傳感器發(fā)展趨勢課件

1、傳感器發(fā)展趨勢傳感器發(fā)展趨勢1傳感器發(fā)展動向傳感器發(fā)展重點(diǎn)2 傳感器發(fā)展動向1開展基礎(chǔ)研究，發(fā)現(xiàn)新現(xiàn)象，開發(fā)傳感器的新材料和新工藝；實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化與智能化 開發(fā)新型傳感器 開發(fā)新材料 新工藝的采用 集成化、多功能化 微型化、低功耗、智能化 開發(fā)新材料 傳感器材料是傳感器技術(shù)的重要基礎(chǔ)，由于材料科學(xué)的進(jìn)步，人們在制造時，可任意控制它們的成分，從而設(shè)計制造出用于各種傳感器的功能材料。用復(fù)雜材料來制造性能更加良好的傳感器是今后的發(fā)展方向之一。（1）半導(dǎo)體敏感材料（2）陶瓷材料 （3）磁性材料 （4）智能材料如，半導(dǎo)體氧化物可以制造各種氣體傳感器，而陶瓷傳感器工作溫度遠(yuǎn)高于半導(dǎo)體。 傳感器發(fā)展動向

2、1新工藝的采用 在發(fā)展新型傳感器中，離不開新工藝的采用。新工藝的含義范圍很廣，這里主要指與發(fā)展新型傳感器聯(lián)系特別密切的微細(xì)加工技術(shù)（MEMS)）。該技術(shù)又稱微機(jī)械加工技術(shù)，是近年來隨著集成電路工藝發(fā)展起來的，它是離子束、電子束、分子束、激光束和化學(xué)刻蝕等用于微電子加工的技術(shù)，目前已越來越多地用于傳感器領(lǐng)域。 例如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出壓阻式傳感器，利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器，日本橫河公司利用各向異性腐蝕技術(shù)進(jìn)行高精度三維加工，在硅片上構(gòu)成孔、溝棱錐、半球等各種開頭，制作出全硅諧振式壓力傳感器。 傳感器發(fā)展動向1集成化、多功能化 為同時測量幾種不同被測參數(shù)，可將幾種不同的傳感器元

3、件復(fù)合在一起，作成集成塊。例如一種溫、氣、濕三功能陶瓷傳感器已經(jīng)研制成功。 把多個功能不同的傳感元件集成在一起，除可同時進(jìn)行多種參數(shù)的測量外，還可對這些參數(shù)的測量結(jié)果進(jìn)行綜合處理和評價，可反映出被測系統(tǒng)的整體狀態(tài)。 同一功能的多元件并列化，即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來，如CCD圖像傳感器。 多功能一體化，即將傳感器與放大、運(yùn)算以及溫度補(bǔ)償?shù)拳h(huán)節(jié)一體化，組裝成一個器件。 傳感器發(fā)展動向1微型化、低功耗有些精密儀器或設(shè)備，體積本身就小，還需要接上各種傳感器進(jìn)行感知和控制，這也對傳感器提出了更高的要求 傳感器發(fā)展動向1智能化 對外界信息具有檢測、數(shù)據(jù)處理、邏輯判斷、自診斷

4、和自適應(yīng)能力的集成一體化多功能傳感器，這種傳感器具有與主機(jī)互相對話的功能，可以自行選擇最佳方案，能將已獲得的大量數(shù)據(jù)進(jìn)行分割處理，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離、高速度、高精度傳輸?shù)取?智能傳感器是傳感器技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，它的實(shí)現(xiàn)取決于傳感技術(shù)與半導(dǎo)體集成化工藝水平的提高與發(fā)展。這類傳感器具有多功能、高性能、體積小、適宜大批量生產(chǎn)和使用方便等優(yōu)點(diǎn)，是傳感器重要的發(fā)展方向之一。 傳感器發(fā)展動向1物聯(lián)網(wǎng)技術(shù) 物聯(lián)網(wǎng)是指“物物相連的互聯(lián)網(wǎng)”，它是將各種信息傳感器設(shè)備、如射頻識別裝置RFID、紅外感應(yīng)器、全球定位系統(tǒng)、激光掃描器等按照約定的協(xié)議與互聯(lián)網(wǎng)結(jié)合起來，現(xiàn)場一個巨大的網(wǎng)絡(luò)，進(jìn)行信息交換和通信，以實(shí)現(xiàn)智能化的識別、定位、跟蹤、監(jiān)控和管理，實(shí)現(xiàn)對物品和