無塵室內(nèi)異物管理基本原則

1、無塵室內(nèi)異物管理基本原則不帶入 不把外面的塵埃帶入無塵室內(nèi)不殘留 無塵室內(nèi)因狀況而產(chǎn)生之塵埃，不可殘 留無塵室內(nèi)不產(chǎn)生 人員和物品，設(shè)備在無塵室內(nèi)不可因不當(dāng)之 動作而產(chǎn)生塵埃1無塵環(huán)境等級 與異物數(shù)量之關(guān)聯(lián)性英制單位：為每立方英呎0.5m以上粒子數(shù)SI制單位：為每立方公尺0.5m以上粒子數(shù)取其對數(shù)CLASS 100相當(dāng)於SI制M3.5 CLASS0.1m0.2m0.3m0.5m5.0m1357.531103507530101003001001000100071000010000701000001000007002無塵環(huán)境設(shè)計與施工概念層流式無塵環(huán)境 層流是指空氣由上方天花板完全吹出再由高架地板

2、回風(fēng)，氣流由上而下，無塵室內(nèi)沒有死角，能將塵埃在最短時間帶走亂流式無塵環(huán)境 由局部出風(fēng)口吹入潔淨(jìng)之空氣，再由回風(fēng)管(柱)或回風(fēng)牆回風(fēng)3無塵環(huán)境設(shè)計與施工概念垂直層流式無塵環(huán)境4無塵環(huán)境設(shè)計與施工概念水平層流式無塵環(huán)境5無塵環(huán)境設(shè)計與施工概念層流式無塵環(huán)境優(yōu)缺點(diǎn) 優(yōu)點(diǎn)：效果完全 若在作業(yè)狀況中影響較小，運(yùn)轉(zhuǎn)後迅速 可達(dá)到所需之落塵控制量，管理容易 缺點(diǎn)：設(shè)備費(fèi)用高(維護(hù)費(fèi)用高) 換過濾網(wǎng)校麻煩 適用於 Class 1,10,100 6無塵環(huán)境設(shè)計與施工概念亂流式無塵環(huán)境7無塵環(huán)境設(shè)計與施工概念亂流式無塵環(huán)境優(yōu)缺點(diǎn) 優(yōu)點(diǎn)：設(shè)備費(fèi)用低，維護(hù)費(fèi)用低，往後若需擴(kuò)充較方 便，若再配合無塵操作臺或亭(Cle

3、an Bench or Booth)，則可確保局部高度清潔 缺點(diǎn)：因?yàn)閬y流容易產(chǎn)生死角所以污染粒子可能在內(nèi) 部循環(huán)運(yùn)轉(zhuǎn)後要達(dá)到所需之清潔度，需要一段 時間方可達(dá)到，人員與機(jī)械的配置必須注意配合 適用於 Class 1000,10000,100000 8 環(huán)境來源異物管理無塵室環(huán)境測試工程完工時之無塵室 無塵空調(diào)系統(tǒng)已運(yùn)轉(zhuǎn)，機(jī)械設(shè)備尚未進(jìn)入停止工作之靜態(tài)無塵室 機(jī)械設(shè)備已定位且在運(yùn)轉(zhuǎn)，但人員尚未進(jìn)入動作作業(yè)動態(tài)中之無塵室 所有設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)動作，作業(yè)人員正常工作中測試項目： 清淨(jìng)度，溫度，溼度，風(fēng)速，室內(nèi)之正壓值， 補(bǔ)充新鮮外氣風(fēng)量，照度，噪音.等9 環(huán)境來源異物管理無塵室環(huán)境長期監(jiān)測清淨(jìng)度：氣中粒子

4、計數(shù)器 液中粒子計數(shù)器 Wafer粒子計數(shù)器 玻璃表面檢查設(shè)備 風(fēng)速：三次元風(fēng)速計 絹絲法有機(jī)與離子腐蝕接觸角&UV潔淨(jìng)設(shè)備溫溼度計氣壓計10設(shè)備&製程來源異物管理設(shè)備發(fā)塵規(guī)格制定與量測：設(shè)備共通規(guī)格規(guī)範(fàn) 設(shè)備定期清掃點(diǎn)檢：作業(yè)指示書規(guī)範(fàn)原物料管理物料進(jìn)出無塵室管理：作業(yè)指示書規(guī)範(fàn)產(chǎn)品製程中檢查：製程檢查設(shè)備 11 設(shè)備&製程來源異物管理設(shè)備發(fā)塵規(guī)格制定與量測量測位置：設(shè)備外緣10cm處每隔1m設(shè)一量測點(diǎn)量測高度：高架第地板上120cm處規(guī)格值：0.3m以上粒子 30個/立方英呎以內(nèi) 0.5m以上粒子 10個/立方英呎以內(nèi) 0.1m以上粒子 2個/立方英呎以內(nèi)12各製程不良缺陷簡介 13各製程不良缺陷簡介 14各製程不良缺陷簡介 15各製程不良缺陷簡介 16人體發(fā)塵來源異物管理人員作業(yè)服裝選擇：作業(yè)環(huán)境需求為依據(jù)人員無塵衣清潔管理：潔淨(jìng)度維護(hù)人員進(jìn)出無塵室管理：作業(yè)管制17 人體發(fā)塵來源異物管理人體發(fā)塵程度 無塵室內(nèi)54%塵埃來源來自人員18 人體發(fā)塵來源異物管理愛煙人您知道抽煙的發(fā)塵狀況嗎 表7 愛煙家入?喫煙必外。喫煙後吸人100倍程度煙(0.17m)息検出510分後正常值戾。時 間0.17m0.3m0.5m1.0m直後1845