場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)標(biāo)書

1、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)標(biāo)書附件：場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)標(biāo)書一、設(shè)備用途掃描電鏡是一種多功能的儀器，廣泛地用于材料的微觀組織觀察、微區(qū)成分分析、材料的斷分析、材料的晶粒度分析、夾雜物分析及織構(gòu)表征等，可對(duì)導(dǎo)電及不導(dǎo)電的固體材料進(jìn)行表面形貌的觀察及成分分析。場(chǎng)發(fā)射電鏡能夠?qū)崿F(xiàn)更高分辨率的形貌觀察，可實(shí)現(xiàn)對(duì)超細(xì)晶材料尤其是納米材料的表征。基于相關(guān)附件，也可以對(duì)材料在溫度及應(yīng)力作用下的動(dòng)態(tài)變化進(jìn)行原位觀察。儀器包括電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、樣品室和樣品臺(tái)、探測(cè)器及成像系統(tǒng)、圖像處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件及數(shù)據(jù)處理軟件、X射線能譜分析儀（EDS）、背散射電子衍射分析儀（EBSD）、原位加熱臺(tái)。二、技術(shù)參數(shù)1,運(yùn)行環(huán)境1.

2、1 工作溫度：可以在1525環(huán)境溫度工作1.2 相對(duì)濕度：濕度小于60%RH時(shí)正常工作1.3工作電壓：在220V（有0%）、50Hz電壓下，儀器可連續(xù)使用2 .電子光學(xué)系統(tǒng)2.1 電子槍：Schottky場(chǎng)發(fā)射電子槍2.2 加速電壓：0.2kV30KV,步長(zhǎng)10V連續(xù)可2.3 電子束流:束流連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)定性優(yōu)于0.2%/h2.4 放大倍數(shù)：15倍100萬(wàn)倍2.5 工作距離：550mm,粗調(diào)、精調(diào)兩種模式2.6 物鏡：無(wú)漏磁物鏡，能有效觀測(cè)磁性樣品2.7 物鏡光闌：具備自清潔功能3 .真空系統(tǒng)3.1 機(jī)械泵、分子泵、離子泵三級(jí)抽真空系統(tǒng)*3.2真空模式：能夠滿足基本的成像、分析的高真空模式，同時(shí)

3、滿足原位加熱臺(tái)等附件工作的需要模式3.3 真空度：電子槍真空度優(yōu)于l(TPa、樣品室高真空優(yōu)于10Pa3.4 抽真空時(shí)間：不高于5min4 .檢測(cè)器及成像系統(tǒng)4.1 成像模式：背散射成像、二次電子成像、任意比例混合模式成像4.2 檢測(cè)器：電子探測(cè)器不少于3個(gè)，鏡筒內(nèi)二次電子探測(cè)器1個(gè)，高靈敏度低電壓固體背散射探測(cè)器1個(gè)4.3 相機(jī)：樣品室紅外高清CCD相機(jī)4.4 檢測(cè)器分辨率*4.4.1二次電子分辨率：30kV時(shí)小于1.0nm或20kV時(shí)小于1.3nm）1kV時(shí)優(yōu)于3.0nm*4.4.2背散射電子分辨率：30kV時(shí)小于2.5nm,1kV時(shí)優(yōu)于3.0nm5 .樣品室和樣品臺(tái)5.1 樣品臺(tái)：自動(dòng)馬

4、達(dá)驅(qū)動(dòng)5軸以上（X、Y、Z、T、R）*5.2移動(dòng)范圍：XA100mm、Y100mm、Z50mmT=-570、R=360連續(xù)旋轉(zhuǎn)5.3 移動(dòng)精度：優(yōu)于2m5.4 樣品室尺寸：內(nèi)徑不小于300mm）高度不小于200mm）可容納樣品直徑不小于200mm5.5 樣品室有EDS、EBSD接口*5.6可加配加熱臺(tái)和原位拉伸臺(tái)，加熱臺(tái)運(yùn)行時(shí)應(yīng)保證成像系統(tǒng)和EBSD能夠同步運(yùn)行6 .圖像處理系統(tǒng)6.1 存儲(chǔ)分辨率：不低于30002000像素6.2 活動(dòng)窗口：多個(gè)活動(dòng)窗口，可同時(shí)顯示背散射及二次電子圖像6.3 圖像格式：TIFF、BMP、JPEG等多種圖像格式6.4 圖像幀數(shù)：不小于256幀，可降噪處理6.5

