電子廠房潔凈室系統(tǒng)課件

1、電子廠房潔凈室系統(tǒng)電子廠房潔凈室系統(tǒng)大 綱HJT C/R 介紹潔凈室系統(tǒng)型式為何需要Clean Room潔凈室的定義潔凈等級(jí)定義制程線寬與潔凈度之關(guān)系 Clean Room之環(huán)境因子影響C/R潔凈度的環(huán)境因子風(fēng)管系統(tǒng)FFU系統(tǒng)軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)架構(gòu)表及主要系統(tǒng)介紹Layout 說(shuō)明MAU與空氣循環(huán)系統(tǒng)大 綱HJT C/R 介紹潔凈室系統(tǒng)型式為何需要Clean 潔 凈 室 的 定 義潔凈室為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而給于特別設(shè)計(jì)之房間以符合制程工藝之需求 回主畫(huà)面

2、潔 凈 室 的 定 義潔凈室為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵潔凈等級(jí)回主畫(huà)面潔凈等級(jí)回主畫(huà)面制程線寬與潔凈度之關(guān)系回主畫(huà)面制程線寬與潔凈度之關(guān)系回主畫(huà)面污染物大小0.3um粒徑肉眼可視粒徑人類(lèi)頭發(fā)直徑-100um回主畫(huà)面污染物大小0.3um粒徑肉眼可視粒徑人類(lèi)頭發(fā)直徑-1影響C/R潔凈度之環(huán)境因子溫度濕度壓力微塵粒子照度微振動(dòng)噪聲靜電化學(xué)物質(zhì)回主畫(huà)面影響C/R潔凈度之環(huán)境因子溫度回主畫(huà)面潔凈室空調(diào)系統(tǒng)型式風(fēng)管系統(tǒng)FFU系統(tǒng)軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)以風(fēng)管輸送潔凈空氣循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣天花空間為微負(fù)壓氣室獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱天花空間為正壓氣室獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱回主畫(huà)面潔凈室空調(diào)系統(tǒng)型式風(fēng)管系統(tǒng)以風(fēng)管輸送潔凈空

3、氣天花空間為微負(fù)壓風(fēng)管系統(tǒng)(循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣)潔凈度、溫度及濕度控制風(fēng)管系統(tǒng)(循環(huán)空調(diào)箱兼處理外氣)潔凈度、溫度及濕度控制FFU系統(tǒng)(獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制溫度控制FFU系統(tǒng)(獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)(獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控制溫度控制軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)(獨(dú)立設(shè)置外氣空調(diào)箱)潔凈度控制溫度控制濕度控架構(gòu)表及主要系統(tǒng)設(shè)備介紹LIGHTINGSPEAKERFFU HARMONICMAU&DC BANK&HARMONIC FILTERHVAC MONITORFFU MONITORION. SYS.FMSARCHHVACFIR

4、E PROTECTIONELEC/CONTROLELECCHEMICALC/RHVACDIARCH HJT FAB 8N PROJECTGASP-PEPOXY COATINGRAISED FLOORCEILING GRID SYS.PARTITIONAIR SHWOR/AIR LOCKTOOL FOUNDATIONVIRBRATION DEFENCEMAU SYS.FFU SYS2nd CHWDRY COILAIR WASHER SYS.FIRE SPRINKLERDESMOKE SYS.ADRANCE DETECTOR SYS.AIR SAMPLING SYS.CDAPCWPVHVBAIW回

5、主畫(huà)面架構(gòu)表及主要系統(tǒng)設(shè)備介紹LIGHTINGARCHHVACFIHJT C/R 主要潔凈需求Cleanliness TemperatureHumidity100230.5455% RH1000232 455% RH0.1230.5455% RH10000232 4510% RH回主畫(huà)面HJT C/R 主要潔凈需求Cleanliness 電子廠平面配置概念圖FAB 2FAB 1S BO BC U BW H回主畫(huà)面電子廠平面配置概念圖FAB 2FAB 1S BO BC U SUB FAB（MASK SHOP)回主畫(huà)面SUB FAB（MASK SHOP)回主畫(huà)面RAP回主畫(huà)面RAP回主畫(huà)面FAB、SB3F、G/R回主畫(huà)面FAB、SB3F、G/R回主畫(huà)面TRUSS、SB4F-TEST AREA回主畫(huà)面TRUSS、SB4F-TEST AREA回主畫(huà)面電子廠剖面概念圖RAISED FLOORCOILCOILDESMOKE FANDESMOKE FANCDABAPCWPV回主畫(huà)面電子廠剖面概念圖RAISED FLOORCOILCOILDEMAU + 空氣循環(huán)系統(tǒng)外氣空調(diào)箱功能壓力之控制濕度之控制外氣微塵粒之預(yù)處理氣態(tài)分子之控制空氣循環(huán)系統(tǒng)功能潔凈度之控制溫度之控制濕度之維持氣態(tài)分子之控制MAU潔凈室熱源分布潔凈室系統(tǒng)流程回主畫(huà)面MAU + 空氣循環(huán)系