現(xiàn)代測(cè)試技術(shù)課件

1、 電阻應(yīng)變式傳感器是將電阻應(yīng)變式傳感器是將被測(cè)的非電量轉(zhuǎn)換成電阻值被測(cè)的非電量轉(zhuǎn)換成電阻值的變化，的變化，再經(jīng)轉(zhuǎn)換電路變換成電量再經(jīng)轉(zhuǎn)換電路變換成電量( (電流、電壓電流、電壓) )輸出。輸出。 電阻應(yīng)變式傳感器也是電阻應(yīng)變式傳感器也是應(yīng)用最廣泛應(yīng)用最廣泛的傳感器，可用于應(yīng)變力、的傳感器，可用于應(yīng)變力、壓力、轉(zhuǎn)矩、位移、加速度。據(jù)統(tǒng)計(jì)日本力傳感器中應(yīng)變片壓力、轉(zhuǎn)矩、位移、加速度。據(jù)統(tǒng)計(jì)日本力傳感器中應(yīng)變片占占70%，美國(guó)占，美國(guó)占90%。 測(cè)力范圍：測(cè)力范圍：小到肌肉纖維（小到肌肉纖維（510-5N)，大到登月火箭，大到登月火箭(5107N)； 精確度：精確度：在在0.010.1%，有，有10

2、年以上的校準(zhǔn)穩(wěn)定性年以上的校準(zhǔn)穩(wěn)定性。F 應(yīng)變式傳感器主要特征應(yīng)變式傳感器主要特征 有不同材料類型，金屬應(yīng)變片、半導(dǎo)體應(yīng)變片有不同材料類型，金屬應(yīng)變片、半導(dǎo)體應(yīng)變片; ; 優(yōu)點(diǎn)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高、范圍大體積?。粌?yōu)點(diǎn)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高、范圍大體積??； 缺點(diǎn)，電阻、半導(dǎo)體會(huì)隨溫度變化。缺點(diǎn)，電阻、半導(dǎo)體會(huì)隨溫度變化。廣泛應(yīng)用于各種廣泛應(yīng)用于各種衡器衡器和和應(yīng)變應(yīng)變測(cè)測(cè)量量1） 用于各種電子秤用于各種電子秤電電子子天天平平吊秤吊秤遙遙動(dòng)動(dòng)遙遙控控吊吊秤秤液液壓壓叉叉車車秤秤電子皮帶秤電子皮帶秤行李秤行李秤鋼包電子秤鋼包電子秤行車電子秤行車電子秤防爆汽車衡防爆汽車衡給料秤給料秤機(jī)機(jī)械械秤秤包包裝裝機(jī)機(jī)

3、動(dòng)動(dòng)態(tài)態(tài)電電子子秤秤自動(dòng)稱重給料機(jī)自動(dòng)稱重給料機(jī)給料斗秤給料斗秤稱重包裝機(jī)稱重包裝機(jī)定量包裝機(jī)定量包裝機(jī)灌裝機(jī)灌裝機(jī)2）用于應(yīng)變儀）用于應(yīng)變儀 全自動(dòng)應(yīng)力、應(yīng)變實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀全自動(dòng)應(yīng)力、應(yīng)變實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)儀動(dòng)態(tài)動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)各種監(jiān)測(cè)各種工件工件施工中的施工中的應(yīng)變、應(yīng)力、載荷或合成應(yīng)應(yīng)變、應(yīng)力、載荷或合成應(yīng)力；力；可可檢測(cè)振動(dòng)檢測(cè)振動(dòng)時(shí)效果。時(shí)效果?？煽伸o態(tài)靜態(tài)地測(cè)量地測(cè)量?jī)?nèi)應(yīng)力、接觸應(yīng)力，內(nèi)應(yīng)力、接觸應(yīng)力，如焊接如焊接件、鑄件、鍛件、水壩、巖石、混凝土內(nèi)件、鑄件、鍛件、水壩、巖石、混凝土內(nèi)的內(nèi)應(yīng)力；焊接、鑄造、機(jī)加工、熱加工、的內(nèi)應(yīng)力；焊接、鑄造、機(jī)加工、熱加工、鍛造、冷凝、體變等殘余接觸應(yīng)力；鍛造、冷凝、

4、體變等殘余接觸應(yīng)力； 用于各種用于各種彈性固體材料、構(gòu)建彈性固體材料、構(gòu)建的的應(yīng)變測(cè)量、應(yīng)力檢測(cè)及監(jiān)應(yīng)變測(cè)量、應(yīng)力檢測(cè)及監(jiān)測(cè)，測(cè)，如：鋼結(jié)構(gòu)、合金件、機(jī)床、大壩體、隧道、橋梁、如：鋼結(jié)構(gòu)、合金件、機(jī)床、大壩體、隧道、橋梁、高樓、建筑、土建、管道、輸水管、巖石、地震、船舶、高樓、建筑、土建、管道、輸水管、巖石、地震、船舶、海洋平臺(tái)、油井、小堤壩、電纜、鍋爐海洋平臺(tái)、油井、小堤壩、電纜、鍋爐，上海盧浦大橋通車應(yīng)變?cè)囼?yàn)上海盧浦大橋通車應(yīng)變?cè)囼?yàn)上海國(guó)際會(huì)議中心模型試驗(yàn)上海國(guó)際會(huì)議中心模型試驗(yàn)打樁船吊塔打樁船吊塔 強(qiáng)度試驗(yàn)強(qiáng)度試驗(yàn)金屬絲式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)金屬絲式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)金屬箔式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)金屬箔式應(yīng)變片結(jié)構(gòu)1

5、敏感元件 2、4基底 3引線應(yīng)變片組成應(yīng)變片組成 應(yīng)變片結(jié)構(gòu)應(yīng)變片結(jié)構(gòu)單體型半導(dǎo)體應(yīng)變片單體型半導(dǎo)體應(yīng)變片F(xiàn) 半導(dǎo)體應(yīng)變片結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體應(yīng)變片結(jié)構(gòu)溫度傳感器溫度傳感器擴(kuò)散電阻擴(kuò)散電阻硅膜片硅膜片硅片硅片基片基片集成式應(yīng)變傳感器集成式應(yīng)變傳感器lRSRlSRlS2srsrll611 10/mm mm 應(yīng)變單位： / (/r rl l 徑向）（軸向）在彈性范圍內(nèi)金屬絲受拉時(shí)，在彈性范圍內(nèi)金屬絲受拉時(shí)，軸向應(yīng)變軸向應(yīng)變和和徑向應(yīng)變徑向應(yīng)變的關(guān)系，的關(guān)系，負(fù)號(hào)表示應(yīng)變受力方向相反負(fù)號(hào)表示應(yīng)變受力方向相反RlSRlS12RR0/1 2R Rk RlSRlS/(12)0/12k 彈性元件在應(yīng)變片測(cè)量技術(shù)中占有

