堀場匯博隆S4932MT流量計,流量控制器說明書

1、氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）S4932/MT使用說明京制01050063號北京堀場匯博隆密儀器有限公司TOC o 1-5 h z特點及應(yīng)用領(lǐng)域1S49系列質(zhì)量流量控制器（流量計）型號1主耍技術(shù)指標(biāo)2工作原理3安裝和接線6使用方法和操作步驟12注意事項14故障判斷和處理15附錄：氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)20特點及主要應(yīng)用領(lǐng)域氣體質(zhì)量流量控制器（流量計）Massgasflowcontroller（meter）縮寫為MFC（MFM）是對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制的設(shè)備。S4932/MT質(zhì)量流量控制器（流量計）特點：耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而

2、變化。主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠?？扇我馕恢冒惭b。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。配合MT-60系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進(jìn)行精確計量。S4932/MT質(zhì)量流量控制器（流量計）主要應(yīng)用領(lǐng)域：半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；各種形式的真空鍍膜設(shè)備；環(huán)境檢測與分析設(shè)備；化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；特種材料表面處理裝置與燃燒控制；混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。S49系列質(zhì)量流量

3、控制器（流量計）型號 S4932/MT系列質(zhì)量流量控制器（流量計），S49為質(zhì)量流量控制器（流量計）產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量精確測量計量；質(zhì)量流量控制器（流量計）不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能。型式批準(zhǔn)證書：2011F215-11執(zhí)行Q/CYHMT001-2011企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)許可證編號：京制01050063號主要技術(shù)指標(biāo)質(zhì)量流量控制器（流量計）流量出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；（SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）L/min（升/分鐘）。（SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度273.15K（0C

4、）；氣壓101325Pa（760mmHg）F.S（FullScale）:表示滿量程值表1S4932/MT質(zhì)量流量控制器（流量計）技術(shù)指標(biāo)編號項目S4932/MT1流量規(guī)格(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min(1,2,3,5,10)L/min2調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥3調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)常閉4準(zhǔn)確度1.5%F.S5線性1.5%F.S6重復(fù)精度0.2%F.S7響應(yīng)時間W8秒(T95)8工作壓差范圍(50300)kPa;(100-300)kPa(10L/min)9耐壓3MPa;lOMPa10工作環(huán)境溫度(545)C11材料不銹鋼316L12標(biāo)準(zhǔn)密封材料Viton,EPDM,或

5、其他由用戶指定13漏率1X103Pa.m3/s14接頭6mm10mm,1/4Swage1oko1/4VCR?；蚱渌捎脩糁付?5輸入輸出信號（0+5.00）V（輸入阻抗2100KQ,負(fù)載輸出電流能力W3mA）16供電電源15V(5%)(+15V50mA,-15V200mA)17外形尺寸mm130（寬）X102（高）X28（厚）18重量kg084.工作原理圖一熱式質(zhì)量流量控制器（流量計）的工作原理質(zhì)量流量控制器（流量計）由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥利放大控制電路等部件組成。本流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計（Therm

6、alProfileFlowmeter）。采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制輸岀的流量檢測電壓與流過通道的流量成比例。與之配套使用的MT-50系列流量顯示儀備有15V直流電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)，調(diào)零等。為質(zhì)量流量計或控制器提供工作電源，設(shè)定控制和顯示等功能?？刂破鞯脑O(shè)定輸入、流量輸出信號均為電壓形式，量程范圍為0+5V。質(zhì)量流量控制器（

7、流量計）與MT-50流量顯示儀連接后的工作原理如圖1所示。控制器一般與MT-50,MT-51或與之相兼容的流量顯示儀連接。如與MT-51數(shù)字式流量顯示儀連接，則構(gòu)成數(shù)字式流量顯示控制。該數(shù)字式流量顯示儀提供RS-232C接口，或RS-485接口，Modbus協(xié)議，無需附加A/D,D/A轉(zhuǎn)換卡，而實現(xiàn)與計算機(jī)網(wǎng)絡(luò)電氣連接、以及與組態(tài)軟件的連接。如S4932/MT流量控制器直接與計算機(jī)連接，則需要用戶口行提供電源和A/D,D/A轉(zhuǎn)換卡等。控制操作一般在流量顯示儀上進(jìn)行。當(dāng)設(shè)定與“內(nèi)”設(shè)相連時，由流量顯示儀上的設(shè)定電位器控制流量。當(dāng)與“外”設(shè)相連時，由用戶另外提供的外部（0+5）V電壓控制流量。在流

