數(shù)控機床幾何精度檢測 教學課件作者 李玉蘭 主編 項目四 項目四任務一

工程四使用激光干預儀檢測數(shù)控機床的直線度、垂直度和平行度任務一使用激光干預儀檢測數(shù)控機床導軌的直線度一、數(shù)控機床水平軸直線度測量原理1．直線度測量原理用激光干預儀測量水平軸直線度時，應將直線度干預鏡放置在激光頭和直線度反射鏡之間。激光頭的輸出光束穿過直線度干預鏡后，被分成兩束夾角較小的光束。然后，兩束光束經(jīng)過直線度反射鏡反射后沿一條新的光路返回到直線度干預鏡，并經(jīng)過直線度干預鏡后將兩束光束集合成一束光束，并返回激光頭的回光孔。圖4-1所示為測量水平運動軸水平方向直線度的光路原理圖。水平軸水平方向直線度測量是通過檢測直線度干預鏡和直線度反射鏡的相對水平方向位移引起的光程差來實現(xiàn)的。

圖4-1直線度測量原理2.直線度測量所使用的光學元件

〔1〕直線度干預鏡

直線度干預鏡能把一束光束分成兩束帶有一定角度的光束。鏡上有兩個孔，一個出光孔和一個回光孔，另外還有一個白色環(huán)形靶子和一個小光孔，用來進行光束的精調。

直線度干預鏡的使用方法見表4-1。

表4-1直線度干預鏡的使用方法序號內容圖示1在進行水平軸水平方向直線度測量時，直線度干涉鏡的安裝方向見圖示，激光光束通過干涉鏡的上孔（出光控）射入，通過干涉鏡的下孔（回光孔）將激光光束返回激光頭2在進行水平軸垂直方向直線度測量時，直線度干涉鏡的安裝方向見圖示，可以旋轉干涉鏡鏡面上的圈鈕來改變干涉鏡的方位。激光光束則由干涉鏡的右孔（出光控）射入，通過干涉鏡的左孔（回光孔）返回激光頭〔2〕直線度反射鏡

直線度反射鏡的作用是把照射到其上的兩束光束反射回來，經(jīng)過另外一條與入射光平行的光路回到直線度干預鏡上。其外觀圖如圖4-2所示。圖4-2直線度反射鏡外觀圖直線度反射鏡是中心對稱的，如圖4-3所示，要求它必須安裝得與測量軸垂直，而且要求兩束別離的光束射入點在直線度反射鏡中心等距并大約在中心線上方6mm位置處。反射鏡殼體上有調光標志，方便進行光束的對稱調整。傾斜度控制旋鈕可以調整直線度反射鏡內的光學鏡圍繞其縱向的傾斜角度。圖4-3用于水平方向偏差的反射鏡安裝方位短距離和長距離直線度測量要使用不同的直線度干預鏡和直線度反射鏡。“短距離〞直線度光學元件測量范圍為0.1m—4m，就是兩個光學元件在測量時分開的最遠距離在4m以內；而“長距離〞〔LR)直線度光學元件測量范圍為1m-30m，即兩個光學元件在測量時分開的最遠距離在30m以內。在兩種不同測量的情況下，干預儀和反射鏡的使用必須配對使用。〔3〕直線度光閘在測量水平軸直線度誤差時，有水平反向誤差和垂直方向誤差，為了滿足兩種方向直線度誤差的測量，激光頭上安裝了直線度光閘，通過調節(jié)直線度光閘以方便兩種方向直線度測量，如圖4-4所示。圖4-4直線度光閘直線度光閘有兩個可旋轉的元件，外旋轉件包括四個孔，而內旋轉件包括三個孔和兩個靶子。

外旋轉件旋轉180°時，使激光頭出光、回光從一種布局〔激光頭輸出光束與返回光束在同一垂直線上，此種布局用于水平方向直線度測量〕變成了另一種布局〔激光頭輸出光束與返回光束在同一水平線上，此種布局用于垂直方向直線度測量〕。