6、極其重要的地位，首先彈性元件在應(yīng)變片測(cè)量技術(shù)中占有極其重要的地位，首先把把力力、力矩力矩或或壓力壓力變換成相應(yīng)的變換成相應(yīng)的應(yīng)變或位移應(yīng)變或位移，然后傳遞給，然后傳遞給粘貼在彈性元件上的應(yīng)變片，通過應(yīng)變片將力、力矩或壓粘貼在彈性元件上的應(yīng)變片，通過應(yīng)變片將力、力矩或壓力轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電阻值。力轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電阻值。物體在外力作用下而改變?cè)瓉沓叽缁蛐螤畹默F(xiàn)象稱為物體在外力作用下而改變?cè)瓉沓叽缁蛐螤畹默F(xiàn)象稱為變形變形，而當(dāng)外力去掉后物體又能完全恢復(fù)其原來的尺寸和形狀，而當(dāng)外力去掉后物體又能完全恢復(fù)其原來的尺寸和形狀，這種變形稱為這種變形稱為彈性變形彈性變形。具有彈性變形特性的物體稱為彈具有彈性變形特性

7、的物體稱為彈性元件。性元件。3. 3. 彈性敏感元件彈性敏感元件常用彈性元件的結(jié)構(gòu)和特性常用彈性元件的結(jié)構(gòu)和特性a） 剛度剛度剛度是彈性元件受外力作用下變形大小的量度，剛度是彈性元件受外力作用下變形大小的量度，其定義是其定義是彈性元件單位變形下所需要的力彈性元件單位變形下所需要的力，用，用C C 表示，其數(shù)學(xué)表達(dá)式為表示，其數(shù)學(xué)表達(dá)式為 3. 3. 彈性敏感元件彈性敏感元件dxdFxFC lim式中式中: : F F 作用在彈性元件上的外力，單位為牛頓（作用在彈性元件上的外力，單位為牛頓（N N）；）； x x 彈性元件所產(chǎn)生的變形，單位為毫米（彈性元件所產(chǎn)生的變形，單位為毫米（mmmm）。）

8、。通常用剛度的倒數(shù)來表示彈性元件的特性，通常用剛度的倒數(shù)來表示彈性元件的特性，稱為彈性元件的靈敏度，一般用稱為彈性元件的靈敏度，一般用S S 表示，表示，其表達(dá)式為其表達(dá)式為 3. 3. 彈性敏感元件彈性敏感元件 從上式可以看出，從上式可以看出，靈敏度是單位力作用下彈性元件產(chǎn)生變形的大小，靈敏度是單位力作用下彈性元件產(chǎn)生變形的大小，靈敏度大，表明彈性元件軟，變形大。如果彈性特性是線性的，則靈敏靈敏度大，表明彈性元件軟，變形大。如果彈性特性是線性的，則靈敏度為一常數(shù)，若彈性特性是非線性的，則靈敏度為一變量，即表示此彈度為一常數(shù)，若彈性特性是非線性的，則靈敏度為一變量，即表示此彈性元件在彈性變形范

9、圍內(nèi)，各處由單位力產(chǎn)生的變形大小是不同的性元件在彈性變形范圍內(nèi)，各處由單位力產(chǎn)生的變形大小是不同的.dFdxCS1OFA1230 x彈性特性曲線彈性特性曲線 b） 靈敏度靈敏度各種形式的金屬各種形式的金屬式電阻應(yīng)變片式電阻應(yīng)變片 金屬式金屬式電阻應(yīng)變片常見的有電阻應(yīng)變片常見的有絲式絲式、箔式箔式、薄膜型薄膜型 按材料分為按材料分為 體型體型 絲式、箔式絲式、箔式 金屬式：金屬式： 薄膜型薄膜型 半導(dǎo)體式：半導(dǎo)體式：體型體型、薄膜型、擴(kuò)散型、外延型、薄膜型、擴(kuò)散型、外延型、PNPN結(jié)型結(jié)型 按結(jié)構(gòu)分：?jiǎn)纹?、雙片、特殊形狀按結(jié)構(gòu)分：?jiǎn)纹㈦p片、特殊形狀 按使用環(huán)境：高溫、低溫、高壓、磁場(chǎng)、水下按使

10、用環(huán)境：高溫、低溫、高壓、磁場(chǎng)、水下 金屬絲式金屬絲式 敏感柵用敏感柵用0.025mm0.025mm金屬絲（康銅、貴金屬）；金屬絲（康銅、貴金屬）； 金屬箔式金屬箔式 通過照相制版，光刻腐蝕工藝作成金屬薄柵，通過照相制版，光刻腐蝕工藝作成金屬薄柵， 厚度在厚度在0.0030.0030.01mm0.01mm，敏感柵截面為矩形，敏感柵截面為矩形， 可通過大電流，工藝適于批量生產(chǎn)；可通過大電流，工藝適于批量生產(chǎn)； 金屬薄膜型金屬薄膜型采用真空技術(shù)，在基片上蒸鍍金屬薄膜，采用真空技術(shù)，在基片上蒸鍍金屬薄膜， 厚度為納米級(jí)。厚度為納米級(jí)。 半導(dǎo)體半導(dǎo)體式式：體型體型、薄膜型、擴(kuò)散型、外延型、薄膜型、擴(kuò)散

