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文檔簡介

清洗:槽內(nèi)換液流程,包括開始通知哪些部門,準(zhǔn)確的聯(lián)系方式,由誰負責(zé),排液,加液時間到正常開始生產(chǎn)整個過程等。機器槽內(nèi)換液必須通知水站,告知自己所在部門、線別及要換排哪幾種液,由工序長負責(zé)排液,加液由工藝完成,液加完以后,試投一片,測試減薄量的大小,能否正常生產(chǎn)。每個槽內(nèi)換液的周期,和時間點。堿槽、酸槽24小時一次,3、5、7水槽12小時一次,制絨槽10天一次。3,液用完后如何確保連續(xù)生產(chǎn),員工如何知道液用完。液用完后立即進行更換,員工在生產(chǎn)當(dāng)中會根據(jù)報警信息的內(nèi)容,告之工序長。物料員關(guān)于目前化學(xué)品如何領(lǐng)用,區(qū)分,管理。物料員是根據(jù)少量多次,單一品種,雙人領(lǐng)用和專用領(lǐng)料車并佩戴防護用品,按酸堿和易燃易爆化學(xué)品不能儲藏在同一貯藏室的原則實行分開和專人管理。三樓處集中換液的流程,每種化學(xué)品一般更換的周期(每桶)。要點:兩人.一人換液,一人監(jiān)督.換液人員穿戴好防護用具:雙層乳膠手套,戴好防毒面具,穿好防酸服,穿好防護靴.設(shè)備報警后確定集中供液需要更換的化學(xué)品桶。將集中供液顯示屏操界面中需要更換的化學(xué)品桶顯示狀況由“A線啟用/B線啟用”切換為“A線停止/B線停止”關(guān)閉進液管和回流管閥門。拆卸回流閥下端的回流管,(用扳手將空桶回流口擰緊)將回流管取下,放置于指定區(qū)域。將進液管從空桶進液口處進行拆卸,使其與空桶脫離.將空桶拉出至指定區(qū)域放好.同時將該液的滿桶運送上來,使其進液口,回液口與進液管,回液管閥門位置上下相對應(yīng).打開滿桶的回液口,將回液管下端插入.同時將其上端與回液閥接口擰緊.打開滿桶的進液口,將進液管接上,擰緊.確認各接口是否擰緊.(進液口;回液口;進液管;回液管;閥門).將進液閥完全打開,將回液閥打開與水平方向呈30~~45度角即可。將集中供液顯示屏操界面的顯示狀況由“A線停止/B線停止”切換到“A線啟用/B線啟用”觀察集中供液系統(tǒng),確保無異常,即可恢復(fù)生產(chǎn)。確認化學(xué)品,放置化學(xué)品,將滿桶回流蓋松開,接入回流及抽液管,檢查密封圈,接抽液管,檢查各接口,關(guān)閉工藝窗。換液完復(fù)位液位,確認集中供液機工作,放置防護服,并記錄讓領(lǐng)班確認并簽字。HF(一天)HNO3(兩天)NAOH(一天)HCL(兩天)上下道碎片如何區(qū)分,區(qū)分的作用。清洗上道和下道的碎片是分開記錄,分開包的。上道的碎片是原裝碎、隱、裂缺角,崩邊等它是制絨前碎片。下道碎片是經(jīng)過制絨后的碎片,一般是機碎,隱裂或人為造成的。它們區(qū)分的作用是:便于回收。設(shè)備故障達到什么程度需要向上匯報。因設(shè)備故障3分鐘內(nèi)不能處理,立即通知設(shè)備和領(lǐng)班。達到半小時后要通知當(dāng)班主管,超過1個時間通知區(qū)域主管,超過2小時區(qū)域主管通知高級主管。然后由高級主管通知經(jīng)理。由設(shè)備開設(shè)備維修單。如果不合格片退庫,手續(xù)如何辦理?如果因原材料硅片不合格,異常缺陷,首先保護好現(xiàn)場,然后找巡檢過來拍照取證,把材料交給領(lǐng)班,由領(lǐng)班退庫,由領(lǐng)班和巡檢交涉退庫事項。清洗間每條線每個班要求的產(chǎn)量,在制品要求的上下限,工藝允許在制品的等待時間是多長。