電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全培訓(xùn)

1、 電子氣體化學(xué)品電子氣體化學(xué)品應(yīng)用與安全應(yīng)用與安全 本節(jié)內(nèi)容本節(jié)內(nèi)容l一、氣體輸送系統(tǒng)一、氣體輸送系統(tǒng)l二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)l三、氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)三、氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)l四、工藝安全管理及事故案例分析四、工藝安全管理及事故案例分析l五、個(gè)人防護(hù)用品（五、個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng)l六、廠務(wù)運(yùn)行管理實(shí)務(wù)六、廠務(wù)運(yùn)行管理實(shí)務(wù)一、氣體輸送系統(tǒng)一、氣體輸送系統(tǒng)1、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式、半導(dǎo)體廠常用氣體分類及其輸送方式氣體輸送系統(tǒng)氣體輸送系統(tǒng)2、氣柜的作用：、氣柜的作用：、實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝設(shè)備的連續(xù)供氣：采用雙瓶切換系統(tǒng)；、安全地輸送工藝氣體至工藝設(shè)備： 、對(duì)工

2、藝設(shè)備的安全考慮：壓力調(diào)節(jié)、氣體凈化、吹掃； 、對(duì)操作人員的安全考慮：柜體隔離、排風(fēng)系統(tǒng)、報(bào)警系統(tǒng)、緊急切斷、全自動(dòng)控制系統(tǒng)； 、對(duì)環(huán)境的安全考慮：工藝生產(chǎn)要求、氣體的不同性質(zhì)、當(dāng)前項(xiàng)目預(yù)算、將來項(xiàng)目擴(kuò)展需求。3、氣柜使用中常見問題及注意事項(xiàng)：、氣柜使用中常見問題及注意事項(xiàng)：、調(diào)壓時(shí)不準(zhǔn)或者不穩(wěn)：原因是減壓閥具有機(jī)械滯后性，工作使用中可將調(diào)壓閥調(diào)至比所需壓力低一些，氣體輸送系統(tǒng)氣體輸送系統(tǒng)然后再等一會(huì)看壓力是否穩(wěn)定在所需壓力。、日常工作如需操作氣柜，只需開窗操作，只有在換瓶時(shí)才開門!、換鋼瓶時(shí)需要至少2個(gè)人共同操作，一個(gè)人操作，另一個(gè)人需要確認(rèn)每一步是否正確、規(guī)范。氣源、氣瓶的配管要用塑料管或

3、者尼龍管，這樣發(fā)生燃燒事故時(shí)可燒掉從而切斷氣源，降低危險(xiǎn)性。、氣柜上的過流保護(hù)開關(guān)參數(shù)不可調(diào)，安裝時(shí)必須垂直安裝。、SiH 等易燃?xì)怏w的鋼瓶最好配置Auto Guard（鋼瓶接口保護(hù)器），以防止在換鋼瓶時(shí)發(fā)生事故。、對(duì)于在我們管線分布上有潛在泄露點(diǎn)的地方，比如焊接點(diǎn)等連接點(diǎn)，要配置帶抽風(fēng)的罩子，這樣可以更好的對(duì)人員和設(shè)備進(jìn)行保護(hù)。氣體輸送系統(tǒng)氣體輸送系統(tǒng)、氣柜最好配置雙瓶切換，這樣可以一側(cè)氣瓶用盡，另一側(cè)自動(dòng)供氣，這樣可以實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝設(shè)備的連續(xù)供氣。、不同特氣對(duì)減壓閥的選型也會(huì)有不同的要求，對(duì)于閥門的選型也是需要注意的地方。比如如果我們有閥門壞了，需要更換，就需要注意更換閥門的型號(hào)。、過流保護(hù)開