5、能夠進(jìn)行數(shù)字動(dòng)畫記錄6.6 具有圖像注釋、測(cè)量等圖像處理功能7 .控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)7.1 基于以太網(wǎng)架構(gòu)的數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)7.2 軟件平臺(tái)適用于windows操作系統(tǒng)7.3 顯示器：24”LED顯示器8 .X射線能譜分析儀（EDS）8.1 能量探測(cè)器：電制冷硅漂移探測(cè)器（SDD）*8.2有效采集面積：SDD晶體有效活區(qū)面積不小于30mm2,窗口有效面積不小于20mm2,可實(shí)現(xiàn)低電壓或者小束流條件下的高質(zhì)量、高效率分析*8.3探測(cè)器定位：探測(cè)器由馬達(dá)控制精確定位，軟件可控，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和控制采集計(jì)數(shù)率，保證不同樣品的數(shù)據(jù)重復(fù)性和測(cè)試條件重復(fù)性的目的*8.4能量分辨率：MnKa優(yōu)于127eV,CKa

6、優(yōu)于50eV,FKa優(yōu)于60eV8.5元素分析范圍：至少為Be4U92*8.6峰背比:優(yōu)于20000:18.7 譜峰穩(wěn)定性：分辨率變化在1eV以內(nèi)，48小時(shí)內(nèi)峰位漂移小于1.5eV8.8 計(jì)數(shù)率：輸出最大計(jì)數(shù)率大于800Q00CPS,可處理最大計(jì)數(shù)率大于1,500,000CPS8.9 具有輕元素定量分析和修正功能，可對(duì)Be、B、C、N等進(jìn)行濃度定量檢測(cè)以及修正8.10 采集界面：采用32位和64位雙系統(tǒng)，采集界面方便簡(jiǎn)單，智能化設(shè)定參數(shù)，兼容原有EBSD數(shù)據(jù)，能實(shí)現(xiàn)能譜的采集與定量分析、線掃描及全息面掃描，包含常規(guī)面分布、定量面分布和快速面分布、快速智能面分布等*8.11定性分析：具備點(diǎn)、線、

7、面掃描分析功能，可自動(dòng)和手動(dòng)進(jìn)行全譜元素譜峰識(shí)別，并具有檢驗(yàn)重疊峰剝離準(zhǔn)確性以及合峰效應(yīng)的有效方法，能夠分析夾雜和偏析等微量元素和微量相8.12定量分析：采用最先進(jìn)的修正技術(shù)和虛擬標(biāo)樣數(shù)據(jù)庫(kù)，系統(tǒng)能夠自動(dòng)有效修正元素之間的相互吸收，可對(duì)拋光表面或粗糙表面進(jìn)行點(diǎn)、線和面的分析，譜峰穩(wěn)定，數(shù)據(jù)重現(xiàn)性好，不需要多元素校準(zhǔn)峰位。具備方便的虛擬標(biāo)樣分析方法，且可以得到高級(jí)的非歸一化定量結(jié)果，各元素定量誤差沒(méi)有相互干擾，數(shù)據(jù)格式可以和電子探針等高級(jí)分析方式的數(shù)據(jù)直接對(duì)應(yīng)；*8.13智能軟件系統(tǒng)：中英文任意切換的軟件界面，能譜與電鏡一體化，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)讀取和控制電鏡參數(shù)，完整的離線能譜分析軟件，具備實(shí)時(shí)跟蹤能