11、型、外延型、PNPN結(jié)型結(jié)型體型半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片體型半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片 應(yīng)變片溫度誤差。應(yīng)變片溫度誤差。 已知電阻絲阻值與溫度關(guān)系為已知電阻絲阻值與溫度關(guān)系為0001tttRRtRRtF 環(huán)境溫度變化環(huán)境溫度變化t 時(shí)，電阻絲的電阻變化為時(shí)，電阻絲的電阻變化為100tttRRRRt式中：式中：R0 是溫度為是溫度為t0 時(shí)的金屬絲電阻值；時(shí)的金屬絲電阻值；是是20tgsRR ktF 因試件隨溫度變化使應(yīng)變片電阻產(chǎn)生因試件隨溫度變化使應(yīng)變片電阻產(chǎn)生 附加形變?cè)斐傻碾娮枳兓郊有巫冊(cè)斐傻碾娮枳兓疐 溫度變化溫度變化t 時(shí)引起總的電阻變化為時(shí)引起總的電阻變化為Rt1200ttttgsRRRRtR kt

12、 式中：式中：k 為應(yīng)變片靈敏系數(shù)為應(yīng)變片靈敏系數(shù); t 電阻溫度系數(shù)電阻溫度系數(shù); g 試件膨脹系數(shù)，試件膨脹系數(shù)，s 電阻絲膨脹系數(shù)。電阻絲膨脹系數(shù)。 根據(jù)電阻絲阻值與溫度關(guān)系：根據(jù)電阻絲阻值與溫度關(guān)系：v 因環(huán)境溫度改變引起的附加電阻變化與以下內(nèi)容有關(guān)因環(huán)境溫度改變引起的附加電阻變化與以下內(nèi)容有關(guān): : 環(huán)境溫度變化環(huán)境溫度變化t； 應(yīng)變片本身的性能參數(shù)應(yīng)變片本身的性能參數(shù)應(yīng)變片靈敏度應(yīng)變片靈敏度 k ； 電阻絲溫度系數(shù)電阻絲溫度系數(shù)t 、試件參數(shù)、試件參數(shù)g；電阻絲膨脹系數(shù)；電阻絲膨脹系數(shù)s 。0/ttgsRRtkt 0/tttgsRRttkk 折合成應(yīng)變量折合成應(yīng)變量 （溫度變化引起

13、）溫度變化引起）tgsk g gt t，s s、g g 抵消抵消ttgsttk013B4U =A(R R -R R )如果如果 R1R3 = RBR4，電橋平衡時(shí)輸出為零；，電橋平衡時(shí)輸出為零；若若R1、RB溫度系數(shù)相同，當(dāng)無應(yīng)變而溫度溫度系數(shù)相同，當(dāng)無應(yīng)變而溫度 變化時(shí)變化時(shí)R1 = RB ，電橋?yàn)槠胶鉅顟B(tài)；，電橋?yàn)槠胶鉅顟B(tài)；當(dāng)有應(yīng)變時(shí)，當(dāng)有應(yīng)變時(shí)，R1有增量有增量R1，R1=R1k0 補(bǔ)償片無變化，補(bǔ)償片無變化，RB = 0； 電橋輸出為電橋輸出為 U0 R1R3 k0 可見此時(shí)電橋的輸出電壓與溫度無關(guān)可見此時(shí)電橋的輸出電壓與溫度無關(guān) R R1 1應(yīng)變片，應(yīng)變片，R RB B補(bǔ)償片補(bǔ)償片

14、直流電橋的平衡條件直流電橋的平衡條件 314231012341234()()RR RR RRUEERRRRRRRR1423R RR R1234/RRRR電橋平衡時(shí)電橋平衡時(shí): I0 = 0 ，U0 = 0 要滿足電橋平衡條件，必須有要滿足電橋平衡條件，必須有對(duì)比積相等對(duì)比積相等，鄰臂比相等鄰臂比相等當(dāng)負(fù)載當(dāng)負(fù)載 RL（放大器的輸入阻抗比橋路阻抗大的多，放大器的輸入阻抗比橋路阻抗大的多，可視為開路可視為開路）電橋輸出電壓為：）電橋輸出電壓為： 設(shè)設(shè)R1為應(yīng)變片，應(yīng)變時(shí)為應(yīng)變片，應(yīng)變時(shí)R1變化量為變化量為R1 ， 應(yīng)變片阻值變化電橋失衡，不平衡輸出電壓為應(yīng)變片阻值變化電橋失衡，不平衡輸出電壓為31

15、1011234RRRUERRRRR 4311112143(/)(/)(1/) 1/RRRRERRRRRR 電橋電壓靈敏度電橋電壓靈敏度R121unKEnF 電橋輸出的電橋輸出的電壓靈敏度電壓靈敏度為為 10211RnUERn 電橋輸出電壓可近似為電橋輸出電壓可近似為11RR11/RR，忽略分母中，忽略分母中 由于由于 設(shè)橋臂比設(shè)橋臂比21/nRR 考慮平衡條件考慮平衡條件2143/RRRR43110112143(/)(/)(1/) 1/RRRRUERRRRRR 對(duì)于對(duì)于 電橋電壓靈敏度電橋電壓靈敏度11011(/)(1/) 1nRRUERRnn 電橋電壓靈敏度電橋電壓靈敏度大，電橋輸出電壓越大

16、，大，電橋輸出電壓越大， Ku 與電橋電源與電橋電源 E 成正比，但供電受應(yīng)變片允許功耗限制；成正比，但供電受應(yīng)變片允許功耗限制； 2. Ku 是橋臂比是橋臂比n的函數(shù)，恰當(dāng)選擇橋臂比可提高電壓靈敏度；的函數(shù)，恰當(dāng)選擇橋臂比可提高電壓靈敏度； 顯然顯然 n=1、R1=R2、R3=R4 時(shí)時(shí) Ku 有最大值。有最大值。 4. 單臂工作片的單臂工作片的電橋輸出電壓電橋輸出電壓及及電壓靈敏度電壓靈敏度分別為分別為21unKEn2410(1)udKndnn104REUR4uEK01uRUKR等臂電橋等臂電橋 n =1=1時(shí)時(shí)112LRR 11011(/)(1/)(1)RRnUEnRRn 實(shí)際輸出值為實(shí)

