電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件

電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展1電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展樊勖昌2010.03.31電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展2純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整二.純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展面臨的問(wèn)題與挑戰(zhàn)純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整3純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整純水水質(zhì)變化的原因-電子產(chǎn)品加工精度越來(lái)越高集成電路晶圓1588mm/塊45nm晶圓片放大集成電路集成度和線寬的發(fā)展年代19971999200320062009集成度1M4M16M64M|256M1G4G16G64G(bitDRAM)12080.50.350.250.180.130.10.07純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整4純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整純水水量變化的原因-電子產(chǎn)品加工尺寸越來(lái)越大集成電路晶圓尺寸的發(fā)展寸{0英計(jì)一(英計(jì)12英寸·液晶顯示器件(TFT-LCD)的發(fā)展世代第1代第2代第3代第4代第5代第6代第7代|第8代尺寸1870X400X470X650X880X1250X1850X2200X2460純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整5純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整電子和半導(dǎo)體工業(yè)用純水水質(zhì)水質(zhì)等級(jí)E-1E-1.2線寬(m)5.0-1.00.18009電阻率Mcm,25℃在線)18.2Toc(pg幾L)(<10ppb在線)溶解氧(μg/L)(在線)微粒(pcsL)(在線)0501ym10000.1-02pm020.5m10<100細(xì)10m樣(crU10mu1005010總硅(pgL)溶解硅(pg兒L3陰離子(μg/L)(c測(cè)定)陽(yáng)離子(pgL)(cPMs測(cè)定)0.005-0001摘自美國(guó)ASTMD5127-07teratthepointofdistributionintheElectronicsandSemiconductorIndus純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整6純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整電子行業(yè)純水用水量項(xiàng)目用水量(m3/h)電子管制造半導(dǎo)體管制造集成電路晶圓6英寸30608英寸10015012英寸TFT-LCD顯示面板G45200300G5500700G6G8>1000純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整7純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整水質(zhì)要求趨于“理想純水”,不但去除電解質(zhì)又要去除非電解質(zhì)水質(zhì)項(xiàng)目電阻率陰陽(yáng)離子TOCDO微粒細(xì)菌二氧化硅電解質(zhì)「弱、非電解質(zhì)水質(zhì)指標(biāo)隨著電子器件的徽型化仍在不斷提高系統(tǒng)必須保證布置分散的機(jī)臺(tái)使用點(diǎn)的水量、水質(zhì)、水溫和水壓純水主要用于生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)品的清洗純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整8純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展1.處理技術(shù):從單純離子交換到以膜分離技術(shù)為核心的多種技術(shù)協(xié)同發(fā)展2.純水制造過(guò)程:從單純脫鹽到具有預(yù)處理、脫鹽和拋光三個(gè)處理階段3.電子工業(yè)純水系統(tǒng):從單純的純水制備到純水制備、純水輸送與分配、純水回收三個(gè)部分組成完整的現(xiàn)代電子工業(yè)出水系統(tǒng)純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展9⊥NL二.純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展1.處理技術(shù):以膜分離技術(shù)為核心的多種技術(shù)協(xié)同發(fā)展電子產(chǎn)品/純水水質(zhì)/處理技術(shù)的變遷服務(wù)的電子產(chǎn)品主要水質(zhì)項(xiàng)目處理技術(shù)特點(diǎn)電子管電阻率(>05M.cm)復(fù)床離子交換、鼓風(fēng)脫氣半導(dǎo)體電阻率(5~10MQ.cm)復(fù)床離子交換、鼓風(fēng)脫氣混合床離子交換、電滲析集成電路電阻率(>17MQ.cm)|復(fù)床、鼓風(fēng)脫氣、混合床、微粒、細(xì)菌滲透(Ro)、紫外線殺菌(254-UV)、拋光混床(MBP)、微孔過(guò)濾(MF)超大規(guī)模集成電電阻率(=18MQ.cm)|復(fù)床、鼓風(fēng)脫氣、混合床、反滲透(Ro)微粒、細(xì)菌微孔過(guò)濾(MF)、、電子級(jí)樹(shù)脂拋光混床(高世代TFTToc、Do、SioMBP)、有機(jī)物分解器(185-UV)、終端超濾(UF)、膜脫氣(MDG)、電脫鹽(ED|)⊥NL10L純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展1.處理技術(shù):以膜分離技術(shù)為核心的多種技術(shù)協(xié)同發(fā)展主要應(yīng)用的膜技術(shù)膜技術(shù)名稱作用或使用部位反滲透RO脫鹽及去除非電解質(zhì)和弱電解質(zhì)超濾UF預(yù)處理UF最終過(guò)濾UF微濾預(yù)處理MF終端過(guò)濾MF膜脫氣MDG去除溶解氧Do電脫鹽代替初級(jí)混床L11電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件12電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件13電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件14電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件15電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件16電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件17電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件18電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件19電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件20電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件21電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件22電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件23電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件24電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件25電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件26電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件27電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件28電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件29電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件30電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件31電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件32電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件3351、天下之事常成于困約，而敗于奢靡?！懹?/p>

