形位誤差評(píng)定及檢測(cè)課件

形位誤差評(píng)定及檢測(cè)形位誤差評(píng)定及檢測(cè)13.7.1形狀誤差評(píng)定及檢測(cè)1.最小條件的概念1、形狀誤差被測(cè)實(shí)際要素對(duì)其理想要素的變動(dòng)量。該理想要素的位置應(yīng)符合最小條件。何謂最小條件？為什么要引入最小條件？h1h2h32、最小條件被測(cè)實(shí)際要素相對(duì)于理想要素的最大變動(dòng)量為最小。h1>h2>h3，h3為最小。h3值則為實(shí)際直線的誤差值。3.7.1形狀誤差評(píng)定及檢測(cè)1.最小條件的概念1、形狀誤差2評(píng)定形狀誤差時(shí)，形狀誤差數(shù)值的大小可用最小包容區(qū)域的寬度或直徑表示。最小包容區(qū)指包容被測(cè)實(shí)際要素時(shí)，具有最小寬度f(wàn)或直徑φf(shuō)。按照最小區(qū)域法評(píng)定的形狀誤差值是唯一的、最小的，可以最大限度地保證合格件通過(guò)。最小條件（續(xù)）評(píng)定形狀誤差時(shí)，形狀誤差數(shù)值的大小可用最小包容區(qū)域的寬度或直3實(shí)際測(cè)量中，并非必須按最小條件評(píng)定形狀誤差。國(guó)際規(guī)定：在滿足零件功能要求的前提下，允許采用其他方法來(lái)評(píng)定形狀誤差，若發(fā)現(xiàn)誤差評(píng)定爭(zhēng)議，有無(wú)特殊說(shuō)明時(shí)，則應(yīng)按照最小包容區(qū)域法作為仲裁的依據(jù)。按照最小條件的要求，用最小包容區(qū)域來(lái)評(píng)定形狀誤差具有唯一性和準(zhǔn)確性。最小條件（續(xù)）實(shí)際測(cè)量中，并非必須按最小條件評(píng)定形狀誤差。最小條件（續(xù)）42.直線度誤差的評(píng)定與檢測(cè)首尾連線法（兩端點(diǎn)連線法）作圖法/計(jì)算最小二乘法以最小二乘直線作為評(píng)定的理想直線，求出實(shí)際直線（誤差直線）對(duì)該直線的最大變動(dòng)差值，從而得到直線度誤差。則誤差曲線相對(duì)該理想直線的最高點(diǎn)和最低點(diǎn)到該理想直線的縱坐標(biāo)距離之和即為被測(cè)直線度誤差值f。f=dmax+dmin

2.直線度誤差的評(píng)定與檢測(cè)5誤差各點(diǎn)與最小二乘直線對(duì)應(yīng)各點(diǎn)之差為vi，應(yīng)使誤差各點(diǎn)與最小二乘直線對(duì)應(yīng)各點(diǎn)之差為vi，應(yīng)使6形位誤差評(píng)定及檢測(cè)課件7最小包容區(qū)域法（1）誤差曲線全部位于兩平行直線之間（2）兩平行直線與誤差曲線至少有高低高或低高低相間的三個(gè)極點(diǎn)接觸。其評(píng)定結(jié)果小于或等于其它兩種評(píng)定方法。f=dmax+dmin最小包容區(qū)域法8直線度誤差的檢測(cè)GB11336-1989光隙法：適合于小零件節(jié)距法：適合于一般零件或較大零件設(shè)備：平尺（或刀口尺），厚薄規(guī)（塞尺）。1、光隙法將刀口尺與被測(cè)素線直接接觸，并使兩者之間的最大間隙為最小。誤差的大小根據(jù)光隙確定，當(dāng)光隙較小時(shí)，可按標(biāo)準(zhǔn)光隙估讀，蘭光：f=0.8μm，紅光：f=1.5μm,白光：f=2.5μm。當(dāng)光隙大時(shí)，用塞尺測(cè)量。光隙法節(jié)距法量規(guī)檢驗(yàn)法（一）常用的測(cè)量方法直線度誤差的檢測(cè)GB11336-1989光隙法：適合于92、節(jié)距法直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）設(shè)備：橋板和水平儀，自準(zhǔn)直儀和反射鏡，平板和測(cè)微表