8、量顯示儀的顯示面板上設(shè)置有三位閥門控制開關(guān)，當(dāng)置“關(guān)閉”位時，閥門關(guān)閉；當(dāng)置“清洗”位時，閥門開到最大，以便氣路清洗，或臨時作為流量計使用；當(dāng)置于“閥控”時，則按設(shè)定電位器的數(shù)值自動控制流量。（參考流量顯示儀的使用說明書）注意：在“清洗”時，實際氣流將超過滿量程若干倍，此時流量顯示值不準(zhǔn)確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的現(xiàn)象，這是由熱式質(zhì)量流量計的特性決定，屬于正?，F(xiàn)象。對不希望出現(xiàn)大氣流“清洗”的場合，用戶應(yīng)自行限制。不推薦長時間置“清洗”位，此時閥門開度最大，而利用流量控制器長期做流量計或開啟閥使用。因為此時電磁閥、線路等將會流過很大的電流，因而加速其熱老化損壞。安裝和接線5.1S493

9、2/MT系列質(zhì)量流量控制器（流量計）外形及安裝尺寸如圖二所示n628 # #圖二S4932/MT系列質(zhì)量流量控制器（流量計）外形及安裝尺寸 注意：圖中標(biāo)明的高度，是未加電纜插頭的高度。5.2入口和出口氣路接頭可以根據(jù)用戶的不同需求，選用兩種類型：雙卡套(Swage1ok)；a.6mm;b.3;c.1/4,r;d.或其他。VCR.a.Cl/4;b.3/8.連接方法如圖三，圖四所示：圖三雙卡套接頭的連接方法圖四VCR接頭的連接方法質(zhì)量流量控制器（流量計）與氣路的連接，可以根據(jù)不同的要求，選用不同的管件，如金屬管，塑料管等等。S4932/MT系列質(zhì)量流量計和流量控制器的缺省連接形式為雙卡套，接管尺寸

10、為66。5.3質(zhì)量流量控制器（流量計）的接線空（閥控）+15V（關(guān)閉）9T5V（淸洗）81514131211109丿LL-oAEO(OV)袞7654321圖五DB15/F孔型插座接口定義圖S4932/MT系列質(zhì)量流量控制器（流量計）的接線插頭，考慮到其兼容性，主要采用DB-15/F孔型插座，其接線方法如圖五所示。信號0V,電源地（0V）在流量控制器內(nèi)是連在一起的，其與OV（EO大電流，即閥0V線）在流量控制器內(nèi)并沒有連接。在直流電源處，15V電源OV,+5V信號0V應(yīng)連在一起，并與流量控制來的“信號0V”，“電源地（0V）”，“OV（EO大電流）”三條線相連。“大地（Earth）是外殼接地線，

11、其與閥流量計金屬底座是通過第8腳（孔型插座）在內(nèi)部連在一起的，其應(yīng)與控制電纜金屬屏蔽網(wǎng)連接，以實現(xiàn)屏蔽一體。應(yīng)在直流電源處采取有效屏蔽、隔離等措施，防止干擾信號串入流量計系統(tǒng)。將“大地（Earth）”線與直流供電電源0V直接或通過大電容實現(xiàn)一點接地（應(yīng)避免存在的多處接地，防止接地回路形成），形成零、地等電位，也是有效抵抗干擾的方法之一。應(yīng)避免金屬外殼等由于安裝原因帶有較強(qiáng)的干擾源，防止可能形成的強(qiáng)的地電流回路，而燒毀流量控制器內(nèi)部線路！應(yīng)掌握一點接地原則，采用絕緣、隔離等方法，防止接地回路形成。4質(zhì)量流量控制器（流量計）與計算機(jī)或PLC的連接方法需用設(shè)備：計算機(jī)或PLC；A/D（模數(shù)），D/A