52、生命不等于是呼吸，生命是活動(dòng)?！R梭

53、偉大的事業(yè)，需要決心，能力，組織和責(zé)任感?！撞飞?/p>

54、唯書(shū)籍不朽?！獑烫?/p>

55、為中華之崛起而讀書(shū)?！芏鱽?lái)謝謝！51、天下之事常成于困約，而敗于奢靡?！懹?/p>

52、34電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展35電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展樊勖昌2010.03.31電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展36純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整二.純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展面臨的問(wèn)題與挑戰(zhàn)純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整37純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整純水水質(zhì)變化的原因-電子產(chǎn)品加工精度越來(lái)越高集成電路晶圓1588mm/塊45nm晶圓片放大集成電路集成度和線寬的發(fā)展年代19971999200320062009集成度1M4M16M64M|256M1G4G16G64G(bitDRAM)12080.50.350.250.180.130.10.07純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整38純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整純水水量變化的原因-電子產(chǎn)品加工尺寸越來(lái)越大集成電路晶圓尺寸的發(fā)展寸{0英計(jì)一(英計(jì)12英寸·液晶顯示器件(TFT-LCD)的發(fā)展世代第1代第2代第3代第4代第5代第6代第7代|第8代尺寸1870X400X470X650X880X1250X1850X2200X2460純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整39純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整電子和半導(dǎo)體工業(yè)用純水水質(zhì)水質(zhì)等級(jí)E-1E-1.2線寬(m)5.0-1.00.18009電阻率Mcm,25℃在線)18.2Toc(pg幾L)(<10ppb在線)溶解氧(μg/L)(在線)微粒(pcsL)(在線)0501ym10000.1-02pm020.5m10<100細(xì)10m樣(crU10mu1005010總硅(pgL)溶解硅(pg兒L3陰離子(μg/L)(c測(cè)定)陽(yáng)離子(pgL)(cPMs測(cè)定)0.005-0001摘自美國(guó)ASTMD5127-07teratthepointofdistributionintheElectronicsandSemiconductorIndus純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整40純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整電子行業(yè)純水用水量項(xiàng)目用水量(m3/h)電子管制造半導(dǎo)體管制造集成電路晶圓6英寸30608英寸10015012英寸TFT-LCD顯示面板G45200300G5500700G6G8>1000純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整41純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整水質(zhì)要求趨于“理想純水”,不但去除電解質(zhì)又要去除非電解質(zhì)水質(zhì)項(xiàng)目電阻率陰陽(yáng)離子TOCDO微粒細(xì)菌二氧化硅電解質(zhì)「弱、非電解質(zhì)水質(zhì)指標(biāo)隨著電子器件的徽型化仍在不斷提高系統(tǒng)必須保證布置分散的機(jī)臺(tái)使用點(diǎn)的水量、水質(zhì)、水溫和水壓純水主要用于生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)品的清洗純水水質(zhì)和水量需求的不斷調(diào)整42純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展1.處理技術(shù):從單純離子交換到以膜分離技術(shù)為核心的多種技術(shù)協(xié)同發(fā)展2.純水制造過(guò)程:從單純脫鹽到具有預(yù)處理、脫鹽和拋光三個(gè)處理階段3.電子工業(yè)純水系統(tǒng):從單純的純水制備到純水制備、純水輸送與分配、純水回收三個(gè)部分組成完整的現(xiàn)代電子工業(yè)出水系統(tǒng)純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展43⊥NL二.純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展1.處理技術(shù):以膜分離技術(shù)為核心的多種技術(shù)協(xié)同發(fā)展電子產(chǎn)品/純水水質(zhì)/處理技術(shù)的變遷服務(wù)的電子產(chǎn)品主要水質(zhì)項(xiàng)目處理技術(shù)特點(diǎn)電子管電阻率(>05M.cm)復(fù)床離子交換、鼓風(fēng)脫氣半導(dǎo)體電阻率(5~10MQ.cm)復(fù)床離子交換、鼓風(fēng)脫氣混合床離子交換、電滲析集成電路電阻率(>17MQ.cm)|復(fù)床、鼓風(fēng)脫氣、混合床、微粒、細(xì)菌滲透(Ro)、紫外線殺菌(254-UV)、拋光混床(MBP)、微孔過(guò)濾(MF)超大規(guī)模集成電電阻率(=18MQ.cm)|復(fù)床、鼓風(fēng)脫氣、混合床、反滲透(Ro)微粒、細(xì)菌微孔過(guò)濾(MF)、、電子級(jí)樹(shù)脂拋光混床(高世代TFTToc、Do、SioMBP)、有機(jī)物分解器(185-UV)、終端超濾(UF)、膜脫氣(MDG)、電脫鹽(ED|)⊥NL44L純水系統(tǒng)的不斷發(fā)展1.處理技術(shù):以膜分離技術(shù)為核心的多種技術(shù)協(xié)同發(fā)展主要應(yīng)用的膜技術(shù)膜技術(shù)名稱作用或使用部位反滲透RO脫鹽及去除非電解質(zhì)和弱電解質(zhì)超濾UF預(yù)處理UF最終過(guò)濾UF微濾預(yù)處理MF終端過(guò)濾MF膜脫氣MDG去除溶解氧Do電脫鹽代替初級(jí)混床L45電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件46電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件47電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件48電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件49電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件50電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件51電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件52電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件53電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件54電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件55電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件56電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件57電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件58電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件59電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件60電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件61電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件62電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課件63電子工業(yè)純水系統(tǒng)的發(fā)展課