將水平儀放在橋板上，先調(diào)整被測(cè)零件，使被測(cè)要素大致處于水平位置。水平儀按節(jié)距l(xiāng)沿被測(cè)素線移動(dòng)，同時(shí)記錄水平儀讀數(shù)；根據(jù)記錄的讀數(shù)用計(jì)算法（或圖解法）按最小條件（或兩端點(diǎn)邊線法）計(jì)算誤差值。按上述方法測(cè)量若干條素線，取其中最大的誤差值作為該被測(cè)零件的直線度誤差。A、水平儀和橋板2、節(jié)距法直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）設(shè)備：橋板和水平10B、自準(zhǔn)直儀和反射鏡平面反射鏡調(diào)節(jié)手輪物鏡反射鏡目鏡測(cè)微鼓輪光源濾光片十字線分劃板立方棱鏡固定分劃板可動(dòng)分劃板十字線分劃板物鏡水平調(diào)整板平面反射鏡橋板被測(cè)直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）B、自準(zhǔn)直儀和反射鏡平面反射鏡調(diào)節(jié)手輪物鏡反射鏡目鏡測(cè)微鼓輪11C、平板和測(cè)微表直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）φ100-0.030.010將被測(cè)零件放置在平板上，并使其緊靠直角座。在被測(cè)素線的全長(zhǎng)范圍內(nèi)沿被測(cè)要素按一定節(jié)距移動(dòng)表架進(jìn)行測(cè)量。C、平板和測(cè)微表直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）φ100-123、綜合量規(guī)綜合量規(guī)測(cè)的直徑等于被測(cè)零件的實(shí)效尺寸，綜合量規(guī)則必須通過(guò)被測(cè)零件。直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）3、綜合量規(guī)綜合量規(guī)測(cè)的直徑等于被測(cè)零件的實(shí)效尺寸，綜合量規(guī)13平面度誤差的檢測(cè)評(píng)定方法有：最小包容區(qū)域法、最小二乘法、對(duì)角線平面法和三遠(yuǎn)點(diǎn)平面法。1、三遠(yuǎn)點(diǎn)平面法以三遠(yuǎn)點(diǎn)平面STP作為評(píng)定基面的方法。fTP=dmax-dmindmax、dmin是測(cè)得點(diǎn)相對(duì)三遠(yuǎn)點(diǎn)平面的最大、最小偏離值。di在平面上方取正，下方取負(fù)。0-30-2-300-8三遠(yuǎn)點(diǎn)平面（一）評(píng)定方法平面度誤差的檢測(cè)評(píng)定方法有：最小包容區(qū)域法、最小二乘法、對(duì)角142、對(duì)角線平面法以對(duì)角線平面SDL作為評(píng)定基面的方法。fDL=dmax-dmin-8+3-40-6-5-4-2-8對(duì)角線平面法平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）以通過(guò)實(shí)際被測(cè)平面一條對(duì)角線的兩端點(diǎn)且與另一條對(duì)角線的兩端點(diǎn)連線平行的平面作為理想評(píng)定基準(zhǔn)面，作兩個(gè)包容實(shí)際平面且平行于理想評(píng)定基準(zhǔn)面的平面，則此兩平面間的距離即為平面度誤差。2、對(duì)角線平面法以對(duì)角線平面SDL作為評(píng)定基面的方法。-8153、最小二乘法以實(shí)際平面上各點(diǎn)到該平面的距離平方和為最小的理想平面作為評(píng)定基面。設(shè)其方程為：z=α+βx+γyfLS=dmax-dmin平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）3、最小二乘法以實(shí)際平面上各點(diǎn)到該平面的距離平方和為最小的理16實(shí)際被測(cè)平面相對(duì)于評(píng)定基準(zhǔn)面的高度坐標(biāo)值Vij=f(xiyj)-(α+βxi+γyj)=zij-(α+βxi+γyj)