清洗間每條線每個班的產(chǎn)量現(xiàn)在是13500PCS,在制品的上下限,是4張流程卡,但如有特殊情況,根據(jù)情況來逐量增加,工藝允許在制品的等待時間是越短越好。10,減薄量的控制。工藝要求:0.3~0.4g通過速度V來控制減薄量,公式:AM1*V1=AM2*V2通過添加HNO3/HF來提高減薄量(比例:0.5L/1L),每添加0.5LHNO3減薄量提升0.02G通過控制藥水自動調(diào)加速率來改變減薄量大小,例如500pcs/0.5L改成450pcs/0.5L,則減薄量增加0.02G11,制絨后絨面觀測比較步驟:取較大碎硅片,過清洗線四次,并用顯微鏡觀察絨面狀況

結(jié)果:未過清洗線的硅片表面無絨面,隨著清洗次數(shù)增加絨面越大。擴散:1,換源流程?生產(chǎn)過程中要經(jīng)常觀看源瓶狀態(tài),待源瓶內(nèi)液位低于2CM時即需換源,先需電話通知巡檢人員到場,換源人員要穿防酸服,防酸褲,戴防毒面具及汗布手套和乳膠手套,將氣源柜內(nèi)快使用完的源瓶拆卸下來,拆卸時注意先關(guān)閉進氣閥門后關(guān)閉出氣閥門,然后將源瓶放至擴散間源瓶貯存室并登記。接下來便可取新源瓶,先檢查外觀是否正常,然后依次擰開出氣閥門和進氣閥門,觀看瓶內(nèi)液柱是否有異常,待巡檢人員檢查完畢后再將閥門擰緊,然后用推車推至車間進行安裝,先將源瓶閥門再擰開,然后先接出氣管再接進氣管,完成后即進行鼓泡實驗,將擴散小氮流量打到500,鼓泡10秒鐘,再將流量打到1000,鼓泡10秒鐘,一切正常后再將流量恢復(fù)為0,然后將源瓶放置到位,再將換源登記填寫好,換源完成。2,如何確保源的先進先出?擴散間源瓶貯存室內(nèi)的源瓶分兩個位置放置,后入部分和先入部分,取源瓶時應(yīng)從先入部分取,待先入部分全部使用完后,將后入部分標(biāo)識牌調(diào)換成先入部分,這樣便可確保源瓶的先進先出。3,換源需要做哪些安全防護措施?穿防酸服,防酸褲,戴防毒面具,雙手要戴汗布手套和乳膠手套,必要時還需穿防酸筒靴。4,什么“五雙”制度?雙人使用,雙人保管,雙人維護,雙把鎖,雙本賬。開管式擴散爐與閉管式擴散爐的不同?優(yōu)點?缺點?開管式擴散爐一般是指以前老廠使用的老式設(shè)備,其爐門較簡陋,沒有安裝石棉保溫隔熱層,硅片放置在漿上后需在兩端都放置石英檔板。閉管式擴散爐即指現(xiàn)在三樓使用的新式設(shè)備,爐門處安裝有石棉保溫隔熱裝置,爐內(nèi)只需放置一個石英檔板。方塊電阻與溫度的關(guān)系?并且如何調(diào)整設(shè)備參數(shù)。方塊電阻值與溫度是成反比的關(guān)系,若方塊電阻偏低則說明爐內(nèi)溫度偏高,此時需將溫度調(diào)低,若方塊電阻偏高則說明爐內(nèi)溫度偏低,此時需將溫度調(diào)高。正常的方塊電阻值是43-48區(qū)間,調(diào)整溫度時一度溫度對應(yīng)一度電阻,最大調(diào)整幅度不宜超過5度。各溫區(qū)之間的溫度差極限值?爐內(nèi)溫區(qū)大體分為爐口,爐中,爐內(nèi)三個部分,在操作界面上又被細分為5個部分,其中溫區(qū)一和溫區(qū)二顯示的是爐口部分的數(shù)值,溫區(qū)三顯示的是爐中部分的數(shù)值,溫區(qū)四和溫區(qū)五顯示的是爐內(nèi)部分的數(shù)值,各大溫區(qū)間的溫度差極限值不宜超過30度,各小溫區(qū)不宜超過10度。什么是拉恒溫?