12、（數(shù)模）轉(zhuǎn)換卡或轉(zhuǎn)換模塊，每臺流量控制器各配置一個通道；常開式繼電器，兩個，用于控制調(diào)節(jié)閥的開閉；顯示儀或高穩(wěn)定性高抗T擾能力的15V電源；抗干擾能力的電纜線。a.通過流量顯示儀與計算機(jī)的連接方法，見圖六PLC或計算機(jī)b.直接與計算機(jī)的連接方法，見圖七 圖七直接與計算機(jī)的連接5.5零點的調(diào)節(jié)在使用的過程當(dāng)中，有可能發(fā)生零點偏移，可進(jìn)行零點偏移的調(diào)節(jié)。零點的調(diào)節(jié)可以兩種方式進(jìn)行調(diào)節(jié)：在流量顯示儀儀表盤上的調(diào)零或其他外部調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)節(jié)，叫做外調(diào)零。一種可以從流量控制器上的調(diào)零孔進(jìn)行調(diào)節(jié)，叫做內(nèi)調(diào)零。調(diào)零孔的位置在流量控制器上側(cè)面的小孔，內(nèi)有調(diào)零電位器。注意：調(diào)零時，流量控制器中不得有氣流流動，應(yīng)

13、將閥控開關(guān)打在“關(guān)閉”位置;調(diào)零必須在開機(jī)預(yù)熱15分鐘以后進(jìn)行，以待流量計零點的穩(wěn)定；除調(diào)零電位器外，不得輕易調(diào)整其它電位器。使用方法和操作步驟S4932/MT質(zhì)量流量控制器（流量計）要與流量顯示儀或計算機(jī)、或PLC配合使用，這里，結(jié)合MT-50系列流量顯示儀，說明S4932/MT質(zhì)量流量控制器（流量計）的使用方法利操作步驟：1開機(jī)前的準(zhǔn)備工作6.1.1用我公司提供的電纜線將質(zhì)量流量計和流量顯示儀連接。6.1.2選擇設(shè)定信號的來源。信號的來源可選擇內(nèi)部和外部，選擇設(shè)定信號來源的接口設(shè)在流量顯示儀的后而板上。如果將設(shè)定端子與內(nèi)設(shè)相連時，從流量顯示儀上獲得設(shè)定信號。如果從其他設(shè)備上得到設(shè)定信號，則

14、需要將信號源與設(shè)定相連接。6.2開機(jī)操作接通電源后，先預(yù)熱15分鐘，再通氣工作，以保證測量的準(zhǔn)確度。比如：通電時，將閥控開關(guān)置于“關(guān)閉”位置并將設(shè)定電位器調(diào)到零，待零點穩(wěn)定后，將閥控開關(guān)轉(zhuǎn)到“閥控”位，然后再將設(shè)定流量調(diào)到您需要的值，實際流量將跟蹤設(shè)定值而改變。6.3清洗與關(guān)閉功能將閥控開關(guān)置為“清洗”位，閥將打開到最大，如果氣路上下游存在工作壓差，將會有很大的氣流通過，此功能可用于吹洗管路，或用于排除MFC內(nèi)部及其管路殘存的其他氣體。清洗時的氣流量可達(dá)該控制器額定滿量程流量的幾倍至幾十倍。清洗后，應(yīng)打閥“關(guān)閉”，然后才能進(jìn)行正?！伴y控”操作；不得直接轉(zhuǎn)置“閥控”位，因為此操作不能保證閥控正常