沿逆時針方向再轉90度°那么使光閘處于關閉位置。

表4-2表示內旋轉件的順時針旋轉會使光閘處于下述四種位置，外旋轉件位置為測量水平方向直線度誤差的布局。

表4-2直線度光閘內、外圈的調節(jié)及光閘狀態(tài)序號圖示光閘狀態(tài)使用說明1全光/光靶光路準直時使用2弱光/光靶光路準直時使用3全光/回光孔測量時使用4弱光/回光孔測量時使用二、用激光干預儀測量數(shù)控車床水平軸〔Z軸〕的水平方向直線度

測量CAK3665SJ型數(shù)控車床Z軸的水平方向直線度的布局圖如圖4-5所示。圖4-5測量CAK3665SJ數(shù)控車床Z軸的水平方向直線度的布局圖1．直線度測量配置

測量數(shù)控機床Z軸在水平方向的直線度，激光頭、直線度干預鏡、直線度反射鏡應按照圖4-6、圖4-7所示配置進行安裝。移動直線度干預鏡，固定直線度反射鏡。其中，圖4-6所示為水平方向直線度測量配置俯視圖，圖4-7所示為水平方向直線度測量配置側視圖。圖4-6水平方向直線度測量配置俯視圖圖4-7水平方向直線度測量配置側視圖光學元件的固定和安裝

〔1〕激光干預儀隨機配備了安裝組件。如圖4-8所示，將安裝桿安裝到磁力表座上備用，將光學元件與安裝塊連接到一起，再將安裝塊連接到安裝桿上，以便于將直線度干預鏡和直線度反射鏡通過磁力表座固定在床身上。d)反射鏡e)反射鏡與安裝塊連接f)反射鏡裝好a)安裝桿、磁力表座b)干涉鏡與安裝塊連接c)干涉鏡裝好圖4-8光學元件的固定與安裝〔2〕如圖4-9所示，將直線度干預鏡安裝在數(shù)控車床工作臺上，在測量過程中隨Z軸移動；直線度反射鏡安裝在數(shù)控車床的主軸上，在測量過程中始終不動。目測將兩個光學元件安裝在同一水平面上，沿Z軸方向位于同一條直線上。a)干涉鏡的安裝b)反射鏡的安裝圖4-9在數(shù)控車床上安裝光學元件3．三腳架及云臺的安裝

三腳架及云臺為激光系統(tǒng)提供一個穩(wěn)定的支撐調節(jié)平臺，從而將激光頭設定在不同的高度上，并能夠方便地控制激光光束的準直。三腳架、云臺和激光頭三者組合之后，能夠對激光系統(tǒng)進行光束準直。

〔1〕云臺

結構如圖4-10和圖4-11所示，云臺是為安裝激光頭提供的一個底板。其圖4-10所示為云臺的上外表結構，前部的兩個凹孔是用于激光頭兩個前腳的安裝。后部的凹孔用于激光頭后腳安裝。云臺配有快速平移手柄和平移微調控制旋鈕，可以對激光光束進行粗略和精細的水平平移。此外，云臺配有扭擺微調控制旋鈕，可以調節(jié)角度扭擺。圖4-10云臺上表面的結構圖圖4-11所示為云臺下外表結構。圖4-11云臺下表面的結構圖云臺套件還包括一個云臺適配器，應該裝配在通用三腳架的頂部，如圖4-12所示