先設(shè)定恒溫850度,待溫控器顯示與設(shè)定溫度一致時,便可根據(jù)爐尾熱電偶所在位置查看實際溫度,熱電偶與爐體對應(yīng)的位置分別為:爐口30CM,爐中70CM,爐內(nèi)110CM,當(dāng)熱電偶測得實際溫度低于850度時,則降PB數(shù)值,實際溫度就會開上來,當(dāng)熱電偶測得溫度高于850度時,則應(yīng)加PB數(shù)值,實際溫度就會降下來。洗管、洗舟的流程,配液比,以及維護的周期,由誰負責(zé)?洗管,洗舟的流程是,首先應(yīng)通知設(shè)備人員將石英管從擴散爐內(nèi)取出來放置在專用的推槽內(nèi),然后推運到洗管間內(nèi),再將清洗機內(nèi)殘留的雜質(zhì)和水份排干凈,關(guān)閉閥門后接著便往清洗機內(nèi)放水至20-30CM,然后便開始向機槽內(nèi)配HF,HCL,再將石英管放入液體中依操作說明進行清洗流程,有噴淋,鼓泡,轉(zhuǎn)洗三個過程,待流程完成后,將液排至另一邊槽內(nèi),然后再用水槍對石英管進行水洗,最后再用氣槍將石英管吹干,即可通知設(shè)備將石英管安裝回擴散爐。清洗石英管和STC槳的配液比是:HF(32L);HCL(8L)=4:1清洗石英舟的配比是:HF(16L);HCL(8L)=2:1石英管、STC槳及石英舟的維護由工藝人員負責(zé)。方塊電阻不均勻度的計算方式?測方塊電阻是在爐口、爐中、爐內(nèi)、三個位置各取兩片,測其中間部位的電阻值,取六片中電阻最大值減去最小電阻值,再除以最大電阻值加最小電阻值,即可得出其不均勻度。新式舟與舊式舟的區(qū)別?新式舟每舟可裝150PCS硅片,硅片是朝負斜方向放置的,舊式舟每舟可裝300PCS硅片,是垂直放置的。偏磷酸的產(chǎn)生?處理?偏磷酸是由于PCL3與硅片上殘留的水份及進出管時空氣中的水汽反應(yīng)生成的,現(xiàn)在每個爐管都裝有不銹鋼槽盛偏磷

酸,每班在下班前都會用酒精和碎布將其清理干凈。一旦發(fā)生POCL3泄露如何處理?A,先緊急疏散人員并隔離封鎖受到危害的區(qū)域,同時迅速通知安全部門;B,限制閑雜人員及未穿防護裝束人員接近;^進入危險區(qū)域觀察前,空氣呼吸器和個人防護裝束必須穿戴完整;D,污染區(qū)未完全清理前,限制人員接近,直至完全清理干凈為止。TCA2+1、4+1、8+1的區(qū)別?什么是TCA,是什么飽和?作用是什么?為什么不再繼續(xù)做TCA而只做飽和?TCA(C2H3CL3)三氯乙烷,是指用TCA進行清洗操作,清洗掉石英管內(nèi)的金屬雜質(zhì),飽和是指模擬一次擴散過程,使石英管內(nèi)充滿磷元素,這樣會使生產(chǎn)時硅片的擴散更充分更均勻。2+1是指先做兩個小時的TCA清洗,然后再做一個小時的飽和,依次類推:4+1和8+1。15,擴散的舟速擴散進管和出管的舟速是250M/H或300M/H。什么叫硅晶脫落?什么叫崩邊?中間裂紋?對角裂紋?十字裂紋?如何確認擴散前產(chǎn)生的裂紋還是擴散后產(chǎn)生的裂紋硅晶脫落是指在硅片表面四邊有硅晶體脫落,但沒有達到缺角的程度,崩邊是指在硅片的四邊有缺角且較嚴(yán)重,中間裂紋即指在硅片中間部位有裂紋,對角裂紋是指在硅片的四個角有裂紋產(chǎn)生,十字裂是指有裂紋交叉成十字形狀,多發(fā)生在單晶硅片上。擴前裂紋在裂紋處有擴散痕跡,而擴后裂紋則沒有。擴散間每條線每個班要求的產(chǎn)量,在制品要求的上下限,工藝允許在制品的等待時間是多長,另外,要求前清洗間保證的在制品數(shù)量是多少。每個班要求達到的產(chǎn)量在13000PCS,擴前在制品要求在8批2400PCS,擴后在制品要求在3000PCS,允許在制品等待時間不能超過2小時,清洗間應(yīng)保證在制品數(shù)量是3000PCS。18,方塊電阻及其大小方法。