4、關(guān)是個(gè)非常有必要安裝的部件，作用就是氣體流量異常變大的時(shí)候可以把氣體停掉，一般正帆都會(huì)建議客戶安裝過流保護(hù)開關(guān)。二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)二、化學(xué)品輸送系統(tǒng)1、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：、化學(xué)品在半導(dǎo)體工藝中的作用：清洗芯片上的雜質(zhì)、微粒子；刻蝕芯片圖案；顯影芯片圖案；研磨芯片；清洗制程設(shè)備零配件2、常用化學(xué)品性質(zhì)和分類：、常用化學(xué)品性質(zhì)和分類：、酸性：腐蝕性：H SO 、HCL、HNO 、HF、H PO 毒性：HF、Acetone 化學(xué)品輸送系統(tǒng)化學(xué)品輸送系統(tǒng)、堿性：NH OH、KOH、Developer 、有機(jī)溶劑：IPA、光阻液 EKC、EBR、HMDS 、氧化性：H SO 、H O 、懸浮液

5、（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）3、化學(xué)品輸送系統(tǒng)操作安全、化學(xué)品輸送系統(tǒng)操作安全、化學(xué)系統(tǒng)運(yùn)行需要的證照與認(rèn)證操作人員的安全管理非常重要，所有操作人員應(yīng)具備以下資質(zhì)： 壓力容器操作許可證壓力容器操作許可證 危險(xiǎn)化學(xué)品操作許可證危險(xiǎn)化學(xué)品操作許可證 叉車操作許可證（如有使用）叉車操作許可證（如有使用）化學(xué)品輸送系統(tǒng)化學(xué)品輸送系統(tǒng)、熟知化學(xué)品安全技術(shù)說明書（MSDS/CSDS）操作人員可以從中學(xué)習(xí)到化學(xué)品的特性，毒性，危害性，中毒預(yù)防措施，緊急事故處理等。、化學(xué)品系統(tǒng)的PPE使用如酸桶更換作業(yè)時(shí)需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。4

6、、化學(xué)品輸送管道材質(zhì)：、化學(xué)品輸送管道材質(zhì)：酸堿類：內(nèi)管PFA，外管CPVC溶劑類：工藝管線SUS316EP，或外管SUS304+PFA內(nèi)管方式三、氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)三、氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)1、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件、氣體化學(xué)品監(jiān)控系統(tǒng)關(guān)鍵部件氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)2、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)、氣體監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)、必須監(jiān)測(cè)氣體種類自然氣體（如SiH4），可燃性氣體（如CH4/H2）、毒性氣體（如PH3/AsH3）、腐蝕性氣體（如HCL/HBR）、氧化性氣體（如O2/CL2）、惰性氣體密閉區(qū)域（安裝O2探頭）、偵測(cè)器安裝、偵測(cè)器取樣管長(zhǎng)度規(guī)定：烷類氣體和

7、氫氣取樣管最長(zhǎng)30米，氨氣取樣管最長(zhǎng)10米，HCL等酸類氣體取樣管最長(zhǎng)5米、偵測(cè)器安裝高度要求：距地面1.7米左右，方便操作和觀察氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、偵測(cè)器取樣點(diǎn)位置規(guī)定：特氣設(shè)備釋放源殼體排風(fēng)，特氣相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，取樣點(diǎn)同時(shí)放置在釋放源上方和廠方最高點(diǎn)易積氣處；特氣相對(duì)密度大于0.75時(shí)，取樣點(diǎn)設(shè)置在釋放源下方距地面高度0.5米處、偵測(cè)器安裝環(huán)境要求：環(huán)境溫度0至40，環(huán)境濕度20%至80%RH，遠(yuǎn)離強(qiáng)電干擾、偵測(cè)器探頭選型、每種特氣原則上采用對(duì)應(yīng)氣體探頭、同類型氣體混合排放采用毒性最強(qiáng)特氣探頭、混合氣體偵測(cè)，采用最先到達(dá)報(bào)警濃度值特氣探頭、特殊化學(xué)品泄露偵測(cè)