8、力和智能定性，定量分析能力，自動(dòng)漂移校正*8.14低電壓分析：在電鏡低電壓條件下能正常分析，3KV下可獲取輕元素的定性定量信息，5KV下具備虛擬標(biāo)樣數(shù)據(jù)庫(kù)，可實(shí)現(xiàn)全譜定性定量分析8.15 系統(tǒng)可靠性：采用獨(dú)立的圖像采集處理器和波形采集處理器，各自獨(dú)立封裝，防止集成式設(shè)計(jì)存在的故障可能點(diǎn)多、更換零部件成本高的問(wèn)題8.16 計(jì)算機(jī)：原裝工作站，CPU四核，主頻高于3GHz,三級(jí)緩存不小于8M,內(nèi)存32G,硬盤500G*2,可實(shí)時(shí)備份，27”LCD顯示器，可刻錄DVD光驅(qū)8.17 配有彩色激光打印機(jī)8.18 與電鏡操作臺(tái)一體化風(fēng)格的原裝進(jìn)口實(shí)驗(yàn)臺(tái)9.背散射電子衍射分析儀（EBSD）9.1 與EDS一

9、體化的用戶界面，所有應(yīng)用軟件均可在同一個(gè)平臺(tái)上打開(kāi)，操作簡(jiǎn)單方便9.2 支持包括中文在內(nèi)的多種語(yǔ)言的智能能譜與EBSD系統(tǒng)*9.3能夠與能譜儀同時(shí)實(shí)現(xiàn)同步原位分析，EDS面分布和EBSD面分布掃描能夠同時(shí)進(jìn)行，并且任意切換圖片顯示9.4可根據(jù)能譜數(shù)據(jù)對(duì)EBSD花樣進(jìn)行預(yù)過(guò)濾，實(shí)現(xiàn)對(duì)未知相的相鑒定*9.5高靈敏度的CCD相機(jī)，焦距始終固定在熒光屏上，熒光屏和CCD相機(jī)像素對(duì)應(yīng)，像素能完全利用，沒(méi)有縮錐比9.6加速電壓5V,束流小于100PA時(shí)可采集到明顯的衍射花樣*9.7直插式探頭，具備馬達(dá)自動(dòng)伸縮控制和防碰撞功能，能夠?qū)崟r(shí)顯示探頭位置*9.8工作距離范圍：具備專門的設(shè)計(jì)和接口，可以在540mm

10、范圍的任何WD位置進(jìn)行EBSD采集分析，充分靠近樣品而不遮擋能譜探頭9.9在線解析速度高于100點(diǎn)/秒，可以記錄原始菊池花樣進(jìn)行離線二次標(biāo)定*9.10在低束流條件下（5nA）,用單晶銀（Ni）為標(biāo)樣，標(biāo)定的成功率保證在100%*9.11取向測(cè)量精度：優(yōu)于0.05度的取向精準(zhǔn)度*9.12花樣像素分辨率高于134410249.13 提供專用的由電子衍射獲得的EBSD晶體學(xué)數(shù)據(jù)庫(kù)，支持所有主要的第三方數(shù)據(jù)庫(kù)，可分析不少于6萬(wàn)種的晶體結(jié)構(gòu)，能方便自建數(shù)據(jù)庫(kù)和導(dǎo)入CIF數(shù)據(jù)9.14 背景扣除技術(shù)：采用動(dòng)態(tài)和靜態(tài)扣除技術(shù)和自動(dòng)曝光設(shè)定，可以自動(dòng)扣除包括單晶在內(nèi)的7個(gè)晶系的各種材質(zhì)的背景花樣9.15 具備常

11、用的EBSD分析功能，包括晶體結(jié)構(gòu)模擬、晶粒尺寸、極圖、ODF、取向差、晶界分析等全部的表征，同時(shí)可以對(duì)材料的彈性模量、泰勒因子、施密特因子等進(jìn)行表征，所有分析功能全部集成在一個(gè)軟件平臺(tái)*9.16核心算法和誤差評(píng)判技術(shù)：具備4條以上條帶一次標(biāo)定的核心算法，提高角分辨率，可采用帶寬標(biāo)定技術(shù)改善相似相結(jié)構(gòu)的剝離準(zhǔn)確性，自動(dòng)分析復(fù)雜材料和區(qū)分相似相，每一點(diǎn)的標(biāo)定誤差可以量化顯示和控制，且具備角度單位9.17 軟件具有智能相分布、智能跟蹤、智能數(shù)據(jù)復(fù)查、智能相機(jī)、智能背底處理、智能標(biāo)定等功能9.18 具備透射EBSD分析專用算法，自動(dòng)修正透射菊池花樣畸變和中心偏移問(wèn)題；具備能譜儀輔助的EBSD物相鑒定