15、動作。將閥控開關(guān)置為“關(guān)閉”位，閥將關(guān)死，而沒有氣流通過。6.4外部控制和與計算機(jī)D/A轉(zhuǎn)換器連接若流量設(shè)定使用外部信號，應(yīng)將設(shè)定選擇開關(guān)打至“外”，并從顯示儀上的外控信號插座接入（0+5.00）V利“0電平”（信號地）上即可。也可直接與計算機(jī)的D/A轉(zhuǎn)換器連接,實現(xiàn)口動控制。注意，流量設(shè)定的輸入阻抗大于lOKQo6.5流量檢測和與計算機(jī)A/D轉(zhuǎn)換器的連接若用戶檢測流量輸出信號（0+5）V時，將線引至外控信號插座的“流量檢測”和“0電平”線上即可，也可直接與計算機(jī)的模數(shù)轉(zhuǎn)換器連接，+5.00V輸岀電壓對應(yīng)MFC滿量程額定流量值。注意，流量檢測輸出電流負(fù)載能力不得大于3mAo6.6閥控功能當(dāng)閥開

16、關(guān)置于“閥控”位時，此時可通過“設(shè)定信號”正?？刂茪怏w質(zhì)量流量。6.6外接閥控在MT-50流量顯示儀上，確保打“閥控”位置，即閥控線懸空時，此時用戶也可通過外控信號插座上的“閥控制”線控制閥門。閥控線接+15V時，閥門關(guān)閉；閥控線接-15V時，處于清洗狀態(tài)；閥控線懸空時，閥門處丁-自動控制狀態(tài)。參見MT-50流量顯示儀的使用說明書。6.7關(guān)機(jī)斷電源后，氣流自動截止。推薦先關(guān)氣，后斷電源。注意事項1工作介質(zhì)本產(chǎn)品切忌液體利油污，不能使用在液體介質(zhì)中工作，只能使用在氣體工作介質(zhì)中。氣體必須是潔凈、干燥的，沒有微粒和潮氣。否則，須在氣路中加裝過濾器、干燥器等，使之符合要求。要注意保持控制器的氣路潔凈

17、，一旦被污染，將嚴(yán)重影響產(chǎn)品的準(zhǔn)確度。7.2耐壓和工作壓差超出控制器指標(biāo)指標(biāo)規(guī)定的過高的壓力，會導(dǎo)致泄漏乃至爆裂的嚴(yán)重后果。須保持控制器進(jìn)出氣口兩端的工作壓差，保持在指標(biāo)范圍之內(nèi)，否則，可能會導(dǎo)致控制測量不準(zhǔn)確，乃至失靈。在過高的氣壓差下，可能會導(dǎo)致實際氣流偏大或閥無法關(guān)閉。在過低的氣壓差下，可能會導(dǎo)致實際氣流偏小。要注意管路和氣源內(nèi)阻對工作壓差的影響，在使用大流量的質(zhì)量流量控制器（流量計）尤其注意管路粗細(xì)是否合適以及保證氣源。管路連接時，注意不要導(dǎo)致氣路污染及不通暢，連接應(yīng)密實，無漏氣。7.3安裝位置問題安裝控制器時盡可能保持安裝而水平。但在需要時，也可以任意位置安裝，安裝位置對本產(chǎn)品影響不

18、大。非水平位安裝時，應(yīng)檢查零點，可能會岀現(xiàn)零點偏移，重新調(diào)整零點后，即可正常工作。我廠可根據(jù)用戶訂貨時注明的安裝位置耍求進(jìn)行出廠標(biāo)定。7.4閥的截止密封問題本產(chǎn)品的控制閥為電磁調(diào)節(jié)閥，不能當(dāng)作截止閥使用，因為不能保證達(dá)到截止閥的截止密封作用。若用戶有截止密封的要求，應(yīng)另行配置截止閥。7.5使用腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體問題本控制器可用于控制一般的腐蝕性氣體，但要求用戶保證系統(tǒng)低泄漏、不發(fā)生凝結(jié)反應(yīng)、無微粒、無水汽，及時清洗，使用得當(dāng)?shù)??？刂破魍ǖ啦牧蠟椋篠US316L（00Crl7Nil4Mo2）、SUS417J1（00Cr30Mo2）耐蝕不銹鋼，密封材料為聚四氟乙烯、氟橡膠等耐蝕材料。若用戶有