17、際輸出值為0011011/1/LUURRUnRR 非線性誤差非線性誤差11RR11/RR，忽略了分母中忽略了分母中前面計(jì)算中設(shè)前面計(jì)算中設(shè)1111/1/212LRRRR將分母按冪級(jí)數(shù)展開，略去高階量近似得到單橋非線性誤差將分母按冪級(jí)數(shù)展開，略去高階量近似得到單橋非線性誤差 對(duì)對(duì)金屬電阻絲應(yīng)變片金屬電阻絲應(yīng)變片，因靈敏系數(shù)，因靈敏系數(shù) k0 主要由主要由幾何尺寸幾何尺寸引起的，引起的， R 非常小，電橋非線性誤差可以忽略。非常小，電橋非線性誤差可以忽略。 對(duì)于對(duì)于半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片，靈敏度系數(shù)，靈敏度系數(shù)k0 主要由主要由電阻率變化電阻率變化引起的，引起的， 應(yīng)變時(shí)電阻率應(yīng)變時(shí)電阻率R/R

18、 變化變化 很大，非線性誤差不能忽略。很大，非線性誤差不能忽略。例：金屬應(yīng)變片例：金屬應(yīng)變片 半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片6%L0130k 0.001/0.13R R11/ 2LRR /0.01R Rk02k 0.5%L0.005由式由式 可見，非線性誤差與可見，非線性誤差與R1/R1成正比成正比 實(shí)際電路中非線性誤差總是存在實(shí)際電路中非線性誤差總是存在的，為減小非線性誤差，常采用的，為減小非線性誤差，常采用差動(dòng)電橋差動(dòng)電橋。 在試件上安裝兩個(gè)工作片，分別在試件上安裝兩個(gè)工作片，分別接在電橋的相鄰兩個(gè)臂，當(dāng)有作接在電橋的相鄰兩個(gè)臂，當(dāng)有作用力用力F F 時(shí)一個(gè)受拉、一個(gè)受壓。時(shí)一個(gè)受拉、一個(gè)受壓。

19、3110112234RRRUERRRRRR 電橋的輸出電壓為電橋的輸出電壓為2uEKq 半橋電路半橋電路電壓輸出和電壓輸出和電壓靈敏度分別電壓靈敏度分別為為半橋電路討論：半橋電路討論： 1. 輸出電壓輸出電壓U0 與與R/R呈線性關(guān)系，無非線性誤差；呈線性關(guān)系，無非線性誤差； 2. 半橋電路（兩工作片）電壓靈敏度半橋電路（兩工作片）電壓靈敏度Ku是單臂電橋的兩倍；是單臂電橋的兩倍； 3. 同時(shí)電路具有溫度補(bǔ)償作用。同時(shí)電路具有溫度補(bǔ)償作用。02ERUR12RRR F 按等臂電橋：按等臂電橋：1234RRRRR3110112234RRRUERRRRRRr全橋電路的電壓輸出和電壓全橋電路的電壓輸出

20、和電壓靈敏度分別為靈敏度分別為101RUERuKE 全橋輸出電壓靈敏度是單橋的全橋輸出電壓靈敏度是單橋的4 4倍，倍， 沒有非線性誤差。沒有非線性誤差。將電橋四個(gè)橋臂按照將電橋四個(gè)橋臂按照對(duì)臂同性對(duì)臂同性、 鄰臂異性鄰臂異性原則連接四個(gè)應(yīng)變片原則連接四個(gè)應(yīng)變片 并且有：并且有：R1=R2=R3=R43311011223344RRRRUERRRRRRRR2uEKuKE4uEK0uRUKR142301234()()Z ZZ ZUUZZZZ1234ZZZZ、式中：式中：x 電抗、電抗、r 電阻、電阻、Z 復(fù)數(shù)的模、復(fù)數(shù)的模、 幅角幅角 用指數(shù)形式代入得到交流電橋平衡條件，需滿足兩個(gè)方程式：用指數(shù)形式

21、代入得到交流電橋平衡條件，需滿足兩個(gè)方程式： 對(duì)臂對(duì)臂復(fù)數(shù)的復(fù)數(shù)的模積相等模積相等，幅角之和相等幅角之和相等。1423| |ZZZZ142314230Z ZZ Z1234/ZZZZjZrjxZ e1234ZZZZ1Z已知已知 忽略分母項(xiàng)忽略分母項(xiàng)交流交流半橋半橋輸出：輸出： 10114ZUUZ012ZUUZ& 交流交流單橋單橋輸出：輸出： 11111RZj RC11211(1)RZj RC其中其中, Z1=R1 / XC143110112143(/) (/)(1/) (1/)ZZZZUUZZZZZZ 交流電橋輸出：交流電橋輸出：02UZUZ1423R RR R2211R CR C022

22、222211212RUCUUjRR CRR C11111RZj RC11211(1)RZj RC022222211212R UCUUjRR CRR C10114ZUUZ04URUR1RZj R C1423R RR R2211R CRC 交流電橋交流電橋，可以，可以測(cè)量測(cè)量20-200Hz20-200Hz頻率的頻率的應(yīng)變力，輸出調(diào)幅調(diào)制波；應(yīng)變力，輸出調(diào)幅調(diào)制波；振蕩器振蕩器，產(chǎn)生產(chǎn)生400-2000Hz400-2000Hz等幅正弦波等幅正弦波提供橋壓和相敏檢波器參考電壓；提供橋壓和相敏檢波器參考電壓；差動(dòng)放大器，差動(dòng)放大器，將電橋輸出信號(hào)放大將電橋輸出信號(hào)放大, ,調(diào)調(diào)幅波的負(fù)應(yīng)變信號(hào)反向輸出

23、幅波的負(fù)應(yīng)變信號(hào)反向輸出; ;相敏檢波器相敏檢波器，區(qū)分正負(fù)雙向信號(hào)；區(qū)分正負(fù)雙向信號(hào)；低通濾波器低通濾波器去掉高頻保留低頻應(yīng)變信去掉高頻保留低頻應(yīng)變信號(hào)號(hào), ,還原被檢測(cè)的信號(hào)。還原被檢測(cè)的信號(hào)。相移器相移器，相敏檢波器的參考信號(hào)與被相敏檢波器的參考信號(hào)與被測(cè)信號(hào)有嚴(yán)格的相位關(guān)系測(cè)信號(hào)有嚴(yán)格的相位關(guān)系, ,相敏檢波電相敏檢波電路要求路要求相位可調(diào)，由相移電路完成。相位可調(diào)，由相移電路完成。相相 移移 相移相移 頻域積分頻域積分( (由加速度計(jì)算速度、位移由加速度計(jì)算速度、位移) )、 頻域微分頻域微分( (由位移計(jì)算速度、加速度由位移計(jì)算速度、加速度) ) （1）應(yīng)變儀）應(yīng)變儀F 應(yīng)變儀主要