12、功能，剝離相似的相結(jié)構(gòu)10.原位加熱臺(tái)1.1 .1Gatan系列Murano525熱臺(tái)1.2 .2保護(hù)措施：帶有熱量屏蔽裝置，對(duì)物鏡和樣品倉(cāng)不產(chǎn)生明顯的熱影響，需有效保護(hù)電鏡探測(cè)器，能夠使電鏡正常使用，并保證EBSD在加熱臺(tái)運(yùn)行時(shí)正常工作1.3 結(jié)構(gòu)：結(jié)構(gòu)緊湊，方便安裝和取出，可以方便地用于EBSD的幾何配置，同時(shí)保持適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x*10.4溫度控制：PID自動(dòng)控制和手動(dòng)控制兩種模式，可存儲(chǔ)所有的加熱參數(shù)，能夠精確同步EBSD的面分布與溫度曲線10.5 加熱速度：最大加熱速度不小于100/min10.6 溫度范圍：最高使用溫度在950以上*10.7溫度精度：0.510.8溫度穩(wěn)定性：1/h11

13、.配套設(shè)備11.1 數(shù)據(jù)處理計(jì)算機(jī)一臺(tái)，要求CPU主頻高于3GHz,內(nèi)存大于8G,硬盤容量大于500G,可刻錄DVD光驅(qū)，24”LCD顯示器，操作系統(tǒng)采用MicrosoftWindows7系統(tǒng)11.2 離子濺射儀11.2.1 Cressington108Auto全自動(dòng)離子濺射儀1套11.2.2 靶材為粕金11.2.3 可鍍最大樣品直徑大于60mm11.2.4 鍍金速率大于30nm/min11.2.5 鍍金顆粒小，鍍層均勻11.3 電解拋光儀11.3.1 進(jìn)口品牌電解拋光儀1套11.3.2 輸出電壓：0100V11.3.3 輸出電流：020A11.3.4 溫度范圍：室溫400,可恒溫控制11.3

14、.5 可恒流和恒壓操作，負(fù)載調(diào)解率0.01%11.3.6 穩(wěn)定度：電壓0.02%,電壓偏移1mV,電流0.1%11.4 UPS穩(wěn)壓保護(hù)電源1套，整機(jī)供電不低于2h,電子槍系統(tǒng)供電不低于200h11.5 備用場(chǎng)發(fā)射燈絲系統(tǒng)1套（燈絲+光闌）11.6 空氣壓縮機(jī)1臺(tái)11.7 冷卻循環(huán)水機(jī)1臺(tái)11.8 帶除濕功能的空調(diào)一部三、技術(shù)及售后服務(wù)發(fā)貨時(shí)間：合同生效后6個(gè)月內(nèi)。*廠商要求：同款型號(hào)設(shè)備國(guó)內(nèi)用戶不低于30家，同種品牌國(guó)內(nèi)用戶不低于200家。安裝驗(yàn)收：賣方負(fù)責(zé)派技術(shù)員在買方確定的時(shí)間內(nèi)到設(shè)備現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行免費(fèi)的安裝、調(diào)試，按驗(yàn)收指標(biāo)逐項(xiàng)測(cè)試至達(dá)到驗(yàn)收要求，出具驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，由用戶確認(rèn)簽字，完成儀器驗(yàn)收工作。*人員培訓(xùn)：電鏡廠家需提供初級(jí)培訓(xùn)、中級(jí)培訓(xùn)和高級(jí)培訓(xùn)三級(jí)培訓(xùn)模式：初級(jí)培訓(xùn)：安裝調(diào)試完畢后，馬上對(duì)用戶人員進(jìn)行初級(jí)培訓(xùn)。培訓(xùn)時(shí)間不少于7天，培訓(xùn)內(nèi)容包括電鏡及附件的操作、電鏡及附件的日常維護(hù)、樣品觀測(cè)、分析、獲取圖象。中級(jí)培訓(xùn)：儀器運(yùn)行一段時(shí)間后，針對(duì)用戶使用過(guò)