半導(dǎo)體制造技術(shù)教案_第1頁
半導(dǎo)體制造技術(shù)教案_第2頁
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文檔簡介

1、半導(dǎo)體制造技術(shù) 教 案【首頁】課程名稱半導(dǎo)體制造技術(shù)授課專業(yè)微電子班級08級 課程編號123456789課程類型必修課校級公共課（ ）；基礎(chǔ)或?qū)I(yè)基礎(chǔ)課（ ）；專業(yè)課（）選修課限選課（）；任選課（ ）授課方式課堂講授（）；實(shí)踐課（）考核方式考試（）；考查（ ）課程教學(xué)總學(xué)時(shí)數(shù)4學(xué) 分 數(shù)2.0學(xué)時(shí)分配課堂講授4 學(xué)時(shí)； 教材名稱半導(dǎo)體制造技術(shù)作 者（日本）Michael QuirkJulian Serd出版社及出版時(shí)間電子工業(yè)出版社2006年指定參考書1.模擬電子技術(shù)2.半導(dǎo)體集成電路作 者出版社及出版時(shí)間清華大學(xué)出版社2002年清華大學(xué)出版社2003年授課教師尹夢君職 稱 單 位電子工程學(xué)院

2、授課時(shí)間2011.12.25注：表中（ ）選項(xiàng)請打“”半導(dǎo)體制造技術(shù) 教 案 周 次第 16周，第 15 次課2011年12月 15日備 注章 節(jié)名 稱第四章 硅片制備授 課方 式理論課（）；實(shí)踐課（ ）；實(shí)習(xí)（）教學(xué)時(shí)數(shù)4教學(xué)目的及要求1. 了解本征半導(dǎo)體的概念及特點(diǎn)，理解半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，晶向等指標(biāo)。2. 掌握半導(dǎo)體制備方法，能夠簡述制備步驟及化學(xué)反應(yīng)方程式3. 理解單晶硅的提純方法。4. 理解兩種制備法的區(qū)別以及各自的優(yōu)點(diǎn)。教學(xué) 內(nèi)容 提 要時(shí)間分配第4章 硅和硅片制備4.1 引言4.2 半導(dǎo)體級硅4.3 晶體結(jié)構(gòu)4.4 晶向4.5 單晶硅生長 第2頁教學(xué)重點(diǎn)與難點(diǎn)重點(diǎn)：1. 半導(dǎo)體的制備2. 單晶硅的提純。難點(diǎn)：1. 對于晶向以及硅的結(jié)構(gòu)的理解。2. 單晶硅提純的設(shè)備及步驟的理解。備 注啟發(fā)提問1.半導(dǎo)體級硅的純度為多少？2. 半導(dǎo)體級硅的制備的環(huán)節(jié)分為幾個(gè)步驟？3. 硅晶體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)有誰知道？4.摻雜的種類分別是什么？外語要求同理論課要求教學(xué)手段方法：

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