24、應(yīng)變儀主要特性參數(shù)：特性參數(shù)：1.1. 測(cè)量通道：測(cè)量通道：8 8通道通道，可多模塊組合，可多模塊組合2.2. 測(cè)量范圍：測(cè)量范圍：30000300003.3. 測(cè)量精度：測(cè)量精度：1.51.54.4. 掃描率高于掃描率高于1 1次次/ /秒秒5.5. 支持多種橋路接入方式：支持多種橋路接入方式：1/41/4橋、橋、半橋、全橋（半橋、全橋（4 4線、線、6 6線）線）6.6. 應(yīng)變片類型：應(yīng)變片類型：1201201k1k7.7. 應(yīng)變系數(shù)：應(yīng)變系數(shù)：1.801.802.202.208.8. 采樣率可設(shè)置為每通道采樣率可設(shè)置為每通道1010次次/ /秒到秒到幾天采集一次幾天采集一次9.9. 實(shí)時(shí)

25、顯示當(dāng)前數(shù)據(jù)和所設(shè)置的參數(shù)實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前數(shù)據(jù)和所設(shè)置的參數(shù)10.10. 2 28MByte8MByte非易失性存儲(chǔ)器，用于非易失性存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)測(cè)量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)測(cè)量數(shù)據(jù). . 采集模塊采集模塊因系統(tǒng)而定因系統(tǒng)而定采集標(biāo)定模塊采集標(biāo)定模塊基本分析模塊基本分析模塊模態(tài)參數(shù)識(shí)別模塊模態(tài)參數(shù)識(shí)別模塊錘擊振動(dòng)模塊錘擊振動(dòng)模塊生成地震波模塊生成地震波模塊小波分析模塊小波分析模塊橋梁索力測(cè)試模塊橋梁索力測(cè)試模塊擺度監(jiān)測(cè)模塊擺度監(jiān)測(cè)模塊動(dòng)態(tài)應(yīng)變采集分析系統(tǒng)動(dòng)態(tài)應(yīng)變采集分析系統(tǒng) 地震儀測(cè)地應(yīng)力、作用力大?。坏卣饍x測(cè)地應(yīng)力、作用力大??；用多個(gè)測(cè)點(diǎn)，根據(jù)用多個(gè)測(cè)點(diǎn)，根據(jù)P波、波、S波的傳播波的傳播速度，計(jì)算震中和震源深

26、度速度，計(jì)算震中和震源深度 ：自功率譜、互功率：自功率譜、互功率譜、正富氏變換、逆富氏變換、譜、正富氏變換、逆富氏變換、相干函數(shù)、傳遞函數(shù)相干函數(shù)、傳遞函數(shù)(頻響函數(shù)頻響函數(shù))、自相關(guān)、互相關(guān)、計(jì)算反應(yīng)譜。自相關(guān)、互相關(guān)、計(jì)算反應(yīng)譜。 橋梁固有頻率測(cè)量電路橋梁固有頻率測(cè)量電路直流電橋直流電橋頻率計(jì)頻率計(jì) lFlESE F=100103N量程量程 BLR-1型測(cè)拉力、型測(cè)拉力、BHR型測(cè)荷重傳感器型測(cè)荷重傳感器;火箭發(fā)動(dòng)機(jī)實(shí)驗(yàn)臺(tái)架都采用空心火箭發(fā)動(dòng)機(jī)實(shí)驗(yàn)臺(tái)架都采用空心圓柱結(jié)構(gòu)。圓柱結(jié)構(gòu)。 012RUER v 等截面梁等截面梁 懸臂梁的橫截面積處處相等，所以稱等截面梁。懸臂梁的橫截面積處處相等，所

27、以稱等截面梁。 當(dāng)外力當(dāng)外力F F 作用在梁的自由端時(shí)，固定端產(chǎn)生的應(yīng)變最大，作用在梁的自由端時(shí)，固定端產(chǎn)生的應(yīng)變最大， 粘貼在應(yīng)變片處的應(yīng)變?yōu)椋赫迟N在應(yīng)變片處的應(yīng)變?yōu)椋?l等截面等截面梁、梁、 026Flbh Ev 等截面梁等截面梁 26Flbh El 各種形式的應(yīng)變梁應(yīng)用于不同場(chǎng)合各種形式的應(yīng)變梁應(yīng)用于不同場(chǎng)合 各種平行雙孔梁各種平行雙孔梁 電電子子臺(tái)臺(tái)秤秤 橋式力傳感器橋式力傳感器扭力傳感器扭力傳感器利用單片機(jī)可利用單片機(jī)可進(jìn)行數(shù)字處理進(jìn)行數(shù)字處理R1 R20.58 R3 R422223(1)(3)8rprxEh22223(1)()8tprxEhR1 R20.58R3 R422maxma

28、x23 (1)8rtprEh22minmax23 (1)24rrprEh /30.58xrrR1 R20.58R3 R4殼體殼體機(jī)座機(jī)座aFR1R2m充滿硅油 Fma2266FLmLaEbhEbh26mLEbh梁確定后為常數(shù)aA/D轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換換顯顯示示驅(qū)驅(qū)動(dòng)動(dòng)放大放大LED顯示器顯示器數(shù)字電子秤系統(tǒng)框圖數(shù)字電子秤系統(tǒng)框圖整體原理圖整體原理圖電電 源源交流雙69V輸入傳感器電路傳感器電路+5-5OUT調(diào)零電位器放大電路放大電路放大倍數(shù)調(diào)節(jié)電位器差分放大級(jí)傳感器信號(hào)輸入傳感器信號(hào)輸入IC1IC2IC3注：運(yùn)放采用LM324IC1、IC2組成同相并聯(lián)差動(dòng)放大器，提高輸入阻抗。組成同相并聯(lián)差動(dòng)放大器，提高

