TFT-LCD制程簡(jiǎn)介

1、數(shù)碼影音光碟機(jī)筆記型電腦桌上型顯示器液晶電視甚麼是甚麼是TFT-LCD ?TFT-LCD ?TFT-薄膜電晶體薄膜電晶體 Thin Film TransistorLCD-液晶顯示器液晶顯示器 Liquid Crystal Display上偏光板上偏光板下偏光板下偏光板保護(hù)膜保護(hù)膜玻璃基板玻璃基板顏色區(qū)顏色區(qū)黑色框罩黑色框罩框膠區(qū)框膠區(qū)電晶體電晶體液晶液晶ITO共用極共用極ITO顯示電極顯示電極背光燈管背光燈管反射板反射板菱鏡板菱鏡板光擴(kuò)散板光擴(kuò)散板印刷電路板印刷電路板驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)IC驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)IC異方性導(dǎo)電膜異方性導(dǎo)電膜補(bǔ)償電容補(bǔ)償電容間隙粒子間隙粒子TAB導(dǎo)光板導(dǎo)光板偏光板作用偏光板作用及及液晶旋

2、光性液晶旋光性介紹介紹一個(gè)電晶體顯示一個(gè)電晶體顯示電路示意圖電路示意圖Data driverScan driverArrayThin-Film TransistorCellLiquid CrystalModuleArray:電電晶體晶體 矩形陣列矩形陣列 Cell:顯示單元體顯示單元體 Module:產(chǎn)品模組產(chǎn)品模組 CELLMODULE.+ARRAY + + + 外購?fù)赓徱粡S:320*400(mm)二廠:610*720(mm)cell cell cellcell cell cellcell鍍膜(sputter,cvd)上光阻(coater)光罩(reticle)顯影(developer)顯影

3、 液對(duì)準(zhǔn),曝光(stepper)蝕刻(etch)去光阻液 stripper去光阻 酸,氣體TFT循環(huán)製程圖解鍍下一層膜FABARRAYFABARRAY之六步驟之六步驟Cr1.Gate閘極閘極SIN2.絕緣層絕緣層Via3.Via ITO 4.畫素電極畫素電極ITOITOAl/Cr5.源極源極/ /汲極汲極( (SOURCE/DRAIN)SOURCE/DRAIN)Passivation6.護(hù)層護(hù)層PassivationFAB II FAB II TFTTFT之五步驟之五步驟TI/AL/TIS-I-NTI/AL/TIPASSIVATION1.鍍上 鈦鋁鈦 合金(GATE) 厚度 800/1800/

4、1000A2.S : SiNx (氮矽化合物,絕緣層) I : a-Si (非結(jié)晶矽,通道層) N : N+ (高濃度磷的矽)降低界面電位差,使 成為歐姆接觸(Omic contact) 3.鍍上鈦鋁鈦合金(source,drain) 厚度 800/1800/1000A4.鍍上5.鍍上ITO(銦錫氧化物,透明畫素電極)SiNx 保護(hù)層(把金屬部份蓋住),並且做VIA層(使電氣信號(hào)導(dǎo)入panel)ITO薄膜薄膜Thin-Film(不含VIA層)黃光區(qū)黃光區(qū) Photo清洗清洗 檢查檢查 顯影顯影Developing檢查檢查ADISputtering薄膜濺鍍薄膜濺鍍PECVD化學(xué)化學(xué)氣相沉積氣相沉

5、積對(duì)準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)SteppingAligner(Canon)上光阻上光阻CoatingTI/AL/TI,S-I-N,TI/AL/TI,PASSIVATIONITO測(cè)測(cè) 試試 區(qū)區(qū) TestingCELL段段測(cè)測(cè) 試試Testing 修補(bǔ)修補(bǔ)Repair蝕刻區(qū)蝕刻區(qū) Etch溼蝕刻溼蝕刻/乾蝕刻乾蝕刻Wet/Dry去光去光阻阻Strip檢查檢查AEI檢查檢查AEI TEG退火退火Anneal灰化灰化ASHADIADI介紹介紹After Developing Inspection顯影後觀察顯影後觀察(檢查檢查)1.線幅線幅 - 線寬線寬 - Critical Dimension2.配列配列 - 同一層光