方塊電阻工藝范圍:45-50方塊電阻越小,表明攙雜濃度越高,所以只需要控制好反映速率便可很好的控制Si片的方塊電阻,方法如下:小N2流量越大,方塊電阻越小大N2流量小,可使?fàn)t口擴散不到,大N2流量過大,可以使單片方塊電阻不均勻度變大;干O2流量變大,增大方塊電阻;擴散溫度越高,方塊電阻越?。ìF(xiàn)場可以通過小范圍改變溫度來控制方塊電阻)??涛g:槽內(nèi)換液流程,包括開始通知哪些部門,準(zhǔn)確的聯(lián)系方式,由誰負責(zé),排液,加液時間到正常開始生產(chǎn)整個過程等。通知水站7520,設(shè)施8791,工藝排液,產(chǎn)線人員協(xié)助作業(yè),加液時間約為2小時,其中包括排液、酸洗、堿洗、清理碎片、降溫、試生產(chǎn)。每個槽內(nèi)換液的周期,和時間點。2、5、7號槽每周換液一次,3號槽每生產(chǎn)35萬PCS換液一次,工藝提前一天通知,線負責(zé)人排液并協(xié)助換液。夜班生產(chǎn)結(jié)束7:30分排、堿洗、酸洗,8:00后由白班工藝配槽。上下道碎片如何區(qū)分,區(qū)分的作用。流入本崗位的都記作崗位碎片,在上料處有流入不合格片跟蹤表做好詳細記錄,在月底時從本崗位報廢中扣去,算到上道工序報廢中,流入PECVD的,如果缺角現(xiàn)場確認箱內(nèi)有碎屑則判為去PSG的報廢,如果在盒內(nèi)未取出有發(fā)現(xiàn)裂紋或其它不合格的,判為去PSG的報廢。作用:清楚報廢的原因,便于解決問題,責(zé)任劃分,有效改進。什么是制程異常單、什么是工藝異常單,分別是用于哪里,開具的標(biāo)準(zhǔn)是什么,也就是在什么情況下開這兩種異常單,相關(guān)處理流程和相關(guān)人員。制程異常單:是在生產(chǎn)過程中,發(fā)現(xiàn)影響質(zhì)量的各方面問題,例如原材料問題,需要經(jīng)QC確認現(xiàn)場并開具的。工藝異常單:由于工藝問題影響產(chǎn)量,報廢或造成其它方面的影響,由工藝部門確認并開單的。處理涉及人員有:當(dāng)班巡檢,生產(chǎn)運轉(zhuǎn)主管,領(lǐng)班,工序長,QC等。什么原則下可以停線?必須通知誰?誰有這個權(quán)限?滿足下道工序,且產(chǎn)量完成后可以停線,通知領(lǐng)班和工序長確認。如發(fā)生重大事故(例碎片過多,換錯液)則必須停線,立即通知領(lǐng)班或主管。清洗間每條線每個班要求的產(chǎn)量,在制品要求的上下限,工藝允許在制品的等待時間是多長。要求產(chǎn)量13000PCS,工藝要求流入PECVD區(qū)的在制品存放時間不要超過30分鐘,保證后續(xù)的在制品數(shù)量為3000PCS,即10張單子。PECVD:1,批次與批次之間不滿舟如何?不滿舟會有什么結(jié)果?上一批不滿一舟用下一批次填滿,并分別記錄區(qū)分開來。不滿舟進行工藝,沒有硅片的舟片上會沉積SIN膜,石墨舟物理性質(zhì)下降,會產(chǎn)生紅片,色差片等。2,一區(qū)二區(qū)流程卡如何對接,數(shù)量如何確認?刻蝕通過傳送箱流入的合格品,當(dāng)場清點數(shù)量即可。石墨舟工藝要求的清洗周期、刻蝕周期?預(yù)處理的方式有幾種不同?預(yù)處理不合格返工片多如何處理?石墨舟運行120-150次需刻蝕,刻蝕滿6次需清洗預(yù)處理方式預(yù)處理方式:NEWBOATPRZ新舟插上硅片預(yù)處理AFTETCHPRZ舟刻蝕后沒插硅片預(yù)處理AFTETCHPRZ舟刻蝕后插硅片預(yù)處理預(yù)處理后返工片多,加工藝時間,若還不行,需進行拆洗??涛g、清洗、預(yù)處理的整個流程?