29、輸入阻抗。IC3 組成基本差動(dòng)放大器組成基本差動(dòng)放大器 半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片00/12/,12RkkR 靈敏系數(shù)：lleeRR iavN-載流子數(shù)目 , -平均遷移率ERR1iaveN2m N-11 =（40 80）10/0100(12 )12100EkE 因?yàn)?0，50應(yīng)變應(yīng)變1121.6710/ENmE 氣壓氣壓 P 高壓腔高壓腔空氣空氣硅膜片硅膜片低壓腔低壓腔硅杯硅杯溫度溫度傳感器傳感器擴(kuò)散擴(kuò)散電阻電阻硅硅膜膜片片 MPX壓力傳感器引腳與封裝壓力傳感器引腳與封裝溫度補(bǔ)償溫度補(bǔ)償?shù)谝患?jí)放大第一級(jí)放大第二級(jí)放大第二級(jí)放大模擬輸出模擬輸出MPX壓力傳感器引腳壓力傳感器引腳與輸出特性

30、與輸出特性MPX4100A壓力傳感器檢測(cè)電路原理壓力傳感器檢測(cè)電路原理 F LM3914 集成電路內(nèi)部電路集成電路內(nèi)部電路 LED顯示驅(qū)動(dòng)器顯示驅(qū)動(dòng)器 條形條形LEDLED器件封裝器件封裝德國(guó)西門子壓力變送器產(chǎn)品特點(diǎn)：德國(guó)西門子壓力變送器產(chǎn)品特點(diǎn)：無需手操器無需手操器!強(qiáng)大的自診斷功能強(qiáng)大的自診斷功能!壓力變送器壓力變送器差壓變送器差壓變送器硅晶片技術(shù)硅晶片技術(shù)!SITRANS P - DSIII 系列系列現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用西門子壓力變送器用于西門子壓力變送器用于石油油罐及管道壓力測(cè)量石油油罐及管道壓力測(cè)量壓壓力力變變送送器器SITRANS P 測(cè)量原理測(cè)量原理 膜片式壓力傳感器測(cè)量原理膜片式壓

31、力傳感器測(cè)量原理外加壓力作用到隔離膜外加壓力作用到隔離膜片上，膜片片上，膜片變形變形硅油硅油( (或其他惰性液體或其他惰性液體) )將壓力傳導(dǎo)將壓力傳導(dǎo)到傳感器中硅晶片（應(yīng)變片）上到傳感器中硅晶片（應(yīng)變片）上硅晶片橋式電路中的硅晶片橋式電路中的4 4個(gè)應(yīng)變片電阻個(gè)應(yīng)變片電阻阻值相應(yīng)改變，即電橋輸出電壓與阻值相應(yīng)改變，即電橋輸出電壓與外加壓力成正比外加壓力成正比單端過載時(shí)，隔離膜片靠在基座上單端過載時(shí)，隔離膜片靠在基座上中央中央隔離膜片隔離膜片提高了抗過載能力提高了抗過載能力壓力測(cè)量元件壓力測(cè)量元件差壓測(cè)量元件差壓測(cè)量元件隔離膜片隔離膜片中央膜片中央膜片傳感器傳感器應(yīng)變傳感器應(yīng)變傳感器SITRA

32、NS P 傳感器傳感器傳感器傳感器 1 20 60 250 600 1.600 5.000 30.000mbar mbar mbar mbar mbar mbar mbar mbar溫度傳感器溫度傳感器壓電電阻壓電電阻硅膜片硅膜片硅安裝板硅安裝板剛性管剛性管P硅膜片硅膜片傳感器傳感器 SITRANS P 各種材質(zhì)滿足多數(shù)應(yīng)用各種材質(zhì)滿足多數(shù)應(yīng)用成功應(yīng)用于石油、化工、成功應(yīng)用于石油、化工、冶金、電力、礦山、水泥、冶金、電力、礦山、水泥、制藥、食品飲料、造紙、制藥、食品飲料、造紙、污水處理、市政等行業(yè)。污水處理、市政等行業(yè)。不銹鋼材質(zhì)適用于不銹鋼材質(zhì)適用于80%以以上的介質(zhì)上的介質(zhì)哈氏合金哈氏合金

33、 C 276適用于氯適用于氯乙酸、蟻酸、丙酮等乙酸、蟻酸、丙酮等SITRANS P測(cè)量元件可測(cè)量元件可選用特殊材質(zhì)以適用各選用特殊材質(zhì)以適用各種嚴(yán)酷工況和介質(zhì)種嚴(yán)酷工況和介質(zhì)蒙乃爾合金蒙乃爾合金適用于氟化適用于氟化物、氰化物、海水等物、氰化物、海水等鉭鉭適適用于用于氯化磷、氯化氯化磷、氯化鈉、鹽酸鈉、鹽酸等等金適用金適用于氫氣于氫氣不銹鋼不銹鋼哈氏合金哈氏合金蒙乃爾蒙乃爾鉭鉭金金 產(chǎn)品特點(diǎn)產(chǎn)品特點(diǎn)用手指就能設(shè)定參數(shù)用手指就能設(shè)定參數(shù)! 危險(xiǎn)區(qū)域危險(xiǎn)區(qū)域! 無需額外設(shè)備無需額外設(shè)備! 輕易的設(shè)置常用的功能輕易的設(shè)置常用的功能? 為什么還需要為什么還需要.磁感應(yīng)式就地按鍵磁感應(yīng)式就地按鍵 產(chǎn)品特點(diǎn)

34、產(chǎn)品特點(diǎn)使用使用方便方便 SITRANS P 帶帶 LCD的操作的操作選擇參數(shù)選擇參數(shù)修改設(shè)定參數(shù)修改設(shè)定參數(shù) 當(dāng)前值當(dāng)前值工作模式工作模式 產(chǎn)品特點(diǎn)產(chǎn)品特點(diǎn)結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)SITRANS P 結(jié)構(gòu)圖結(jié)構(gòu)圖 LCD顯示器顯示器 - HART 通信通信電電路路結(jié)結(jié)構(gòu)構(gòu)框框圖圖 模模/數(shù)數(shù) 轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換器微處理器微處理器 數(shù)數(shù)/模模轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換器前置前置放大器放大器傳感器傳感器LCDHART終端終端+按鍵SITRANS P 帶帶 LCD的操作的操作模塊化結(jié)構(gòu)模塊化結(jié)構(gòu)P-Sensor:T-Sensor:VVHART ElectronicsAD16Bit CEEPROMCellT-SensorElectroni