6、罩之間的銜接同一層光罩之間的銜接3.重合重合 - 不同層光罩之間的對(duì)準(zhǔn)不同層光罩之間的對(duì)準(zhǔn)4.斜光目檢斜光目檢-玻璃表面刮傷及玻璃表面刮傷及Particle的檢查的檢查不良的產(chǎn)品可以重工不良的產(chǎn)品可以重工 -去光阻去光阻-上光阻上光阻-對(duì)準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn)-顯影顯影ADI的工作包括的工作包括:AEIAEI介紹介紹After Etching Inspection1.蝕刻後檢查蝕刻後檢查 2.去光阻後檢查去光阻後檢查 不良的產(chǎn)品可以補(bǔ)蝕刻不良的產(chǎn)品可以補(bǔ)蝕刻TEGTEG在做甚麼在做甚麼? ?1.量測(cè)元件導(dǎo)通電流量測(cè)元件導(dǎo)通電流,ION if ng,then re-anneal,max 3 time2.量測(cè)元件

7、截止電流量測(cè)元件截止電流,IOFF if still ng,then scrap3.量測(cè)臨界量測(cè)臨界電壓電壓VT(Threshold voltage)4.量測(cè)電壓電流曲線量測(cè)電壓電流曲線TV CURVE電壓電壓VG電流電流IdIOFFION8v0v-5v0.20.4uA5pA610 mm720mm一個(gè)可以顯示出所有顏色的單位稱作一個(gè)可以顯示出所有顏色的單位稱作: 畫素畫素-PIXEL一個(gè)畫素含有三分割一個(gè)畫素含有三分割-紅紅,綠綠,藍(lán)藍(lán)(R,G,B)每一個(gè)分割叫做每一個(gè)分割叫做子畫素子畫素(SUB-PIXEL)畫素畫素子畫素子畫素白 = 紅 + 綠 + 藍(lán) 紫 = 紅 + 藍(lán) 黃 = 紅 +

8、綠 青 = 綠 + 藍(lán)加法系統(tǒng)(混合光)紅藍(lán)綠黃白紫青乘法系統(tǒng)(過濾法-顏料)紅紅藍(lán)綠綠黃黃黑青紫青紫深紅深紅黑 = 黃 * 青 * 深紅紅 = 黃 * 深紅綠 = 黃 * 青藍(lán) = 深紅 * 青=+白紅綠藍(lán)=*黑深紅青黃早期的早期的AV產(chǎn)品產(chǎn)品 亮度最高亮度最高適用於適用於OA產(chǎn)品產(chǎn)品最新的最新的AV產(chǎn)品產(chǎn)品RGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBRGBR馬賽克馬賽克(對(duì)角形對(duì)角形)RGRG條形條形RGBRGBRGBRRGBRGRGBRGBRGBR戴爾它戴爾它(三角形三角形)BAPR板Polyimide配向膜配向膜塗覆塗覆淡黃色淡黃色8001200配配 向向 絨絨 布布 PI膜配向膜配向:

9、基板和基板和 roller成成45度角度角,TFT和和CF基板方向差基板方向差 90 度度. Roller高速旋轉(zhuǎn)時(shí)高速旋轉(zhuǎn)時(shí),絨毛上的纖維絨毛上的纖維會(huì)甩立起來會(huì)甩立起來,將將PI膜刷出紋路膜刷出紋路 Rubbing的情況的情況,類似於重鋪柏油類似於重鋪柏油馬路之前的馬路之前的刨路機(jī)刨路機(jī),將路面刨出紋將路面刨出紋路路.框膠框膠Ag PasteColor filter點(diǎn)銀膠是為了導(dǎo)通CF的共地極(COMMON極)PI膜膜SPACER SPRAYSPACER 灑佈灑佈 SpacerARRAY玻璃玻璃PI膜膜 SPACER是是小塑膠球小塑膠球又稱為又稱為“間隙粒子間隙粒子”CF基板基板大片組合大