圖4-12三腳架結構2〕三腳架

三角架的機構如圖4-12所示，其具體使用步驟見表4-3。

表4-3三腳架的具體使用步驟序號使用步驟1將三腳架放在堅硬的地面上，不能放在機床前的木質腳踏板上2把伸縮式三腳架支腳拉至所需的長度，并鎖定。用三腳架支腳上的標記線作基準，使三腳架的支腳長度相等。三腳架的高度設定應使激光頭光束射到裝在待測機床上的光學元件上3展開三腳架的支腳，調節(jié)三腳架支腳的位置，利用支腳的角度鎖定機構使其固定，保障在測量過程中穩(wěn)定站立4將氣泡水平儀放置于三腳架云臺適配器上，調節(jié)三腳架水平5將激光頭與云臺固定，再將云臺通過云臺鎖定手柄安裝在三腳架上6用手粗略地調整激光頭的準直，使其指向機床上的測量光學元件4．激光頭光束的精確調節(jié)

激光頭光束的精確調節(jié)方法見表4-4。

表4-4激光頭光束精確調節(jié)方法序號名稱調節(jié)說明圖示1高度調整

使用三腳架中心柱上的垂直高度調整控制手柄，對高度進行精細調整

2水平平移調整

通過快速平移手柄進行水平位移的粗調，粗調平移范圍約為42mm。通過水平平移微調控制旋鈕，進行進行水平位移的精調，精調平移范圍約30mm

3角度扭擺調整

通過扭擺調節(jié)旋鈕對激光系統(tǒng)進行旋轉微調。它可以提供額外的±1.5°調整。

5．直線度測量軟件的啟動

首先在計算機上安裝RenishawLaserXL軟件。

其次保證激光頭與計算機正確連接，如圖4-13所示。圖4-13激光頭與計算機連接在系統(tǒng)任務欄中，單擊“開始〞按鈕，選擇RenishawLaserXL程序，如圖4-14所示。圖4-14啟動軟件〔1〕啟動軟件〔2〕選擇直線度測量

雙擊〞短距離直線度測量〞，如圖4-15所示。圖4-15短距離直線度測量3〕翻開數(shù)據(jù)采集主窗口見圖4-16a所示，數(shù)據(jù)采集主窗口無任何數(shù)據(jù)，表示XL激光頭未連接，此時應檢查PC機上USB電纜與XL激光頭是否可靠連接；如圖4-16b所示，表示XL激光頭已連接。a)XL激光頭未連接b)XL激光頭已連接圖4-16打開數(shù)據(jù)采集主窗口1〕測量數(shù)據(jù)，實時顯示激光讀數(shù)。其單位由狀態(tài)窗口右上角的單位指示燈標識。

2〕信號強度，數(shù)據(jù)采集主窗口有一個顯示光束返回激光頭后的激光信號強度指示器，指示器綠色色塊高度可以指示激光頭與光學鏡組的光路準直情況，指示器上的綠色色塊越高，準直程度就越好。

3〕幫助信息。如果您需要幫助，可以翻開在線幫助手冊，方法是從幫助菜單中選擇幫助選項或單擊工具欄上按鈕。6．光路的準直

〔1〕在Z軸移動的整個行程內準直直線度干預鏡如圖4-17所示，將直線度干預鏡安裝在數(shù)控機床工作臺上，目測情況下盡量保證與激光光束垂直。測量水平方向直線度時，直線度干預鏡的安裝應使激光光束從干預鏡的上孔射入，通過干預鏡的下孔返回。在光路準直調整過程中，要借助光靶，旋轉直線度干預鏡調節(jié)圈，使光靶朝上。a)準直調節(jié)時干涉鏡的狀態(tài)b)測量時干涉鏡的狀態(tài)圖4-17直線度干涉鏡準直表4-5準直直線度干預鏡的調節(jié)步驟序號調節(jié)步驟圖示1水平光束調整：移動數(shù)控車床Z軸，使直線度干涉鏡接近激光頭。激光光束應準直并能擊中直線度干涉鏡上的白色光靶。沿著Z軸將工作臺遠離激光頭，直到看到光束開始移開光靶。當只有一半的光束仍然擊中白色光靶時停止移動工作臺。觀察光束現(xiàn)在偏離中心有多遠

