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特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收資料僅供參考文件編號(hào):2022年4月特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收版本號(hào):A修改號(hào):1頁次:1.0審核:批準(zhǔn):發(fā)布日期:13特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收一般規(guī)定特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收包括設(shè)備驗(yàn)收、管路系統(tǒng)驗(yàn)收和氣體偵測(cè)/監(jiān)控系統(tǒng)驗(yàn)收等。設(shè)備驗(yàn)收6.2.1機(jī)械面板驗(yàn)收外觀和流程檢驗(yàn)對(duì)照流程圖、配置表、鋼瓶接口形式等設(shè)計(jì)參數(shù)進(jìn)行檢驗(yàn),包括管道橫平豎直、焊接質(zhì)量合格、調(diào)節(jié)閥規(guī)格和流向、氣動(dòng)/手動(dòng)閥門規(guī)格和流向、單向閥規(guī)格和流向、微漏閥規(guī)格和流向、壓力變送器/壓力表規(guī)格、過濾器規(guī)格、過流開關(guān)規(guī)格和安裝方向、安全閥流向和設(shè)定壓力、VCR是否鎖緊、管道支架安裝、吹掃入口管徑、工藝出口管徑、排放口管徑、危險(xiǎn)標(biāo)簽等。儀器測(cè)試檢查出廠各項(xiàng)儀器測(cè)試報(bào)告,包括保壓、氦檢、顆粒度、水分、氧分等測(cè)試。參見管路系統(tǒng)驗(yàn)收章節(jié)。6.2.2控制系統(tǒng)驗(yàn)收根據(jù)控制邏輯,檢查各監(jiān)測(cè)和聯(lián)動(dòng)部件的功能,包括壓力傳感器、電子秤、過流開關(guān)(EFS)、高溫開關(guān)、火焰?zhèn)蓽y(cè)器(UV/IR)、負(fù)壓開關(guān)、緊急切斷(EMO)、輸入電源、輸入輸出信號(hào)、接地保護(hù)、功能聯(lián)動(dòng)測(cè)試等。管路系統(tǒng)驗(yàn)收施工單位應(yīng)通過其質(zhì)檢人員對(duì)施工質(zhì)量進(jìn)行檢驗(yàn)。建設(shè)單位或其授權(quán)機(jī)構(gòu),應(yīng)通過其質(zhì)檢人員對(duì)施工質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)督和檢查。6.3.1外觀與文件檢驗(yàn)1.對(duì)照流程圖,檢查管件的安裝位置和方向。2.檢查焊接管道是否有裂縫,特別是彎管處;3.檢查管道對(duì)焊是否符合下列規(guī)定:序號(hào)檢查內(nèi)容指標(biāo)1凹陷度<10%管壁厚2凸起度<10%管壁厚3錯(cuò)邊量<10%管壁厚4焊縫寬度管壁厚<寬度<3倍管壁厚5色澤無明顯變色6焊縫偏斜度<20%焊縫寬度4.檢查管道組成件的質(zhì)量文件;5.檢查施工過程中的焊樣、焊接日志。6.3.2壓力試驗(yàn)1.管道安裝完畢,外觀檢驗(yàn)合格后,必須進(jìn)行壓力試驗(yàn)。為了避免污染,高純系統(tǒng)壓力測(cè)試采用氣壓試驗(yàn),不可采用水壓試驗(yàn),不得使用檢漏液。試驗(yàn)氣體應(yīng)采用高純氮?dú)饣驓鍤猓豢刹捎煤?。在進(jìn)行系統(tǒng)保壓之前請(qǐng)確認(rèn)完成管道吹掃,避免鐵屑污染閥門及管道。吹掃需采用大壓力大流量的氣源(5kg/cm2以上)進(jìn)行循環(huán)吹掃;2.壓力試驗(yàn)前應(yīng)確保焊縫及其他待檢部位尚未涂漆和絕熱,待試管道與無關(guān)系統(tǒng)已用盲板或采取其他措施隔開,待試管道上的安全閥、爆破板及儀表元件等已經(jīng)拆下或加以隔離;3.