符合最小二乘平面的α，β，γ應(yīng)使由可得：實(shí)際被測(cè)平面相對(duì)于評(píng)定基準(zhǔn)面的高度坐標(biāo)值Vij=f(xiyj17形位誤差評(píng)定及檢測(cè)課件184、最小包容區(qū)域法以最小區(qū)域面SMZ作為評(píng)定基面的方法。fMZ=dmax-dmindmax、dmin是測(cè)得點(diǎn)相對(duì)最小區(qū)域面的最大、最小偏離值。di在平面上方取正，下方取負(fù)。平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）4、最小包容區(qū)域法以最小區(qū)域面SMZ作為評(píng)定基面的方法。平面19最小包容區(qū)域法基面旋轉(zhuǎn)f評(píng)定基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方向如何判斷被測(cè)表面的兩基準(zhǔn)方向是否一致?平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）最小包容區(qū)域法基面旋轉(zhuǎn)f評(píng)定基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方204.2最小包容區(qū)域判別法0-9-7-16-210-50-13三角形準(zhǔn)則平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）被測(cè)實(shí)際平面與兩平行理想平面的接觸點(diǎn)，投影在一個(gè)面上呈三角形，且三高夾一低或三低夾一高。4.2最小包容區(qū)域判別法0-9-7214.2最小包容區(qū)域判別法-4-20-8-6-50-3-8交叉準(zhǔn)則平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）被測(cè)實(shí)際平面與兩平行理想平面的接觸點(diǎn)，投影在一個(gè)面上呈兩線段交叉形。4.2最小包容區(qū)域判別法-4-20224.2最小包容區(qū)域判別法直線準(zhǔn)則0-80-3-15-20-7-5平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）被測(cè)實(shí)際平面與兩平行理想平面的接觸點(diǎn)，投影在一個(gè)面上呈一直線形，且兩高一低或兩低一高。4.2最小包容區(qū)域判別法直線準(zhǔn)則0-8234.3最小區(qū)域法的旋轉(zhuǎn)變換步驟（1）根據(jù)測(cè)量得點(diǎn)坐標(biāo)值，判別被測(cè)面可能符合的判別準(zhǔn)則，并將其中兩個(gè)可能的高（或低）極點(diǎn)旋轉(zhuǎn)變換成等值，同時(shí)變換其余各點(diǎn)的坐標(biāo)值。（2）若可能符合三角形準(zhǔn)則，則以平行于上述等值點(diǎn)的線為軸，將另一個(gè)高（或低）點(diǎn)旋轉(zhuǎn)變換成等值，同時(shí)變換其余各點(diǎn)的坐標(biāo)值。（3）若可能符合交叉準(zhǔn)則，則以平行于上述等值點(diǎn)連線的線為軸，將軸兩側(cè)的低（或高）點(diǎn)旋轉(zhuǎn)變換成等值，同時(shí)變換其余各點(diǎn)的坐標(biāo)值。（4）旋轉(zhuǎn)變換后符合判別準(zhǔn)則之一，則平面度誤差值f=Zmax-Zmin平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）Z11Z12Z13Z21Z22Z23Z31Z32Z334.3最小區(qū)域法的旋轉(zhuǎn)變換步驟（1）根據(jù)測(cè)量得點(diǎn)坐標(biāo)值，判24例1、按最小區(qū)域法評(píng)定平面度誤差值:f=Zmax-Zmin=70-(-30)=100μm040-10-3070-1510-50-20040-10-3070-1510-50-20-20-20202000-2020-30-3070-1530-300根據(jù)測(cè)得點(diǎn)坐標(biāo)值，判斷被測(cè)面可能符合三角形準(zhǔn)則。將其中兩可能的低極點(diǎn)Z21=-30，Z32=-50旋轉(zhuǎn)變換成等值-30，并同時(shí)變換其余各點(diǎn)。平面度誤差的檢測(cè)——數(shù)據(jù)處理（續(xù)）例1、按最小區(qū)域法評(píng)定平面度誤差值:f=Zmax-Zmin=25例2、按最小區(qū)域法評(píng)定根據(jù)測(cè)得點(diǎn)坐標(biāo)值，判斷被測(cè)面可能符合交叉準(zhǔn)則。將其中兩可能的低極點(diǎn)Z21=20，Z32=11旋轉(zhuǎn)變換成等值20，并同時(shí)變換其余各點(diǎn)。+2-4-14+20+6-80+11+2-9-99900-7-13-23+20+6-8+9+20+11+24+16+80-8+1+3+1+20+14+8+1+20+19f=20-1=19μm例2、按最小區(qū)域法評(píng)定根據(jù)測(cè)得點(diǎn)坐標(biāo)值，判斷被測(cè)面可26例3：

讀數(shù)如圖，平面度公差t=0.1mm，試評(píng)定平面度誤差并判斷其合格性。首先用極值法評(píng)定其平面度誤差f’f’=70-(-40)=110μmf’>t，不能判斷平面是否合格。050+10-3070+5+10-400-10400-3070+5+20-30+10-30-20-100+10050+10-3070+5+10-400-10-10+10+1000-20+20-30-30+60-15+30-300平面度誤差：f=60-(-30)=90μm，f<t，故該平面是合格的。用最小區(qū)域法評(píng)定：平面度誤差的檢測(cè)——數(shù)據(jù)處理（續(xù)）例3：