8、，根據(jù)空氣反應(yīng)決定特氣探頭氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、GDS邏輯控制氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)氣體化學(xué)品監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、基于數(shù)據(jù)總線網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)基于POE網(wǎng)絡(luò)通信環(huán)形網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)3、工作人員更換閥門時(shí)的操作注意事項(xiàng)：、工作人員更換閥門時(shí)的操作注意事項(xiàng)：、更換一個(gè)閥門時(shí)如果太緊不能強(qiáng)行拆卸，可以把上方或者下方閥門的螺絲擰松一點(diǎn)，再擰需要更換的閥門就比較容易。、用兩個(gè)扳手?jǐn)Q閥門螺絲時(shí)兩個(gè)扳手的夾角不能太大，而且最好用一只手兩個(gè)扳手一塊用力。、換墊片時(shí)要換干凈的手套，每次換閥門都要換墊片。、擰緊螺絲的時(shí)候用手?jǐn)Q緊后再用扳手?jǐn)Q1/8圈就可以，不能使太大勁去擰，容易使墊片變形。四、工藝安全管理及事故案例分析四、工藝

9、安全管理及事故案例分析工藝安全管理（工藝安全管理（PSM）：通過執(zhí)行工程標(biāo)準(zhǔn)、最大實(shí)踐、工藝設(shè)計(jì)、系統(tǒng)操作和維護(hù)程序，以最大限度地降低或消除化工過程運(yùn)行時(shí)造成的人員傷亡、財(cái)產(chǎn)損失和環(huán)境破壞。工藝安全管理的工藝安全管理的14個(gè)要素：個(gè)要素：工藝安全信息（PSI），工藝危害分析，變更管理，開工前安全檢查（ORI），操作規(guī)程，培訓(xùn)，機(jī)械完整性（MI），動(dòng)火作業(yè)許可證，承包商，應(yīng)急準(zhǔn)備和響應(yīng)，事件調(diào)查，商業(yè)機(jī)密，符合性審查，員工參與五、個(gè)人防護(hù)用品（五、個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng)1、PPE：主要用于保護(hù)雇員免受由于接觸化學(xué)輻射、電動(dòng)設(shè)備、人力設(shè)備、機(jī)械設(shè)備或在一些危險(xiǎn)工作場(chǎng)所而引起的

10、嚴(yán)重的工傷或疾病。2、PPE的等級(jí)和分類的等級(jí)和分類個(gè)人防護(hù)用品（個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng)個(gè)人防護(hù)用品（個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng)3、使用PPE時(shí)應(yīng)注意事項(xiàng)！、脫衣服時(shí)，需抓緊衣服內(nèi)側(cè)脫下；、防護(hù)衣最好為一次性使用，若多次使用需要清洗時(shí)，洗過之后不可曬干，需晾干；、A級(jí)防護(hù)衣需定期做氣密性檢查；、穿A級(jí)防護(hù)衣時(shí)，穿戴者最好攜帶通訊工具和小刀。4、啟動(dòng)應(yīng)急反應(yīng)的六個(gè)關(guān)鍵：、應(yīng)急人員組織：分工明確，職能清晰，要求需清楚；小組成員要固定，并有培訓(xùn)計(jì)劃。、應(yīng)急器材設(shè)備的準(zhǔn)備及使用：須列出物資清單及負(fù)責(zé)人；器材使用有效個(gè)人防護(hù)用品（個(gè)人防護(hù)用品（PPE）及應(yīng)急反應(yīng)）及應(yīng)急反應(yīng)及安全檢查。、人員疏散：逃生通道及集結(jié)點(diǎn)安全；廣播明確指示；疏散路線人員布點(diǎn)指揮，確保安全有序離開危險(xiǎn)區(qū)域；人員清點(diǎn)。、流程節(jié)點(diǎn)的溝通：匯報(bào)現(xiàn)場(chǎng)狀況須掌握要點(diǎn)；現(xiàn)場(chǎng)指揮須條理清晰；所有處置措施有效到位；進(jìn)現(xiàn)場(chǎng)人員必須先進(jìn)性防護(hù)裝備及器材的使用有效