等離子體化學(xué)-3學(xué)習(xí)教案

1、會(huì)計(jì)學(xué)1等離子體等離子體(dnglzt)化學(xué)化學(xué)-3第一頁，共41頁。第1頁/共41頁第二頁，共41頁。放電為2450MHz ) ，它能導(dǎo)致電子回旋共振，增加放電頻率，有利于提高工藝質(zhì)量。第2頁/共41頁第三頁，共41頁。第3頁/共41頁第四頁，共41頁。（3）電場(chǎng)和氣壓對(duì)等離子體的性質(zhì)的影響P111 圖3.3。 a：注意:在低壓，強(qiáng)電場(chǎng)條件下，電流密度 小時(shí)容易產(chǎn)生輝光放電，電流密度增大到一定值后過度到弧光放電。 b：若一個(gè)大氣壓或更高的氣壓下，可不經(jīng)過(jnggu)輝光放電直接從電暈放電過度到弧光放電。（4） 等離子體溫度與氣壓的關(guān)系：P112圖3.4第4頁/共41頁第五頁，共41頁。第5

2、頁/共41頁第六頁，共41頁。第6頁/共41頁第七頁，共41頁。MeAMA第7頁/共41頁第八頁，共41頁。第8頁/共41頁第九頁，共41頁。的碰撞次數(shù)為:eeN1第9頁/共41頁第十頁，共41頁。第10頁/共41頁第十一頁，共41頁。第11頁/共41頁第十二頁，共41頁。第12頁/共41頁第十三頁，共41頁。第13頁/共41頁第十四頁，共41頁。第14頁/共41頁第十五頁，共41頁。第15頁/共41頁第十六頁，共41頁。方向1cm行程中與氣體分子碰撞所產(chǎn)生的平均電離次數(shù)，按圖3.8描述P122。第16頁/共41頁第十七頁，共41頁。數(shù),同時(shí)產(chǎn)生nq個(gè)電子。第17頁/共41頁第十八頁，共41頁

3、。第18頁/共41頁第十九頁，共41頁。dxnnndnqpp0qpnnnn0dxnnndnpp0第19頁/共41頁第二十頁，共41頁。0pn0nnndxp 時(shí) (3.25) ddnnexpexp0denn0第20頁/共41頁第二十一頁，共41頁。ddsnsnsniexpexp0得0ii0expdddee第21頁/共41頁第二十二頁，共41頁。滿足自持放電(fng din)要求。ddeeiinn100de第22頁/共41頁第二十三頁，共41頁。0/n000nnnniiinnn100第23頁/共41頁第二十四頁，共41頁。這樣(zhyng)得到自持放電條件為: （3.34）denn0110dide

4、enn110dideeii011die11 die第24頁/共41頁第二十五頁，共41頁。第25頁/共41頁第二十六頁，共41頁。第26頁/共41頁第二十七頁，共41頁。2:從中可見, VB存在一極小值。從中還可見:p ， d ,反應(yīng)p ，d 。pdf第27頁/共41頁第二十八頁，共41頁。（3.39）11ln1dPEBApexpdVEBB)11ln(expApVBpddB第28頁/共41頁第二十九頁，共41頁。11lnlnApdBpdVB越越，BVp第29頁/共41頁第三十頁，共41頁。e越越，BVp11ln718. 2minABVB第30頁/共41頁第三十一頁，共41頁。第31頁/共41頁第三十二頁，共41頁。第32頁/共41頁第三十三頁，共41頁。第33頁/共41頁第三十四頁，共41頁。第34頁/共41頁第三十五頁，共41頁。第35頁/共41頁第三十六頁，共41頁。第36頁/共41頁第三十七頁，共41頁。第37頁/共41頁第