讀數(shù)如圖，平面度公差t=0.1mm，試評(píng)定平面度誤差27平面度誤差的檢測(cè)GB11337-1989平晶法：適合于高精度的小平面測(cè)微法：適合于一般零件或較大零件將平晶帖在被測(cè)表面上，觀測(cè)它們之間的干涉條紋。平面度誤差為：

封閉的:干涉條紋數(shù)×光波波長(zhǎng)之半；不封閉的:條紋的彎曲度與相鄰兩條紋間距之比再乘以光波波長(zhǎng)之半。1、平晶法（二）常用的測(cè)量方法平面度誤差的檢測(cè)GB11337-1989平晶法：適合于高精度282、測(cè)微法A、平板，帶指示器的測(cè)量架，固定和可調(diào)支承。指示表一般用于測(cè)量小型平面。將被測(cè)零件支承在平板上，調(diào)整被測(cè)表面最遠(yuǎn)三點(diǎn)，使其與平板等高。按一定的布點(diǎn)測(cè)量被測(cè)表面，同時(shí)記錄讀數(shù)。平面度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）2、測(cè)微法A、平板，帶指示器的測(cè)量架，固定和可調(diào)支承。指示表29B、水平儀和橋板將被測(cè)表面調(diào)水平，用水平儀按一定的布點(diǎn)和方向逐點(diǎn)地測(cè)量被測(cè)表面，同時(shí)記錄讀數(shù)，并換算成線值。

C、自準(zhǔn)直儀和反射鏡將反射鏡放在被測(cè)表面上，調(diào)整自準(zhǔn)直儀與被測(cè)表面平行，按一定的布點(diǎn)和方向逐點(diǎn)測(cè)量，記錄讀數(shù)。平面度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）B、水平儀和橋板將被測(cè)表面調(diào)水平，用水平儀按一定的布點(diǎn)和方向304、圓度誤差值的評(píng)定與檢測(cè)圓度誤差指包容同一正截面實(shí)際輪廓且半徑差為最小的兩同心圓的距離fm。一、圓度誤差定義：4、圓度誤差值的評(píng)定與檢測(cè)圓度誤差指包容同一正截面實(shí)際輪廓且31最大內(nèi)切圓法：以?xún)?nèi)切于實(shí)際輪廓，且半徑為最大的內(nèi)切圓圓心為理想圓的圓心。最小包容區(qū)域法：理想圓位置符合最小條件。判別準(zhǔn)則：由兩同心圓包容實(shí)際輪廓時(shí)，至少有四個(gè)實(shí)測(cè)點(diǎn)內(nèi)外相間的在兩個(gè)圓周上。只適用于內(nèi)圓

最大內(nèi)切圓法：以?xún)?nèi)切于實(shí)際輪廓，且半徑為最大的內(nèi)切圓圓心為理32最小外接圓法：以包容實(shí)際輪廓且半徑為最小的外接圓圓心為理想圓的圓心。最小二乘圓法：以實(shí)際輪廓上各點(diǎn)至圓周距離的平方和為最小的圓的圓心為理想圓的圓心。圓度誤差的評(píng)定結(jié)果以最小包容區(qū)域法最小，最小二乘法稍大，其他兩種更大。只適用于外圓。

最小外接圓法：以包容實(shí)際輪廓且半徑為最小的外接圓圓心為理想圓33（1）最小區(qū)域圓法回轉(zhuǎn)中心為o，最小區(qū)域圓的圓心為o’，實(shí)際測(cè)點(diǎn)到o的半徑為R，到o’的半徑為R’，根據(jù)三角幾何關(guān)系則設(shè)內(nèi)、外包容最小區(qū)域圓與實(shí)際輪廓的1,2,3,4點(diǎn)接觸，符合交叉準(zhǔn)則，則（1）最小區(qū)域圓法回轉(zhuǎn)中心為o，最小區(qū)域圓的圓心為o’，實(shí)際34（1）最小區(qū)域圓法Ri=ΔRi+R，R是給定起始測(cè)量圓的半徑，ΔRi，故有由于ΔRi和θi已知，故可求出最小區(qū)域圓的圓心坐標(biāo)(u1,u2)，則圓度誤差為或