試驗(yàn)用壓力表已經(jīng)校驗(yàn),并在周檢期內(nèi)。試驗(yàn)用壓力表,直徑應(yīng)大于150mm。對(duì)于低壓(<150psig),要求刻度為1psi;對(duì)于高壓(>500psig),刻度可采用5psi的刻度;4.壓力測(cè)試分耐壓測(cè)試和保壓測(cè)試兩種。耐壓測(cè)試采用設(shè)計(jì)壓力的115%,時(shí)間30分鐘。保壓測(cè)試采用設(shè)計(jì)壓力的90%,時(shí)間24小時(shí);特氣系統(tǒng)的測(cè)試壓力最高不超過2,000psig.5.保壓過程應(yīng)記錄起止溫度。考慮溫度修正后,壓降值不得超過1%;Pc=[(P1+Patm)x(T2)/(T1)]-Patm和:dP=Pc-P2此處,P1=初始表壓P2=最終表壓Pc=溫度校正最終表壓Patm=大氣壓力,通常為barapsia)dP=溫度校正后的壓差T1=初始周圍溫度°K(=℃+T2=最終周圍溫度°K(=℃+6.建設(shè)單位應(yīng)參加壓力試驗(yàn)。壓力試驗(yàn)合格后,應(yīng)和施工單位一同填寫“管道系統(tǒng)壓力試驗(yàn)記錄”,包括;所測(cè)系統(tǒng)名稱、測(cè)試日期所測(cè)系統(tǒng)管道直徑和長(zhǎng)度測(cè)試開始時(shí)間、終止時(shí)間和總歷經(jīng)時(shí)間壓力和溫度數(shù)據(jù)儀器校驗(yàn)報(bào)告7.壓力測(cè)試目的和程序見附件(條文說明);6.3.3氦測(cè)漏1.特氣系統(tǒng)壓力試驗(yàn)完成后,考慮到安全和純度的要求,必須進(jìn)行氦測(cè)漏;2.所有可能泄漏點(diǎn)需要用塑料袋隔離;3.氦測(cè)漏應(yīng)采用質(zhì)譜式檢測(cè)儀,其檢測(cè)下限不低于1x10-10sec;4.氦測(cè)漏包括內(nèi)漏(Inboard)測(cè)試、閥座(Crossseat)測(cè)試和外漏(Outboard)測(cè)試;特氣系統(tǒng)通常采用內(nèi)漏測(cè)試法;內(nèi)漏測(cè)試(噴氦法)不得高于1x10-9sec閥座測(cè)試不得高于1x10-6sec外漏測(cè)試(吸槍法)不得高于1x10-6sec氦測(cè)漏的測(cè)試順序?yàn)椋簝?nèi)漏法、閥座測(cè)試、外漏法;檢測(cè)漏點(diǎn)修補(bǔ)后,必須重新經(jīng)過保壓測(cè)試,然后才能再進(jìn)行氦檢;10.系統(tǒng)測(cè)試完畢,應(yīng)充入高純氮?dú)饣驓鍤?,并維持1-5slpm的吹掃;11.氦測(cè)試完畢后,應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告,包括:所測(cè)系統(tǒng)名稱、測(cè)試日期所測(cè)系統(tǒng)管道直徑和長(zhǎng)度、檢測(cè)點(diǎn)數(shù)量測(cè)試開始時(shí)間、各點(diǎn)噴氦時(shí)間、終止時(shí)間、泄漏峰值時(shí)間背景氦漏率和峰值氦漏率測(cè)漏儀器序列號(hào)儀器校驗(yàn)報(bào)告6.3.4顆粒測(cè)試1.為了保證特氣管路純度,系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行顆粒測(cè)試;2.特氣系統(tǒng)顆粒測(cè)試時(shí),吹掃氣體的雷諾數(shù)應(yīng)大于10,000(2”外徑(英寸)氣體流量slpm(scfh)雷諾數(shù)1/4 35 (70)10,0003/8 50 (100)10,0001/2 75 (150)10,0003/4 120 (240)10,0001 170 (340)10,0001-1/2 260 (520)10,0002 270 (540)7,5003 280 (560)5,0004 370 (740)5,0006 450 (900)4,000應(yīng)首先測(cè)試氣源純度;合格后再進(jìn)行樣品測(cè)試;測(cè)試指標(biāo):大于微米的顆粒小于等于1顆/立方英尺;連續(xù)3次合格則測(cè)試完成;不合格系統(tǒng)吹掃后應(yīng)在6小時(shí)內(nèi)完成第二次測(cè)試。