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文檔簡介

1、 電子級三甲基鋁請在使用本產(chǎn)品前認真閱讀本安全產(chǎn)品說明書電子級三甲基鋁作為化合物半導體沉積的鋁源。應(yīng)用于發(fā)光二極管、激光二極管、晶體管離性能和離效率太陽能電池中。它還用于硅半導體產(chǎn)業(yè)化學氣相沉積過程中。1物理性能分子式(CH3)3A1分子量72.09CAS號75-24-1外觀清亮透明液體沸點127C(760mmHg)熔點15C液體密度0.752g/ml(20C)蒸氣壓力at10C(283.15K)4.87torrat15C(288.15K)6.57torr蒸汽壓方程logP(torr)=B-A/T(K)A=2134,B=8.224危害識別三甲基鋁為易燃液體,遇水劇烈反應(yīng)。接觸皮狀時可能導致嚴重

2、的燒傷。煙霧可能會導致皮狀和眼睛不適。由丁三甲基鋁及其分解物屈有毒物質(zhì),應(yīng)避免吸入。建議急救接觸大量三甲基鋁和及其副產(chǎn)品后應(yīng)立即就醫(yī)。急救人員應(yīng)配備相應(yīng)的防護裝備(呼吸器具等),以防止三甲基鋁在空氣中H燃或與水反應(yīng)發(fā)生的爆炸等潛在危險。皮膚接觸立即排出產(chǎn)品所在區(qū)域范圍內(nèi)的水,在未接觸皮膚時盡可能快的裝備好防護用具。用肥皂和水清潔可能接觸到的三甲基鋁,包括頭發(fā)和指甲下的肌膚等部位。并立即就醫(yī)咨詢。眼睛接觸戴隱形眼鏡的人員,盡可能不要接觸三甲基鋁。三甲基鋁誤入眼睛時,應(yīng)立即用大量清水沖洗至少15分鐘。并撥開眼臉以保證徹底沖洗,同時立即就醫(yī)咨詢。吸入吸入時可能導致過敏。作業(yè)人員應(yīng)快速轉(zhuǎn)移到安全區(qū)域,

3、立即使用獨立呼吸器具。如呼吸困難,應(yīng)給氧。如呼吸已停止,應(yīng)進行人工呼吸,并立即尋求醫(yī)療援助。FIRE滅火措施滅火器械金屬有機化學材料發(fā)生火災(zāi)時,只能使用干粉、純堿或石灰滅火,絕對不能使用水、泡沫或鹵代化合物滅火。為保險起見,三甲基鋁在儲運和使用過程中應(yīng)遠離火源。暴露的危險在已控火災(zāi)中,三甲基鋁在暴露的空氣中或與水接觸時會重新燃燒。專用防護設(shè)備防火服裝、獨立呼吸器具、而罩、安全護目鏡、安全鞋和抗火手套。意外泄露措施個人預(yù)防措施發(fā)生意外時,所有人員應(yīng)撤離危險區(qū)域,并使用適當?shù)姆雷o設(shè)備,確保足夠的通風。在嘗試處理現(xiàn)場時應(yīng)先用悄性氣體保護設(shè)備。如果容器或閥門發(fā)生泄漏,立即呼叫緊急電話。環(huán)境的預(yù)防措施在

4、確保安全的前提下,盡可能的試著處理泄露的區(qū)域。防滅火措施見第4節(jié)。清理方法具體方法請聯(lián)系合林。6、包裝和運包裝任何接觸三甲基鋁的設(shè)備都必須保證徹底清潔并保持密閉狀態(tài)。使用前,必須排除系統(tǒng)內(nèi)所有的空氣和水分。運輸三甲基鋁為金屈有機化合物,液體,燃,遇水劇烈反應(yīng)。包裝運輸應(yīng)符合相關(guān)安全規(guī)則。特殊保護呼吸保護呼吸器具可供緊急使用。通風大型通風設(shè)備。廢氣排放防止大量的鋁氧化粉塵散入空氣中。防護手套耐火手套保護眼睛安全護目鏡或面罩。其他保護安全鞋、安全淋浴、洗眼噴頭和防火服。8、定性和反應(yīng)性預(yù)防措施空氣中易白燃。避免與水、空氣或其它氧化劑接觸。氧化分解產(chǎn)物鋁氧化灰塵、CO、C02,具有一定危險性。9、毒理學資料鋁氧化灰塵形成這種化合物氧化時可能會導致試驗動物肝臟和腎臟的毒性作用。鋁氧化粉塵作業(yè)(三甲基鋁燃燒時)不屬是劇毒操作。IARC、NTP和OSHA并未將三甲基鋁列為致癌物質(zhì)或潛在致癌物質(zhì)。TSCA清單上列出三甲基鋁為有毒物質(zhì)。根據(jù)對該產(chǎn)品己有信息的了解,我們可以保證本安全說明書內(nèi)容的準確性,但并不保證其完整性。由丁在本品使用過程中可能存在未知因素,因此我們不能保證其安全使用。同時因使用本產(chǎn)品造成的損害,我們不承擔責任。所有化學品本身就存在未知的健康

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