（1）最小區(qū)域圓法Ri=ΔRi+R，R是給定起始測(cè)35（1）最小區(qū)域圓法在評(píng)定圓度誤差的過(guò)程中，先大致選符合交叉準(zhǔn)則的四點(diǎn)代入（3-8），計(jì)算出u1和u2，以（u1，u2）為圓心作過(guò)所選四點(diǎn)的兩包容圓，若實(shí)際輪廓全部在兩同心圓之間的區(qū)域，則計(jì)算出的圓度誤差是最小條件和圓度誤差；若實(shí)際輪廓超出兩同心圓之間的區(qū)域，則應(yīng)重新選點(diǎn)迭代，直到符合條件為止。（1）最小區(qū)域圓法在評(píng)定圓度誤差的過(guò)程中，先大致選符合交叉準(zhǔn)36圓度誤差的檢測(cè)方法有如下兩類(lèi)。一類(lèi)是在圓度儀上測(cè)量，如圖4-43（a）所示。圓度儀上回轉(zhuǎn)軸帶著傳感器轉(zhuǎn)動(dòng)，使傳感器上測(cè)量頭沿被測(cè)表面回轉(zhuǎn)一圈，測(cè)量頭的徑向位移由傳感器轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)放大器放大，推動(dòng)記錄筆在圓盤(pán)紙上畫(huà)出相應(yīng)的位移，得到所測(cè)截面的輪廓圖，如圖4-43（b）所示。這是以精密回轉(zhuǎn)軸的回轉(zhuǎn)軌跡模擬理想圓，與實(shí)際圓進(jìn)行比較的方法。用一塊刻有許多等距同心圓的透明板［如圖4-43（c）所示］，置于記錄紙下，與測(cè)得的輪廓圓相比較，找到緊包容輪廓圓，而半徑差又為最小的兩同心圓，如圖4-43（d）所示，其間距就是被測(cè)圓的圓度誤差，如圖4-43（e）所示。3．圓度誤差的檢測(cè)3．圓度誤差的檢測(cè)37圖4-43另一類(lèi)是將被測(cè)零件放在支承上，用指示器來(lái)測(cè)量實(shí)際圓的各點(diǎn)對(duì)固定點(diǎn)變化量，如圖4-44所示。被測(cè)零件軸線應(yīng)垂直于測(cè)量截面，同時(shí)固定軸向位置。在被測(cè)零件回轉(zhuǎn)一周的過(guò)程中，指示器讀數(shù)的最大差值之半數(shù)作為單個(gè)截面的圓度誤差。按上述方法測(cè)量若干個(gè)截面，取其中最大的誤差值作為該零件的圓度誤差。圖4-43另一類(lèi)是將被測(cè)零件放在支承上，用指示器來(lái)測(cè)量實(shí)際圓38圖4-44兩點(diǎn)法測(cè)量圓度誤差圖4-44兩點(diǎn)法測(cè)量圓度誤差39形位誤差評(píng)定及檢測(cè)形位誤差評(píng)定及檢測(cè)403.7.1形狀誤差評(píng)定及檢測(cè)1.最小條件的概念1、形狀誤差被測(cè)實(shí)際要素對(duì)其理想要素的變動(dòng)量。該理想要素的位置應(yīng)符合最小條件。何謂最小條件？為什么要引入最小條件？h1h2h32、最小條件被測(cè)實(shí)際要素相對(duì)于理想要素的最大變動(dòng)量為最小。h1>h2>h3，h3為最小。h3值則為實(shí)際直線的誤差值。3.7.1形狀誤差評(píng)定及檢測(cè)1.最小條件的概念1、形狀誤差41評(píng)定形狀誤差時(shí)，形狀誤差數(shù)值的大小可用最小包容區(qū)域的寬度或直徑表示。最小包容區(qū)指包容被測(cè)實(shí)際要素時(shí)，具有最小寬度f(wàn)或直徑φf(shuō)。按照最小區(qū)域法評(píng)定的形狀誤差值是唯一的、最小的，可以最大限度地保證合格件通過(guò)。最小條件（續(xù)）評(píng)定形狀誤差時(shí)，形狀誤差數(shù)值的大小可用最小包容區(qū)域的寬度或直42實(shí)際測(cè)量中，并非必須按最小條件評(píng)定形狀誤差。國(guó)際規(guī)定：在滿足零件功能要求的前提下，允許采用其他方法來(lái)評(píng)定形狀誤差，若發(fā)現(xiàn)誤差評(píng)定爭(zhēng)議，有無(wú)特殊說(shuō)明時(shí)，則應(yīng)按照最小包容區(qū)域法作為仲裁的依據(jù)。按照最小條件的要求，用最小包容區(qū)域來(lái)評(píng)定形狀誤差具有唯一性和準(zhǔn)確性。最小條件（續(xù)）實(shí)際測(cè)量中，并非必須按最小條件評(píng)定形狀誤差。最小條件（續(xù)）432.直線度誤差的評(píng)定與檢測(cè)首尾連線法（兩端點(diǎn)連線法）作圖法/計(jì)算最小二乘法以最小二乘直線作為評(píng)定的理想直線，求出實(shí)際直線（誤差直線）對(duì)該直線的最大變動(dòng)差值，從而得到直線度誤差。則誤差曲線相對(duì)該理想直線的最高點(diǎn)和最低點(diǎn)到該理想直線的縱坐標(biāo)距離之和即為被測(cè)直線度誤差值f。f=dmax+dmin