顆粒測(cè)試完畢后,應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告,包括:所測(cè)系統(tǒng)名稱、測(cè)試日期、測(cè)試時(shí)間所測(cè)系統(tǒng)管道直徑和長(zhǎng)度吹掃氣體壓力和流量取樣點(diǎn)位置和顆粒度等級(jí)儀器序列號(hào)儀器校驗(yàn)報(bào)告6.3.4水分測(cè)試1.為了保證特氣管路純度,系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行水分測(cè)試;2.特氣管道測(cè)試時(shí),吹掃速度低于管道設(shè)計(jì)流速的10%,且小于50slpm;3.應(yīng)首先測(cè)試氣源純度;合格后再進(jìn)行樣品測(cè)試;4.測(cè)試指標(biāo):<20ppbv,測(cè)試氣體水分增量;5.測(cè)試結(jié)果達(dá)到后,數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢(shì)20分鐘后,測(cè)試結(jié)束;6.不合格系統(tǒng)吹掃后,應(yīng)在12小時(shí)內(nèi)完成第二次測(cè)試;7.水分測(cè)試完畢后,應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告,包括:所測(cè)系統(tǒng)名稱、測(cè)試日期、測(cè)試時(shí)間吹掃氣體壓力和流量取樣點(diǎn)位置和水分等級(jí)儀器序列號(hào)儀器校驗(yàn)報(bào)告6.3.5氧分測(cè)試1.為了保證特氣管路純度,系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行氧分測(cè)試;2.特氣管道測(cè)試時(shí),吹掃速度低于管道設(shè)計(jì)流速的10%,且小于50slpm;3.應(yīng)首先測(cè)試氣源純度;合格后再進(jìn)行樣品測(cè)試;4.測(cè)試指標(biāo):<20ppbv,測(cè)試氣體氧分增量;5.測(cè)試結(jié)果達(dá)到后,數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢(shì)20分鐘后,測(cè)試結(jié)束;6.不合格系統(tǒng)吹掃后,應(yīng)在12小時(shí)內(nèi)完成第二次測(cè)試;7.氧分測(cè)試完畢后,應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告,包括:所測(cè)系統(tǒng)名稱、測(cè)試日期、測(cè)試時(shí)間吹掃氣體壓力和流量取樣點(diǎn)位置和氧分等級(jí)儀器序列號(hào)儀器校驗(yàn)報(bào)告氣體偵測(cè)/監(jiān)控系統(tǒng)驗(yàn)收6.4.1氣體偵測(cè)器對(duì)照設(shè)計(jì)文件檢查氣體偵測(cè)器的類型、報(bào)警設(shè)定值(應(yīng)小于TLV-TWA)、探頭標(biāo)定時(shí)間、安裝位置、數(shù)量、排放管道、電源信號(hào)接線、出廠質(zhì)量文件等。對(duì)所有偵測(cè)器的輸出信號(hào)應(yīng)進(jìn)行模擬測(cè)試。6.4.2系統(tǒng)檢查1.對(duì)照設(shè)計(jì)文件

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