅層，而氮化硅層不導(dǎo)電，將會影響其測量的阻值，所以需要使探頭將電池片表層反復(fù)磨無下，去掉氮化硅的顏色才可以進行測量（但有的電池片在不磨損氮化硅的情況下也可以測量PN型）。兩個探頭間相距0.5cm左右，當(dāng)測得的結(jié)果為10左右是為N型導(dǎo)電。當(dāng)為10000時為P型導(dǎo)電。原因是在擴磷的過程中，擴散面相對于基底為重?fù)诫s，所以產(chǎn)生的導(dǎo)電離子較多，所以電阻值會降低。N型導(dǎo)體粒子比P型導(dǎo)電粒子更為

46、活潑，導(dǎo)電能力更強。EL原理場致發(fā)光，又稱電致發(fā)光（EL）electroluminescent，是固體發(fā)光材料在電場激發(fā)下發(fā)光的現(xiàn)象。儀器說明:萬用表與PN型檢測儀-測量表面電阻和PN型 金相顯微鏡，3D顯微鏡-測試柵線調(diào)試和寬度 Suns-Voc-判斷結(jié)與原材料 光譜儀-測試膜厚與折射率WT-200-測試方塊電阻，少子壽命及整面QE OL-750-測試單點QEEL-測試漏電區(qū)域 Correscan-測試漏電及接觸電阻SEM-測試絨面及印刷情況絲網(wǎng)印刷機是意大利BSCCINI公司制造，有光學(xué)定位，印刷頭旁的CCD數(shù)碼相機檢測絲網(wǎng)基準(zhǔn)。影響Uoc的參數(shù)1、材料-光伏有源材料：電阻率，少子壽命，其它雜質(zhì) 2、表面發(fā)射極摻雜層。3、背面電場（BSF：Back surface field） 4、漏電流-反向飽和電流I05、理想因子n 6、并聯(lián)電阻 7、鈍化技術(shù)-電池材料的表面和內(nèi)部的鈍化。提高效率的路徑1、絨面結(jié)構(gòu)；2、正面減反射膜；3、表面發(fā)射極摻雜層-高或低的磷濃度；4、減少遮光損失；5、串聯(lián)電阻；6、背面反射；7、鈍化技術(shù)。影響FF的因素1、表面發(fā)射極摻雜層-高或低的磷濃度；2、去除周邊PN結(jié)和去磷玻璃；3、串聯(lián)電阻；4、下面減反射膜；5、金屬電極接觸的