2.直線度誤差的評(píng)定與檢測(cè)44誤差各點(diǎn)與最小二乘直線對(duì)應(yīng)各點(diǎn)之差為vi，應(yīng)使誤差各點(diǎn)與最小二乘直線對(duì)應(yīng)各點(diǎn)之差為vi，應(yīng)使45形位誤差評(píng)定及檢測(cè)課件46最小包容區(qū)域法（1）誤差曲線全部位于兩平行直線之間（2）兩平行直線與誤差曲線至少有高低高或低高低相間的三個(gè)極點(diǎn)接觸。其評(píng)定結(jié)果小于或等于其它兩種評(píng)定方法。f=dmax+dmin最小包容區(qū)域法47直線度誤差的檢測(cè)GB11336-1989光隙法：適合于小零件節(jié)距法：適合于一般零件或較大零件設(shè)備：平尺（或刀口尺），厚薄規(guī)（塞尺）。1、光隙法將刀口尺與被測(cè)素線直接接觸，并使兩者之間的最大間隙為最小。誤差的大小根據(jù)光隙確定，當(dāng)光隙較小時(shí)，可按標(biāo)準(zhǔn)光隙估讀，蘭光：f=0.8μm，紅光：f=1.5μm,白光：f=2.5μm。當(dāng)光隙大時(shí)，用塞尺測(cè)量。光隙法節(jié)距法量規(guī)檢驗(yàn)法（一）常用的測(cè)量方法直線度誤差的檢測(cè)GB11336-1989光隙法：適合于482、節(jié)距法直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）設(shè)備：橋板和水平儀，自準(zhǔn)直儀和反射鏡，平板和測(cè)微表

將水平儀放在橋板上，先調(diào)整被測(cè)零件，使被測(cè)要素大致處于水平位置。水平儀按節(jié)距l(xiāng)沿被測(cè)素線移動(dòng)，同時(shí)記錄水平儀讀數(shù)；根據(jù)記錄的讀數(shù)用計(jì)算法（或圖解法）按最小條件（或兩端點(diǎn)邊線法）計(jì)算誤差值。按上述方法測(cè)量若干條素線，取其中最大的誤差值作為該被測(cè)零件的直線度誤差。A、水平儀和橋板2、節(jié)距法直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）設(shè)備：橋板和水平49B、自準(zhǔn)直儀和反射鏡平面反射鏡調(diào)節(jié)手輪物鏡反射鏡目鏡測(cè)微鼓輪光源濾光片十字線分劃板立方棱鏡固定分劃板可動(dòng)分劃板十字線分劃板物鏡水平調(diào)整板平面反射鏡橋板被測(cè)直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）B、自準(zhǔn)直儀和反射鏡平面反射鏡調(diào)節(jié)手輪物鏡反射鏡目鏡測(cè)微鼓輪50C、平板和測(cè)微表直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）φ100-0.030.010將被測(cè)零件放置在平板上，并使其緊靠直角座。在被測(cè)素線的全長(zhǎng)范圍內(nèi)沿被測(cè)要素按一定節(jié)距移動(dòng)表架進(jìn)行測(cè)量。C、平板和測(cè)微表直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）φ100-513、綜合量規(guī)綜合量規(guī)測(cè)的直徑等于被測(cè)零件的實(shí)效尺寸，綜合量規(guī)則必須通過(guò)被測(cè)零件。直線度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）3、綜合量規(guī)綜合量規(guī)測(cè)的直徑等于被測(cè)零件的實(shí)效尺寸，綜合量規(guī)52平面度誤差的檢測(cè)評(píng)定方法有：最小包容區(qū)域法、最小二乘法、對(duì)角線平面法和三遠(yuǎn)點(diǎn)平面法。1、三遠(yuǎn)點(diǎn)平面法以三遠(yuǎn)點(diǎn)平面STP作為評(píng)定基面的方法。fTP=dmax-dmindmax、dmin是測(cè)得點(diǎn)相對(duì)三遠(yuǎn)點(diǎn)平面的最大、最小偏離值。di在平面上方取正，下方取負(fù)。0-30-2-300-8三遠(yuǎn)點(diǎn)平面（一）評(píng)定方法平面度誤差的檢測(cè)評(píng)定方法有：最小包容區(qū)域法、最小二乘法、對(duì)角532、對(duì)角線平面法以對(duì)角線平面SDL作為評(píng)定基面的方法。fDL=dmax-dmin-8+3-40-6-5-4-2-8對(duì)角線平面法平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）以通過(guò)實(shí)際被測(cè)平面一條對(duì)角線的兩端點(diǎn)且與另一條對(duì)角線的兩端點(diǎn)連線平行的平面作為理想評(píng)定基準(zhǔn)面，作兩個(gè)包容實(shí)際平面且平行于理想評(píng)定基準(zhǔn)面的平面，則此兩平面間的距離即為平面度誤差。2、對(duì)角線平面法以對(duì)角線平面SDL作為評(píng)定基面的方法。-8543、最小二乘法以實(shí)際平面上各點(diǎn)到該平面的距離平方和為最小的理想平面作為評(píng)定基面。設(shè)其方程為：z=α+βx+γyfLS=dmax-dmin平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）3、最小二乘法以實(shí)際平面上各點(diǎn)到該平面的距離平方和為最小的理55實(shí)際被測(cè)平面相對(duì)于評(píng)定基準(zhǔn)面的高度坐標(biāo)值Vij=f(xiyj)-(α+βxi+γyj)=zij-(α+βxi+γyj)