10、片組合TFT基板基板20m 0.7mm=700m黏合玻璃的黏合玻璃的UV膠膠紫外線膠紫外線膠照射照射紫外線紫外線後就會(huì)產(chǎn)生黏合力後就會(huì)產(chǎn)生黏合力,將兩片玻璃黏合將兩片玻璃黏合氣囊熱壓氣囊熱壓 大片組合之基板大片組合之基板熱壓機(jī)熱壓機(jī)hot pressor115200115200度度C 4C 4小時(shí)小時(shí), ,一一次可壓次可壓18201820片壓完後片壓完後, ,CFCF和和TFTTFT板之間的距板之間的距離變成約離變成約4.854.85mm二廠使用二廠使用真空熱壓法真空熱壓法壓力表壓力表4.85m切割切割& &裂片裂片13.3“? ?320mm1.8“2.5”4“6.1”6.8“第第1代面板代面

11、板:長(zhǎng)長(zhǎng)400mm,寬寬320mm400mm面板範(fàn)圍面板範(fàn)圍裁餘部份裁餘部份,拋棄不用拋棄不用? ?720mm610mm13.3“14.1”15“17”19“22“32”面板範(fàn)圍面板範(fàn)圍裁餘部份裁餘部份,拋棄不用拋棄不用第第3.5代面板代面板:長(zhǎng)長(zhǎng)720mm,寬寬610mm液晶液晶液晶液晶液晶注入示意圖液晶注入示意圖利用大氣壓力 及毛細(xì)現(xiàn)象 將液晶灌入 cell內(nèi)1.抽真空2.封閉CHAMBER, 將液晶皿上昇,使 注入口達(dá)到液面 之下3.破真空 UV膠膠(紫外線膠紫外線膠)照照射射紫紫外外線線Color filterArray chip磨邊磨邊(去掉短路棒去掉短路棒 shorting bar

12、)短路棒短路棒偏光片貼附偏光片貼附 上下偏光片濾光角度差上下偏光片濾光角度差9090度度TFT & CF之配向共製程之配向共製程CF 清清 洗洗TFT 清清 洗洗分製程PI預(yù)烤預(yù)烤檢查檢查InspectionPI烤硬烤硬PI配向配向進(jìn)料檢驗(yàn)進(jìn)料檢驗(yàn)清潔基板清潔基板PI膜塗覆膜塗覆撒佈撒佈封膠封膠組合組合對(duì)準(zhǔn)對(duì)準(zhǔn),定位定位貼貼 合合熱熱 壓壓 合合CF烘烤烘烤CF框框 膠膠 & 點(diǎn)點(diǎn) 銀銀 膠膠TFTSpacer 撒撒 佈佈Spacer計(jì)計(jì) 數(shù)數(shù)清洗清洗, ,急冷急冷模組廠模組廠切切 割割裂裂 片片檢檢 查查L(zhǎng)C再配向再配向磨磨 邊邊注入液晶注入液晶封封 口口清清 洗洗貼偏光片貼偏光片加壓脫泡加壓脫泡Cell testCell repairTFT玻璃玻璃TFT玻璃玻璃金屬粉末金屬粉末空心塑膠球空心塑膠球驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)ICIC貼附貼附TFT玻璃玻璃驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)ICIC對(duì)位對(duì)位假壓著假壓著TFT玻璃玻璃驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)IC加熱加壓加熱加壓 本壓著本壓著ACF貼附貼附包括包括:Chips & FPC 驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)IC黏著後用矽黏著後用矽膠(白膠)封住TFT彈性印刷電路彈性印刷電路FPC輸入影像訊號(hào)CF驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)ICACF偏光片偏光片壽命測(cè)試壽