35、csEEPROMElectronicsEMI-ModuleHARTPA/FF ElectronicsAD16Bit CEMI-Module(PA)T-SensorElectronicsEEPROMElectronicsLCD-displayKeypad4.20mAHARTDAProfibus PA HART(Highway Addressable Remote Transducer)，可尋址遠(yuǎn)程傳感器高速通道的開放通信協(xié)議，是美國(guó)可尋址遠(yuǎn)程傳感器高速通道的開放通信協(xié)議，是美國(guó)Rosement公司于公司于1985年推出的一種用于現(xiàn)場(chǎng)智能儀表和年推出的一種用于現(xiàn)場(chǎng)智能儀表和控制室設(shè)備之間的通信協(xié)議

36、?？刂剖以O(shè)備之間的通信協(xié)議。 HART技術(shù)在國(guó)外已經(jīng)十技術(shù)在國(guó)外已經(jīng)十分成熟，并已成為全球智能儀表的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。分成熟，并已成為全球智能儀表的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。HART協(xié)議采用基于協(xié)議采用基于Bell202標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)的FSK頻移鍵控信號(hào)，頻移鍵控信號(hào)，在低頻的在低頻的4-20mA模擬信號(hào)上疊加幅度為模擬信號(hào)上疊加幅度為0.5mA的音頻數(shù)的音頻數(shù)字信號(hào)進(jìn)行雙向數(shù)字通訊，數(shù)據(jù)傳輸率為字信號(hào)進(jìn)行雙向數(shù)字通訊，數(shù)據(jù)傳輸率為1.2Mbps。在在HART協(xié)議通信中主要的變量和控制信息由協(xié)議通信中主要的變量和控制信息由4-20mA傳傳送，在需要的情況下，另外的測(cè)量、過程參數(shù)、設(shè)備組送，在需要的情況下，另外的測(cè)量、過程

37、參數(shù)、設(shè)備組態(tài)、校準(zhǔn)、診斷信息通過態(tài)、校準(zhǔn)、診斷信息通過HART協(xié)議訪問。協(xié)議訪問。 HART協(xié)議協(xié)議SITRANS P - DSIII 系列功能列表系列功能列表 功能菜單 工作模式工作模式功能功能 顯示測(cè)量值顯示測(cè)量值 顯示工作狀態(tài)顯示工作狀態(tài) 設(shè)定零點(diǎn)設(shè)定零點(diǎn) 設(shè)定滿量程設(shè)定滿量程 設(shè)定阻尼設(shè)定阻尼 盲調(diào)零點(diǎn)盲調(diào)零點(diǎn)(當(dāng)前值）當(dāng)前值） 盲調(diào)滿量程盲調(diào)滿量程 零點(diǎn)遷移零點(diǎn)遷移 回路檢測(cè)回路檢測(cè) 故障輸出信號(hào)故障輸出信號(hào) 鎖定操作鍵鎖定操作鍵 線性或平方根特性曲線線性或平方根特性曲線 設(shè)定平方根曲線起點(diǎn)設(shè)定平方根曲線起點(diǎn) 測(cè)量值顯示設(shè)定測(cè)量值顯示設(shè)定 壓力單位壓力單位SITRANS P 自診斷

38、功能自診斷功能事件事件故障故障不動(dòng)作不動(dòng)作警告警告報(bào)警報(bào)警通信通信(HART)電流輸出電流輸出4.20mA例如: 狀態(tài)例如: 故障電流20,5mA3,84 mASITRANS P - DSIII 系列系列故障診斷故障診斷 傳感器破裂傳感器破裂 從屬指示器從屬指示器, 可重新設(shè)置可重新設(shè)置(記錄包括最大和最小下列峰值記錄包括最大和最小下列峰值) 壓力壓力 傳感器溫度傳感器溫度 電器模塊溫度電器模塊溫度 累記累記工作時(shí)間記錄儀工作時(shí)間記錄儀 電路與傳感器電路與傳感器維護(hù)定時(shí)器維護(hù)定時(shí)器 (可參數(shù)設(shè)定可參數(shù)設(shè)定) 維護(hù)警告維護(hù)警告 (通過通過HART提示提示, 可被確認(rèn)可被確認(rèn)) 維護(hù)報(bào)警維護(hù)報(bào)警

39、(通過通過HART或故障電流提示或故障電流提示) 可被確認(rèn)可被確認(rèn) 極限值報(bào)警極限值報(bào)警,輸出相應(yīng)設(shè)定電流輸出相應(yīng)設(shè)定電流(響應(yīng)時(shí)間和磁滯特性可參數(shù)設(shè)定響應(yīng)時(shí)間和磁滯特性可參數(shù)設(shè)定) 極限值傳感器極限值傳感器 帶事件記數(shù)器和比較儀帶事件記數(shù)器和比較儀 壓力超極限值次數(shù)壓力超極限值次數(shù) 校準(zhǔn)計(jì)時(shí)器校準(zhǔn)計(jì)時(shí)器 用于決定變送器要重新校準(zhǔn)的時(shí)間用于決定變送器要重新校準(zhǔn)的時(shí)間自診斷功能SITRANS P - DSIII 系列系列故障診斷故障診斷 對(duì)下列元器件內(nèi)數(shù)據(jù)進(jìn)行連續(xù)周期性監(jiān)測(cè)：對(duì)下列元器件內(nèi)數(shù)據(jù)進(jìn)行連續(xù)周期性監(jiān)測(cè)： ROM ROM RAM RAM EEPROMs: EEPROMs: 傳感器數(shù)據(jù)傳感

40、器數(shù)據(jù) 電子模塊數(shù)據(jù)電子模塊數(shù)據(jù) 內(nèi)置測(cè)試看門狗功能內(nèi)置測(cè)試看門狗功能 通過看門狗監(jiān)測(cè)軟件通過看門狗監(jiān)測(cè)軟件 監(jiān)測(cè)周期內(nèi)的檢測(cè)點(diǎn)：監(jiān)測(cè)周期內(nèi)的檢測(cè)點(diǎn)： 2 2 x x 測(cè)量值測(cè)量值 1 1 x LCDx LCD 1 x 1 x 傳感器溫度值傳感器溫度值 1 1 x x 電子模塊溫度值電子模塊溫度值 1 1 x x 線性計(jì)算線性計(jì)算自診斷功能自診斷功能壓力傳感器壓力傳感器/ /變送器基礎(chǔ)知識(shí)變送器基礎(chǔ)知識(shí)一、壓力的基本概念一、壓力的基本概念 1、壓強(qiáng)（、壓強(qiáng)（Pressure)與壓力（與壓力（Pressure，force)： 2、壓強(qiáng)與壓力（、壓強(qiáng)與壓力（Pressure)的單位：的單位： 壓強(qiáng)