符合最小二乘平面的α，β，γ應(yīng)使由可得：實(shí)際被測(cè)平面相對(duì)于評(píng)定基準(zhǔn)面的高度坐標(biāo)值Vij=f(xiyj56形位誤差評(píng)定及檢測(cè)課件574、最小包容區(qū)域法以最小區(qū)域面SMZ作為評(píng)定基面的方法。fMZ=dmax-dmindmax、dmin是測(cè)得點(diǎn)相對(duì)最小區(qū)域面的最大、最小偏離值。di在平面上方取正，下方取負(fù)。平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）4、最小包容區(qū)域法以最小區(qū)域面SMZ作為評(píng)定基面的方法。平面58最小包容區(qū)域法基面旋轉(zhuǎn)f評(píng)定基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方向如何判斷被測(cè)表面的兩基準(zhǔn)方向是否一致?平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）最小包容區(qū)域法基面旋轉(zhuǎn)f評(píng)定基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方向測(cè)量基準(zhǔn)方594.2最小包容區(qū)域判別法0-9-7-16-210-50-13三角形準(zhǔn)則平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）被測(cè)實(shí)際平面與兩平行理想平面的接觸點(diǎn)，投影在一個(gè)面上呈三角形，且三高夾一低或三低夾一高。4.2最小包容區(qū)域判別法0-9-7604.2最小包容區(qū)域判別法-4-20-8-6-50-3-8交叉準(zhǔn)則平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）被測(cè)實(shí)際平面與兩平行理想平面的接觸點(diǎn)，投影在一個(gè)面上呈兩線段交叉形。4.2最小包容區(qū)域判別法-4-20614.2最小包容區(qū)域判別法直線準(zhǔn)則0-80-3-15-20-7-5平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）被測(cè)實(shí)際平面與兩平行理想平面的接觸點(diǎn)，投影在一個(gè)面上呈一直線形，且兩高一低或兩低一高。4.2最小包容區(qū)域判別法直線準(zhǔn)則0-8624.3最小區(qū)域法的旋轉(zhuǎn)變換步驟（1）根據(jù)測(cè)量得點(diǎn)坐標(biāo)值，判別被測(cè)面可能符合的判別準(zhǔn)則，并將其中兩個(gè)可能的高（或低）極點(diǎn)旋轉(zhuǎn)變換成等值，同時(shí)變換其余各點(diǎn)的坐標(biāo)值。（2）若可能符合三角形準(zhǔn)則，則以平行于上述等值點(diǎn)的線為軸，將另一個(gè)高（或低）點(diǎn)旋轉(zhuǎn)變換成等值，同時(shí)變換其余各點(diǎn)的坐標(biāo)值。（3）若可能符合交叉準(zhǔn)則，則以平行于上述等值點(diǎn)連線的線為軸，將軸兩側(cè)的低（或高）點(diǎn)旋轉(zhuǎn)變換成等值，同時(shí)變換其余各點(diǎn)的坐標(biāo)值。（4）旋轉(zhuǎn)變換后符合判別準(zhǔn)則之一，則平面度誤差值f=Zmax-Zmin平面度誤差的檢測(cè)——評(píng)定方法（續(xù)）Z11Z12Z13Z21Z22Z23Z31Z32Z334.3最小區(qū)域法的旋轉(zhuǎn)變換步驟（1）根據(jù)測(cè)量得點(diǎn)坐標(biāo)值，判63例1、按最小區(qū)域法評(píng)定平面度誤差值:f=Zmax-Zmin=70-(-30)=100μm040-10-3070-1510-50-20040-10-3070-1510-50-20-20-20202000-2020-30-3070-1530-300根據(jù)測(cè)得點(diǎn)坐標(biāo)值，判斷被測(cè)面可能符合三角形準(zhǔn)則。將其中兩可能的低極點(diǎn)Z21=-30，Z32=-50旋轉(zhuǎn)變換成等值-30，并同時(shí)變換其余各點(diǎn)。平面度誤差的檢測(cè)——數(shù)據(jù)處理（續(xù)）例1、按最小區(qū)域法評(píng)定平面度誤差值:f=Zmax-Zmin=64例2、按最小區(qū)域法評(píng)定根據(jù)測(cè)得點(diǎn)坐標(biāo)值，判斷被測(cè)面可能符合交叉準(zhǔn)則。將其中兩可能的低極點(diǎn)Z21=20，Z32=11旋轉(zhuǎn)變換成等值20，并同時(shí)變換其余各點(diǎn)。+2-4-14+20+6-80+11+2-9-99900-7-13-23+20+6-8+9+20+11+24+16+80-8+1+3+1+20+14+8+1+20+19f=20-1=19μm例2、按最小區(qū)域法評(píng)定根據(jù)測(cè)得點(diǎn)坐標(biāo)值，判斷被測(cè)面可65例3：

