2受控機(jī)械系統(tǒng)動態(tài)模型_機(jī)電控制工程 高鐘毓

1、機(jī)電控制工程第二章 受控機(jī)械系統(tǒng)動態(tài)模型7/19/20221概述內(nèi)容質(zhì)點(diǎn)平移系統(tǒng)定軸旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)機(jī)械傳動裝置定點(diǎn)旋轉(zhuǎn)機(jī)械系統(tǒng)自學(xué)多剛體機(jī)械系統(tǒng)自學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)7/19/20222物理原理牛頓第二定律歐拉動力學(xué)方程拉格朗日方程電場方程電磁場方程基爾霍夫定律7/19/20223方法微分方程組代數(shù)方程組方塊圖化簡傳遞函數(shù)7/19/20224第一節(jié) 質(zhì)點(diǎn)平移系統(tǒng)根本元件mf(t)f(t)f(t)f(t)x(t)x1(t)x2(t)x1(t)x2(t)BKf(t)=m7/19/20225微分方程慣性力外力和KBmf(t)x(t)7/19/20226第二節(jié) 定軸旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)根本元件JMMMBKf(t)=m121M2

2、M7/19/20227微分方程慣性力矩外力矩和KBJM7/19/20228根本電路元件7/19/202297/19/202210第三節(jié) 機(jī)械傳動裝置旋轉(zhuǎn)/直線變換7/19/202211速比折合從動 主動7/19/202212彈性諧振Mi， iJ1K1Z2， J2Z3， J3J4K2J1K1J2n2J3n2K2n2J4Mi， i2 3/n4/n7/19/2022137/19/2022147/19/2022157/19/202216J1K1J2n2J3n2K2n2J4Mi， i2 3/n4/nJ1J2n2J3n2J4Mi， i4/n7/19/2022177/19/202218第六節(jié) 微型機(jī)電系統(tǒng)概

3、述耦合靜電場兩端點(diǎn)對模型MEMS微結(jié)構(gòu)力學(xué)模型系統(tǒng)動態(tài)模型7/19/202219概述微機(jī)電系統(tǒng)MEMS是機(jī)電控制的新領(lǐng)域；大多數(shù)物理規(guī)律在微機(jī)電系統(tǒng)中仍然適用；隨著尺度的減小，具體側(cè)重的技術(shù)有所不同，如靜電作用。7/19/202220實(shí)例微機(jī)械加速度計質(zhì)量彈簧系統(tǒng)；電容檢測；靜電加力。7/19/202221耦合靜電場兩端點(diǎn)對模型電路、微結(jié)構(gòu)電路uq微結(jié)構(gòu)xf靜電場 耦合7/19/202222聯(lián)接電路和機(jī)械的紐帶能量以q、x為獨(dú)立變量；7/19/202223以u、x為獨(dú)立變量；7/19/202224MEMS微結(jié)構(gòu)的力學(xué)模型7/19/2022257/19/202226MEMS動態(tài)模型+-us+-us+-mkbma7/19/202227-+-+-7/19/202