當(dāng)石墨舟運行120-150次:滿6次刻蝕-拆洗-烘干-預(yù)處理不滿6次刻蝕-刻蝕-預(yù)處理色差片產(chǎn)生的幾種原因?清洗、刻蝕工序減薄量不穩(wěn)定石墨舟物理性質(zhì)下降(SIN沉積過多)鍍膜時間不同微波峰值不穩(wěn)定(設(shè)備原因)色斑批片產(chǎn)生的原因?硅片表面清洗不干凈擴散間偏磷酸滴漏清洗、刻蝕、風(fēng)刀沒吹干或堵塞檢驗標(biāo)準(zhǔn)?(色差、色斑片的判定標(biāo)準(zhǔn))以QC為準(zhǔn)每臺機的石墨舟配置標(biāo)準(zhǔn)?小車的配置是怎樣的?每臺機石墨舟標(biāo)準(zhǔn)配置7個,為正常輪轉(zhuǎn)生產(chǎn),小車配置4個。為什么會出現(xiàn)舟漿分離?石墨舟電極放反,SLS漿在爐管中較長時間未出,導(dǎo)致變形,檢查要到位,及時觀察。10,鍍膜的整個過程。工藝開始-充氮-進舟-漿降至低位-漿在低位退出-管內(nèi)抽真空并進行管內(nèi)壓力測試-通過高頻電源用NH3預(yù)清理和檢查-清洗管路-測漏-恒溫-高頻電源用NH3預(yù)清理-鍍膜-結(jié)束鍍膜-抽真空及測試壓力-清洗管路-將管內(nèi)剩余NH3、SH4抽走、防止與空氣接觸爆炸-充氮-漿在低位進入爐內(nèi)-SLS移至高位-退舟-結(jié)束工藝12,備用舟的管理。一條線總共20個舟,14個生產(chǎn),6個備用,備用舟不使用時應(yīng)保存在相應(yīng)的石墨舟柜內(nèi)。13,PECVD每條線每個班要求的產(chǎn)量,在制品要求的上下限,工藝允許在制品的等待時間是多長。另外要求刻蝕保證的在制品數(shù)量是多少。產(chǎn)量13500,留絲網(wǎng)在制品4000PCS左右,刻蝕流入在制品1800PCS左右。14,工藝重點參數(shù)膜厚:100nm折射率:2.0鍍膜的好壞,一般情況下是根據(jù)膜的顏色來判斷的。正常膜面為淡藍色,當(dāng)膜偏厚時顏色會發(fā)白,偏薄時顏色會發(fā)紅因PECVD制程只能通過調(diào)節(jié)時間來控制膜厚,所以膜面質(zhì)量的改善很大一部分需要從前站來改善。

絨面偏大時,膜的沉積速率變大,反之變小。鍍膜時間偏長,膜面發(fā)白,鍍膜時間偏短,膜面發(fā)紅。絲網(wǎng)印刷:1,漿料的管理?產(chǎn)線每天只領(lǐng)用一天的用量,由崗位專員根據(jù)產(chǎn)線的庫存提供領(lǐng)用量給物料員并開單,物料員負責(zé)領(lǐng)料交給崗位專員,崗位專員補齊現(xiàn)場本班的用量,然后將下一班的用量放在生產(chǎn)線存放區(qū)域,由陳普做賬2,目前使用的有哪幾種漿料,分別攪拌時間?目前使用的漿料有PV147銀漿(第三道),CN-334462銀漿(第一道),也有PV141銀漿,但不用。鋁漿R*8(第二道)(6080-15Q;6080-15L現(xiàn)不用)如果突然絲網(wǎng)做到來料加工的片子,漿料如何使用?銀漿攪拌24小時以上,鋁漿攪拌半小時以上,攪拌速度要求。各道印刷重量標(biāo)準(zhǔn)?第一道:0.12±0.02g(共18個背電極)第二道:1.5±0.12g第三道:0.2±0.02g每瓶2KG,都是攪拌一瓶用一瓶,其中第一道兩天使用三瓶半;第二道每個班使用20瓶左右,第三道每天使用3瓶左右。陳普第二天發(fā)兩次,上午9點一次,下午16:00一次。斷柵連柵的區(qū)別?斷柵不超過六根或其中任何一根不超過兩毫米都屬于A級片和連柵的區(qū)別不大。每個烘箱溫度?速度,時間。共有58只托盤,轉(zhuǎn)一圈的時間都在10分鐘左右,必須大于8分鐘。