41、：帕斯卡（壓強(qiáng)：帕斯卡（Pa），壓力：牛頓（），壓力：牛頓（N）。）。 3、區(qū)分客戶所說壓力與壓強(qiáng)。、區(qū)分客戶所說壓力與壓強(qiáng)。 4、單位換算：、單位換算： 1bar=1.0 105Pa=100kPa=14.7PSI =0.1MPa=760mmHg=10mH2O 1PSI=6.89KPa，1公斤壓力公斤壓力=0.98 105Pa=1千克力千克力/厘米厘米2 1inchH2O=250Pa二、壓力類型二、壓力類型1、絕壓（、絕壓（Absolute,A),以真空為標(biāo)準(zhǔn)以真空為標(biāo)準(zhǔn)2、表壓（、表壓（Guage,G)，以當(dāng)?shù)卮髿鈮簽闃?biāo)準(zhǔn)。，以當(dāng)?shù)卮髿鈮簽闃?biāo)準(zhǔn)。3、差壓（、差壓（Differential,D

42、)，測(cè)試兩端壓力差值。，測(cè)試兩端壓力差值。4、密封表壓（、密封表壓（Vent Guage,VG)，以標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓為標(biāo)準(zhǔn)。，以標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓為標(biāo)準(zhǔn)。壓力傳感器壓力傳感器/變送器基礎(chǔ)知識(shí)變送器基礎(chǔ)知識(shí)三、壓力芯片、壓力芯體、壓力敏感元件三、壓力芯片、壓力芯體、壓力敏感元件 壓力芯片通過壓力芯片通過MENSMENS工藝，在硅片上形成工藝，在硅片上形成4 4個(gè)可變電阻。個(gè)可變電阻。壓力傳感器壓力傳感器/變送器基礎(chǔ)知識(shí)變送器基礎(chǔ)知識(shí)測(cè)試氣壓的壓力芯體、壓力敏感元件：測(cè)試氣壓的壓力芯體、壓力敏感元件： 1、表貼封裝、表貼封裝 2、雙列直插式封裝、雙列直插式封裝 3、TO-8封裝封裝123壓力傳感器壓力傳感器

43、/變送器基礎(chǔ)知識(shí)變送器基礎(chǔ)知識(shí)主要應(yīng)用場(chǎng)合：主要應(yīng)用場(chǎng)合： 航天航空軍工場(chǎng)合，例如：風(fēng)洞壓力測(cè)試、渦輪機(jī)、航天航空軍工場(chǎng)合，例如：風(fēng)洞壓力測(cè)試、渦輪機(jī)、 葉輪機(jī)壓力測(cè)試，鉆井壓力測(cè)試、高溫、低溫壓力測(cè)試葉輪機(jī)壓力測(cè)試，鉆井壓力測(cè)試、高溫、低溫壓力測(cè)試4 4、不銹鋼封裝（測(cè)試液壓和氣壓）、不銹鋼封裝（測(cè)試液壓和氣壓）壓力傳感器壓力傳感器/變送器基礎(chǔ)知識(shí)變送器基礎(chǔ)知識(shí)多功能校驗(yàn)儀多功能校驗(yàn)儀 MC5- - -現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用（現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用（1）電阻式電阻式傳感器的基本原理，轉(zhuǎn)換電路。了解不同傳感器的基本原理，轉(zhuǎn)換電路。了解不同電阻式傳感器的結(jié)構(gòu)、性能、靈敏度差別，分別電阻式傳感器的結(jié)構(gòu)、性能、靈敏度差別，分別

44、使用在哪些場(chǎng)合；如何通過電阻式傳感使用在哪些場(chǎng)合；如何通過電阻式傳感 器測(cè)量力、器測(cè)量力、壓力、位移、應(yīng)變、加速度等非電量參數(shù)；壓力、位移、應(yīng)變、加速度等非電量參數(shù)；金屬箔式應(yīng)變片：直流單臂、半橋、全橋比較；金屬箔式應(yīng)變片：直流單臂、半橋、全橋比較；應(yīng)用測(cè)量電路，交流全橋應(yīng)用測(cè)量電路，交流全橋, ,相移器、相敏檢波器、相移器、相敏檢波器、電阻應(yīng)變儀，電子電阻應(yīng)變儀，電子 秤。秤。 應(yīng)變片應(yīng)變片金屬絲拉長(zhǎng)，電阻增加，反之減少。金屬絲拉長(zhǎng)，電阻增加，反之減少。 電橋電路電橋電路平衡條件：平衡條件：R R1 1R R4 4=R=R2 2R R3 3； 用途：求未知電阻值，記錄電阻變化率、溫度補(bǔ)償；用

45、途：求未知電阻值，記錄電阻變化率、溫度補(bǔ)償； 歐姆定律、基爾霍夫定律：計(jì)算電路電壓、電流。歐姆定律、基爾霍夫定律：計(jì)算電路電壓、電流。 應(yīng)變（力傳感器）應(yīng)變（力傳感器）貼在試件上（彈性元件）的應(yīng)變片貼在試件上（彈性元件）的應(yīng)變片 的電阻變化率與應(yīng)變成比例。的電阻變化率與應(yīng)變成比例。 半導(dǎo)體壓力傳感器可獲得比金屬大半導(dǎo)體壓力傳感器可獲得比金屬大100倍以上的電阻變倍以上的電阻變 化。化。 利用應(yīng)變的傳感器有荷重、壓力、形變、粘度傳感器。利用應(yīng)變的傳感器有荷重、壓力、形變、粘度傳感器。課外作業(yè)課外作業(yè)1 1、什么是金屬應(yīng)變效應(yīng)？什么是壓阻效應(yīng)？什么是橫向效應(yīng)？金屬應(yīng)變片、什么是金屬應(yīng)變效應(yīng)？什么是壓阻效應(yīng)？什么是橫向效應(yīng)？金屬應(yīng)變片產(chǎn)品靈敏系數(shù)稱產(chǎn)品