2調整激光頭的角度偏轉，旋鈕在三腳架云臺左后方。以使光束橫掃過白色光靶。繼續(xù)移動光束，直到它位于相反方向離中心的距離相同

3調整激光頭水平平移，旋鈕是三腳架云臺左邊中間的大旋鈕。使光束返回光靶的水平中心線4垂直光束調整：觀察激光束在光靶上的垂直位置5調整激光頭俯仰角度，旋鈕在激光頭后方。使光束垂直掃過光靶，直到光束位于相反方向離光靶中心的距離相同的位置

6使用三腳架中心主軸上的高度調整輪來將激光頭上下移動，直到光束再一次擊中光靶中心。注：此時，可能有必要進行另外一個較小的水平回轉調整，以使激光束返回到該光靶的中心7沿著Z軸將工作臺繼續(xù)遠離激光頭，當看到激光光束移開靶心時再一次停止。重復步驟2到6的準直調整，直到達到軸的末端

8達到軸的末端時，將機床Z軸移回激光頭側，來到軸的起點。若光束不再位于光靶中心，則水平平移激光器，使光束回到光靶的垂直中心線9垂直平移激光頭，使用三腳架中心主軸上的高度調整。使激光光束回到光靶的中心

10重復步驟1到9，直到激光光束在運動軸全程范圍內都能保持在光靶的中心

〔2〕直線度反射鏡的安裝與調整圖4-18直線度反射鏡的安裝

表4-6直線度反射鏡的調整步驟序號調節(jié)步驟圖示1近端調整先移動工作臺Z軸，使直線度干涉鏡與直線度反射鏡靠近，以10cm為宜。直線度反射鏡“窗口”上劃有白色準直標記，以方便獲得等距離的要求。調節(jié)反射鏡的位置和高度，使從干涉鏡射出的發(fā)散兩束光束射到反射鏡上半部（上部約6mm處）白色準直標記中心線等距處再做細致的反射鏡位置調節(jié)，確保光束經(jīng)直線度反射鏡反射后回射到直線度干涉鏡的回光孔內聚焦適當調節(jié)直線度反射鏡傾斜控制旋鈕，讓反射光束通過直線度干涉鏡回到光閘回光孔

表4-6直線度反射鏡的調整步驟序號調節(jié)步驟圖示2遠端調整移動Z軸，使干涉鏡與反射鏡分離，觀察電腦屏幕上顯示的信號強度（或激光頭上的光強指示燈）。若隨著移動光學件沿測量軸的運動信號強度逐漸減弱，需要進一步調整觀察光閘回光孔重合光點是否分開，如光點分開，應精細調整直線度干涉鏡的位置或旋轉直線度干涉鏡上的旋鈕，使光點重合直至在Z軸移動的全程范圍內，電腦屏幕上顯示的信號強度（或激光頭上的光強指示燈）足夠強，光路準直工作完畢3〕用“人工去除斜率誤差〞的方法來進一步精密調準激光光束

1〕人工去除斜率誤差校正原理：

數(shù)控機床的位移軸和直線度反射鏡的光學軸線之間不平行引起的誤差稱作斜率誤差。

為了校正斜率誤差，使其光學軸和數(shù)控機床位移軸相平行。

2〕調整方法：

在Z軸水平方向直線度測量過程中，反射鏡不動，干預鏡是移動的部件。調整步驟見表4-7。

表4-7人工去除斜率誤差調整步驟序號調節(jié)步驟圖示1近端調整先移動工作臺Z軸，使直線度干涉鏡與直線度反射鏡靠近，以10cm為宜。將電腦屏幕上顯示的讀數(shù)清“0”

2遠端調整移動Z軸，使干涉鏡與反射鏡分離移動至最遠端，記下電腦屏幕上顯示的誤差讀數(shù)值調節(jié)直線度反射鏡的傾斜控制鈕，使顯示讀數(shù)值不斷減小