第一個烘箱的溫度分別為:100°C120°C140r160r第二個烘箱的溫度分別為:140C160C180C200C絲網(wǎng)印刷參數(shù)調(diào)整的允許范圍?絲網(wǎng)間距:-1200um~-1500um刮刀深度:-1300um~-1800um壓力:66-72N印刷速度:200-240Sec外加工不需要印刷STP時是如何實現(xiàn)的?封網(wǎng)漿的作用?如何去除封網(wǎng)漿。將網(wǎng)版上的STP用封網(wǎng)漿堵實,封網(wǎng)漿的作用是封有漏洞的網(wǎng)板,即補網(wǎng)版,在網(wǎng)版干燥后使用,去除封網(wǎng)漿用清水擦拭即可。松油醇的作用?為什么只在第三倒使用?松油醇用來擦拭網(wǎng)版,第三道正電極經(jīng)常斷線(斷線分兩種,一種是網(wǎng)版上有異物,另一種是網(wǎng)版被漿料堵住,有網(wǎng)版經(jīng)常堵網(wǎng),所以要使用松油醇,對漿料有很好的溶解作用),所以用來擦拭,第三道停下來超過3分鐘必須進行擦拭。松油醇主要是用來擦拭網(wǎng)版的,片子或斷柵,以及網(wǎng)版的清洗都是用乙醇。斷線、粗點、虛印的產(chǎn)生原因、控制方法、檢驗標(biāo)準(zhǔn)?第二道臺面不干凈,或網(wǎng)版上有干漿料掉在臺面上印刷烘干后引起的鋁粉會造成斷線,或第三道網(wǎng)板上有臟東西也會有斷線,網(wǎng)板張力不夠或參數(shù)調(diào)整會造成粗點,虛印。另外,第二道易干,如果不均易產(chǎn)生顆粒??刂品椒ǎ呵诓烈悦?,多注意印刷質(zhì)量,合理調(diào)整參數(shù)控制,另外,5-10分鐘之間看一次印刷的效果,一次連續(xù)看5-10片。10,壓版如何判定?如何避免?出現(xiàn)同樣的碎片,或每四片有一片有一樣的隱裂可以判定為壓版。(對印刷后的片子中央及四周輕輕的敲擊,看有無異常,因為細小的壓版可能要到燒結(jié)后才能體現(xiàn),這樣壓版的量是非常大的)避免:勤擦臺面,多注意上料的片子是否有碎片,臺面紙經(jīng)常更換,保持臺面平整。(碎片千萬不能掉進正在印刷的漿料中,那是最頭疼的事,也是最不容易被發(fā)現(xiàn)的)11,網(wǎng)版使用壽命,領(lǐng)用注意事項?第三道A版使用壽命為3萬,第一道B版10萬,第二道C版5萬,領(lǐng)用時注意型號不要領(lǐng)錯。(只針對156多晶),刮條與網(wǎng)版壽命同樣。12,報廢后如何處理?網(wǎng)板報廢后要有網(wǎng)板使用壽命單,對網(wǎng)版壽命不到就更換的需經(jīng)過工藝簽字。更換下來的網(wǎng)版(未到報廢要求的)如何處理?機器長時間不印刷如何進行預(yù)防漏漿操作,印刷模式需要如何更改?13,燒結(jié)爐的溫度?速度,時間。

6個溫區(qū):500°C520°C550°C570°C800°C802°C,根據(jù)片子厚度,工藝會做調(diào)整,速度為4600MM/MIN。14,為什么漿料不能混用,會產(chǎn)生什么嚴(yán)重后果?(注意鏟刀、刮刀頭未清洗干凈不能混?)漿料混用后會嚴(yán)重影響片子的電性能,轉(zhuǎn)換效率,所以漿料不能混用,鏟刀,刮刀頭每次都必須擦拭干凈。15,要求PECVD到絲網(wǎng)的在制品數(shù)量是多少?一般在4000-5000PCS左右,最少3000PCS,一般根據(jù)實際情況來看。絲網(wǎng)的產(chǎn)量平均每小時為1200-1380PCS左右,總產(chǎn)量要求每個班13000PCS,生產(chǎn)一個產(chǎn)品的時間為2.7S。