19、在強(qiáng)腐蝕性氣體和有機(jī)溶劑氣體使用要求時，應(yīng)在定貨時聲明，以便更改相應(yīng)耐蝕密封材料。7.6標(biāo)定和不同氣體的換算本控制器出廠用氮氣（NJ標(biāo)定。質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：mL/min（毫升/分）（SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）L/min（升/分）（SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度0C；氣壓101325Pa（760mniHg）用戶使用其它氣體時，可以通過附錄一的轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行換算，將質(zhì)量控制器顯示出的流量讀數(shù)，與某使用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)相乘，即得該被測氣體在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量流量。如果用戶使用混合氣體，可以通過附錄二介紹的方法，計算出混合氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)。故障判斷和處理1一般檢查：在控制器新安裝或發(fā)生故障時，應(yīng)進(jìn)行一般檢查

20、。1）檢查氣源壓力，檢查氣路是否通暢，檢查工作氣壓差是否能夠保證。2）通電前檢查，接線是否正確，包括所有地線是否連接好。注意：15V電源接錯，會燒毀控制器。3）通電檢查，打開插頭蓋，檢查各點電位：15V電源電壓、設(shè)定電壓、輸出信號電壓、外調(diào)零電壓、閥控電壓、所有地電平。8.2典型故障判斷和處理表4故障判斷和處理一覽表序號故障現(xiàn)象可能原因檢查及處理方法1無氣流流過輸岀電壓0V1.1閥控開關(guān)關(guān)閉確認(rèn)閥控開關(guān)，在“閥控”或“清洗”位1.2無設(shè)定信號檢查“內(nèi)外”開關(guān)的狀態(tài)，設(shè)定電位器。測量設(shè)定電壓。1.3氣路不通或氣壓差小檢查氣源壓力、氣路通暢、有無泄漏。1.4過濾器堵塞更換過濾器1.5控制器內(nèi)部故障

21、檢查是否有閥電壓，無閥電壓，修理電路板，有閥電壓，換閥。1.6內(nèi)部通道故障檢查通道2無氣流，2.1零點偏差斷開外調(diào)零，調(diào)整調(diào)零電位器輸出電壓不為零2.2電源供電故障測量控制器插頭處15V電源對零電壓值，2.3線路故障檢查線路有無開路，短連及錯誤。2.4控制器內(nèi)電路故障更換線路板或傳感器3有氣流，能控制，無流量輸出電壓3.1流量信號線路不通檢查接線，測量流量信號對零電壓。3.2顯示儀故障測量顯示儀插頭處流量信號對零電壓。如有電壓，則顯示儀故障。3.3控制器內(nèi)電路故障測量控制器插頭處流量信號對零電壓。如無電壓，則控制器內(nèi)電路故障。4有氣流，有顯示，不能控制4.1地電平不正常檢查所有地線是否正確連接

22、，有無開路。4.2設(shè)定信號不能調(diào)測量設(shè)定信號能否調(diào)節(jié)，是否接線錯誤或故障。4.3零點嚴(yán)重偏差斷開外調(diào)零，關(guān)閉調(diào)零4.4強(qiáng)電磁T-擾在無干擾環(huán)境測試應(yīng)正常。改善電磁干擾。4.5控制器內(nèi)電路故障更換電路板5閥有較大漏氣5.1零點偏差斷開外調(diào)零，調(diào)整調(diào)零電位器為零或略微正偏。5.2設(shè)定電壓不能到零測量設(shè)定電壓是否到零?？赡茉O(shè)定電位器損壞。5.3關(guān)閉信號故障分別打“閥控”和“關(guān)閉”，測量其電壓是否正常。5.4出入口氣壓差太大減小氣壓差5.5閥門污染清洗閥門，更換密封件5.6控制器內(nèi)部故障更換電路板或修整電磁閥6氣流控制不穩(wěn)定6.1氣源壓力不穩(wěn)穩(wěn)定氣源壓力，出入口壓差在規(guī)定之內(nèi)。6.2氣路內(nèi)阻過大暢通管