讀數(shù)如圖，平面度公差t=0.1mm，試評(píng)定平面度誤差并判斷其合格性。首先用極值法評(píng)定其平面度誤差f’f’=70-(-40)=110μmf’>t，不能判斷平面是否合格。050+10-3070+5+10-400-10400-3070+5+20-30+10-30-20-100+10050+10-3070+5+10-400-10-10+10+1000-20+20-30-30+60-15+30-300平面度誤差：f=60-(-30)=90μm，f<t，故該平面是合格的。用最小區(qū)域法評(píng)定：平面度誤差的檢測(cè)——數(shù)據(jù)處理（續(xù)）例3：

讀數(shù)如圖，平面度公差t=0.1mm，試評(píng)定平面度誤差66平面度誤差的檢測(cè)GB11337-1989平晶法：適合于高精度的小平面測(cè)微法：適合于一般零件或較大零件將平晶帖在被測(cè)表面上，觀測(cè)它們之間的干涉條紋。平面度誤差為：

封閉的:干涉條紋數(shù)×光波波長(zhǎng)之半；不封閉的:條紋的彎曲度與相鄰兩條紋間距之比再乘以光波波長(zhǎng)之半。1、平晶法（二）常用的測(cè)量方法平面度誤差的檢測(cè)GB11337-1989平晶法：適合于高精度672、測(cè)微法A、平板，帶指示器的測(cè)量架，固定和可調(diào)支承。指示表一般用于測(cè)量小型平面。將被測(cè)零件支承在平板上，調(diào)整被測(cè)表面最遠(yuǎn)三點(diǎn)，使其與平板等高。按一定的布點(diǎn)測(cè)量被測(cè)表面，同時(shí)記錄讀數(shù)。平面度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）2、測(cè)微法A、平板，帶指示器的測(cè)量架，固定和可調(diào)支承。指示表68B、水平儀和橋板將被測(cè)表面調(diào)水平，用水平儀按一定的布點(diǎn)和方向逐點(diǎn)地測(cè)量被測(cè)表面，同時(shí)記錄讀數(shù)，并換算成線值。

C、自準(zhǔn)直儀和反射鏡將反射鏡放在被測(cè)表面上，調(diào)整自準(zhǔn)直儀與被測(cè)表面平行，按一定的布點(diǎn)和方向逐點(diǎn)測(cè)量，記錄讀數(shù)。平面度誤差的檢測(cè)——測(cè)量方法（續(xù)）B、水平儀和橋板將被測(cè)表面調(diào)水平，用水平儀按一定的布點(diǎn)和方向694、圓度誤差值的評(píng)定與檢測(cè)圓度誤差指包容同一正截面實(shí)際輪廓且半徑差為