16,絲網(wǎng)印刷工序違規(guī)動作:徒手不可接觸任何機器設(shè)備上料盒托住底部停機后才可以取片不可徒手隨意打開設(shè)備,設(shè)備在維修時才可以打開絲網(wǎng)下料,注意一次只可取一片絲網(wǎng)印刷參數(shù)調(diào)整原則印刷方式:1.不刮槳料交替印刷2.不刮槳料每片印刷兩次3.先印刷后刮槳料4.先刮槳料后印刷網(wǎng)版:網(wǎng)版間距:網(wǎng)版與印刷平臺之間的距離。(以印刷平臺為0參考點,平臺上方為負方向,網(wǎng)版正常停止時間距Spec:-3000um,印刷時間距Spec:-900~-1300)網(wǎng)版間距調(diào)整原則:在保證質(zhì)量的前提下,網(wǎng)版間距越小越好,太小易沾版或模糊不清。太大易印刷不良和損壞網(wǎng)版。刮條:刮條深度:刮條印刷時使網(wǎng)版面下降的距離。(以網(wǎng)版面為0參考點,網(wǎng)版下方為負方向。網(wǎng)版正常停止時的位置Spec:5000um,印刷時的位置為:Spec:-900~-1300um)。刮條深度和壓力(Spec:50~70N)調(diào)整原則:在保證印刷質(zhì)量的原則下,刮條下降深度與壓力越小越好,刮條下降過深或壓力太大,易碎片和損壞網(wǎng)版,刮條下降深度不夠或壓力太小易印刷不良或沾版。印刷速度:150~300mm/s刮槳料速度:450mm/s絲網(wǎng)印刷時遵循以下原則:刮條壓力&刮條深度與槳料下漏量成反比,絲網(wǎng)間距&刮條速度與槳料下漏量成正比。各種流程的作用及常見異常絲網(wǎng)印刷是通過刮條擠壓絲網(wǎng)彈性形變后將漿料漏印在需要印刷的材料上的一種印刷方式。1.背電極印刷背電極作用:用于組件時焊接用。125硅片有2根背電極,156硅片有3根背電極,其中多晶為分段類型的,而單晶為整條類型的,更換網(wǎng)版時必須校正網(wǎng)版位置,使兩側(cè)的背電極距離Si片邊緣基本相同.背電場印刷作用:鈍化硅本體,提高電池開路電壓(在工藝范圍之內(nèi),背電場越厚越好)常見異常:鋁珠:如果是因為燒結(jié)所致,就調(diào)節(jié)3、4區(qū)溫度;但若是鋁珠分布在履帶頂針?biāo)闹?,可考慮是否為履帶過臟,或是頂針磨損所致,此時需要清洗履帶,嚴(yán)重時可以考慮更換履帶;另外,鋁珠的產(chǎn)生也可能是由于二道印刷過厚導(dǎo)致,那么可以在不影響電性能的情況下,減輕二道印刷重量。鋁苞:前道清洗減薄量大,使絨面過大,易產(chǎn)生鋁苞。背電場印刷的太薄,剛換過網(wǎng)版未及時控制好背場印刷重量,易產(chǎn)生鋁苞,此時只需控制好印刷參數(shù)和印刷重量就可以解決。網(wǎng)版的小洞破損導(dǎo)致鋁苞??炊吹钠茡p情況,如果可以用膠帶修補,且試做OK后可正常生產(chǎn),若修補

無效須更換網(wǎng)版.粘板:三個參數(shù)同時增大,降低速度正電極印刷作用:收集電流156硅片副柵線有78根,主柵線有3根125硅片副柵線有62根,主柵線有2根注意事項:正電極需返工的硅片,在擦拭后應(yīng)該正面對正面疊放。正反面一起疊放時背電場鋁槳會粘到正電極上,從而影響轉(zhuǎn)換效率.常見問題:A:斷線:當(dāng)網(wǎng)版被堵時,槳料無法下漏所至,只需擦拭網(wǎng)版即可B:虛?。涸龃髩毫Γ蔚渡疃?,降低絲網(wǎng)間距C:粗點:加大絲網(wǎng)間距,減小刮刀深度和壓力,加大印刷速度。刮刀剛下去粗點,減小刮刀深度。刮刀剛上去粗點,加大絲網(wǎng)間距。烘干爐作用:去除槳料中的有機物質(zhì)。燒結(jié)爐作用:讓上下電極行成良好的接觸,提高轉(zhuǎn)換效率。爐內(nèi)氣氛是在N2的保護情況下進行燒結(jié)的,燒結(jié)溫度主要是通過影響RS&RSH來提高轉(zhuǎn)換效率的.常見問題:燒結(jié)不透:將主燒結(jié)區(qū)5、6區(qū)溫度適當(dāng)加大3度左右,測試后看電性能,如果沒有達到理想的燒結(jié)效果可對其進行再優(yōu)化。燒穿:根據(jù)燒結(jié)后的測試數(shù)據(jù),降低燒結(jié)5、6區(qū)溫度,然后再進行測試,直到燒結(jié)正常。分類檢測:

分檢問答入庫流程:1.首先核對入庫實物與入庫單上的數(shù)量是否一致2.檢杳入庫單與入庫標(biāo)簽的準(zhǔn)確性倉庫人員核對入庫時.必須有制1造部員工跟蹤入庫4.與倉庫人員,制造部人員共同做好每一箱的稱重工作,并且將重量記錄在<入庫信息記錄表〉上面及包裝箱側(cè)面標(biāo)簽上,確保稱重?zé)o異常.結(jié)批流程:1.按不同顏色,不同等級的片子進行單測單包先測A級藍色4級淡藍.A級紅色再測:8級藍色.B級淡藍.B級紅色然后測C級藍色,C級淡藍,C級紅色最后測J檔(同樣按不同顏色,不同等級單測單包)3.每測一種顏色,一種等級都要更改文件名(如淡藍要注明〃DL〃,J檔要注明〃J〃,〃J-DL〃等),并且要單獨測試單獨包裝4.測試完后對同等級同顏色同效率的片子進行包裝、(同等級同顏色不同效率的片子可進行并箱)打印標(biāo)簽、打印入庫單,并由QC敲章確認。5.結(jié)批時批與批之間做好標(biāo)識做好明顯的區(qū)分,以免混批,造成差異電性能參數(shù)的正常范圍值:溫度25°C+1:E:光強950-1050W/m,,mpD:最大功率Umpp:最大功率電壓Impp:最大功率電流Uoc:開路電壓0.61以上':短路電流5.1以上':填充因子77%以上Rs:串聯(lián)電阻(越小越好RSW6)Rsh:并聯(lián)電陽.(越大越好RSHN10)JO的異常處理:第一次測試,效率小于10.5%,第二次重新燒結(jié),再測試,效率還是小于10.5%的判為J0.JO率等于一次燒結(jié)的JO數(shù)除以總批量,超過0.2%為異常,需開工藝異常單,讓工藝分析,并由領(lǐng)班簽字確認.分析完后,還是包裝入庫.制程異常單的處理流程:1.由異常反饋人描述異常缺陷情況,并由質(zhì)量部進行簽字確認2.由處理人描述現(xiàn)場措施,并由質(zhì)量部簽字確認3.由工藝員進行原因分析,給予相關(guān)意見,并由工藝主管簽字確認4.由制造部主管簽字確認并給予具體措施包裝、入庫、處理方式包裝入庫處理方式正常片72片包裝,前后各放一片中空板,再進行熱縮按正常流程入庫.整包庫位B/P182:散包庫位B/P180按不同顏色不同等級進行測試包裝鋁苞片36片包裝,前后各放一片中空板,并將36片分為3格,每格之間墊上珍珠棉,不采用熱縮按正常流程入庫.整包庫位B/P183:散包庫位B/P181單測單包,并在標(biāo)簽備注欄中注明〃LB〃打磨片同正常片一樣包裝按正常流程入庫.庫位B/P121硅片側(cè)面漏漿處進行打磨后,單測單包,并在標(biāo)簽備注攔中注明〃DM〃,并使用黃標(biāo)簽檢驗標(biāo)準(zhǔn)1.顏色,色差QC從左側(cè)11點來判定電池片的等級及優(yōu)劣,具體范圍及檢驗標(biāo)準(zhǔn)為QC的受控文件2.絨面色斑(水痕印、手指印等)3.光面色斑(未制絨,未鍍膜等)4.亮斑5.裂紋6.彎曲度7.崩邊,缺口,掉角8.印刷偏移9.鋁珠、鋁苞10.針孔11.漏漿短路電流開路電壓減反效果差和鈍化差I(lǐng)'少子壽命T低V?\『低低儀器校賽//(光3偏低)//女世陽柚

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