23、道，大流量耍加粗管道，提高氣源供氣能力。6.3設(shè)定信號不穩(wěn)用示波器測量設(shè)定信號的穩(wěn)定性，并測量15V電源對零電壓值和穩(wěn)定性。6.4外調(diào)零信號不穩(wěn)斷開外調(diào)零信號6.5控制器內(nèi)故障更換線路板，清洗通道，維修電磁閥7有氣流，無顯zjxo不能調(diào)節(jié)控制7.1傳感器故障修理傳感器及線路，清洗傳感器通道。8高頻干擾流量控制8.1供電系統(tǒng)地線、零線連接或機(jī)殼接地有問題檢查接地或絕緣隔離，接地系統(tǒng)注意一點接地。8.2信號電平連接點問題檢查信號及零電平連接線點，杜絕線路干擾串入。8.3空間電磁場干擾遠(yuǎn)離干擾源及屏蔽隔離.9流量控制不正常9.1零點偏差斷開外調(diào)零，調(diào)整調(diào)零電位器9.2電源供電故障測量控制器插頭處15

24、V電源對零電壓值，9.3氣路或氣壓差不正常檢查氣源壓力及壓差，氣路有無堵塞、污染，有無泄漏。9.4設(shè)定信號不正常測量設(shè)定信號電壓值。9.5控制器內(nèi)部故障更換傳感器，電路10實際氣流值與顯示值偏差過大10.1控制器與顯示量程或單位不匹配匹配控制器與顯示儀。顯示儀設(shè)定利顯示電壓范圍是否為（0+5）V10.2零點偏差調(diào)整調(diào)零電位器10.3氣源或氣壓差不正常檢查氣源壓力，出入口氣壓差。10.4控制器污染清洗傳感器通道11無氣流，零點不穩(wěn)或慢漂移11.1外調(diào)零信號不穩(wěn)斷開外調(diào)零11.2控制器內(nèi)部故障維修或更換傳感器及電路注意控制器內(nèi)部故障，應(yīng)由專業(yè)維修人員修理，或送回木廠修理。9、附錄：氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換

25、系數(shù)附錄一氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換器系數(shù)表氣體比熱（卡/克C）空氣Air0.24氨氣Ar0.125碑烷AsH30.1168三淚化硼B(yǎng)Br30.0647三氯化硼B(yǎng)C130.01217三氟化硼bf30.1779硼烷BA0.502四氯化碳CC1.0.1297四氟化碳cf40.1659密度（克/升oc）轉(zhuǎn)換系數(shù)1.2931.0061.78371.4153.4780.67311.180.3785.2270.433.0250.5081.2350.4416.860.3073.96360.428甲烷ch50.53180.7150.719乙烘c2h20.40491.1620.581乙烯C.H.0.36581.2510.

26、598乙烷CA0.42411.3420.481丙烘c3h40.36331.7810.421丙烯C3比0.36591.8770.398丙烷c3h30.3991.9670.348丁烘CA0.35152.4130.322烯CA0.37232.5030.294烷Cflxo0.4132.5930.255戊烷C乩20.39163.2190.217甲醇ch3oh0.32771.430.584乙醇C具00.33982.0050.392三氯乙烷C:H3C130.16545.950.278一氧化碳co0.24881.251.00二氧化碳co20.20171.9640.737氧氣c2n20.26082.3220.4

27、52氯氣Cl20.11453.1630.858笊氣d21.73250.17980.998氟氣f20.1971.6950.931四氯化錯GeCl.,0.10729.5650.267錯烷GeH,0.14053.4180.569氫氣h23.42240.08991.01浪化氫HBr0.08613.611.00氯化氫HC10.19111.6271.00氟化氫HF0.34820.8931.00碘化氫HI0.05455.7070.999硫化氫H2S0.22781.520.844氨氣He1.24180.17861.415氟氣Kr0.05933.7391.415氮氣0.24861.2501.00氛氣Ne0.24640.901.415氨氣nh20.50050.760.719一氧化氮NO0.23781.3390.976二氧化氮no20.19232.05