3重復進行幾次調整（近端清“0”，遠端調節(jié)），直至遠端時，電腦屏幕上誤差讀數(shù)值竟可能的小，越小越好（參考值小于20um）

4〕誤差數(shù)值的符號規(guī)定

在光路的準直完成后，采集數(shù)據(jù)之前，必須確定一個適宜的符號協(xié)定。測量時數(shù)控車床Z軸從負向向正向移動，設定誤差值的正方向與車床X軸正方向一致。按圖4-19所示方向輕推干預鏡，手指推的方向與X軸正方向相反(便于操作)，觀察電腦屏幕上顯示的誤差讀數(shù)值是正向遞減的那么方向正確,不需要再調節(jié)。

如不是這種情況，那么需要改變符號，點擊電腦屏幕上的快捷鍵“+/-〞，操作如圖4-20所示。圖4-19輕推干涉鏡圖4-20改變符號7.數(shù)據(jù)采集

操作數(shù)控機車床，使車床的Z軸按照規(guī)定的間隔運動到一系列等距的位置上，并在相應的位置上測量其差值。數(shù)據(jù)采集之前，首先確定數(shù)控車床Z軸的最大行程〔在光路準直的過程中已經(jīng)將此值確定下來〕。

例如：某小型教學用數(shù)控車床Z軸行程為-200至0。根據(jù)標準慣例，測量時要求被測軸從負向向正向移動，即目標位置是正向遞增的。

〔1〕測量軟件的定義方法見表4-8

表4-8測量軟件的定義方法序號測量軟件的定義步驟圖示1打開“短距離直線度測量”軟件，點擊

2完成第一定位點、最終定位點、間距值、目標數(shù)、小數(shù)點后位數(shù)的設定，之后點擊

進入下一步3完成定位方式、測量次數(shù)、選擇方向、運動軸的設定，之后點擊

進入下一步4完成標題信息的設定，之后點擊

進入

下一步5設定自動采集為“無效”即為手工采集方式，之后點擊

進入下一步6設置完畢，為下一步的測量做好了準備〔2)操作機床，移動Z軸到起始點位置-200mm，誤差讀數(shù)清零，正向移動Z軸到相應的間隔點，在Z軸暫停時手動采集數(shù)據(jù)，直至所有點的數(shù)據(jù)采集，單擊“完成〞按鈕。8.數(shù)據(jù)分析

〔1〕端點擬合法與最小二乘法。

坐標軸的直線度誤差可定義為兩條平行線之間的距離，它包含了坐標軸上的所有的點，并且和坐標軸的總方向平行。

端點擬合法是定義直線度基準線為首、尾數(shù)據(jù)點連線。這樣全部誤差是相對首、尾之連線形成的，如圖4-21所示。圖4-21a所示為未處理的直線度數(shù)據(jù)，圖4-21b所示為用端點擬合處理后的數(shù)據(jù)。a)未處理的直線度數(shù)據(jù)b)用端點擬合處理后的數(shù)據(jù)圖4-21端點擬合法分析最小二乘法提供了一種更加嚴謹、正確的直線度基準的定義。

圖4-22a所示為未處理的直線度數(shù)據(jù)，圖4-22b為用最小二乘法處理后的數(shù)據(jù)。a)未處理的直線度數(shù)據(jù)b)用最小二乘法處理后的數(shù)據(jù)圖4-22最小二乘法分析

表4-9直線度誤差數(shù)據(jù)分析方法序號測量軟件的使用方法圖示1打開“短距離直線度測量”軟件，點擊

2打開文件夾，找到Z軸水平方向直線度誤差數(shù)據(jù)文件3點擊“分析數(shù)據(jù)”，再點擊“最小二乘法”4得到數(shù)據(jù)圖表和直線度誤差數(shù)據(jù)5直線度誤差數(shù)據(jù)9.直線度測量中的本卷須知

〔1〕激光頭最好放置在靠近被測機床的三角架上。假設機床不易受到振動，可將激光頭放置在機床的工作臺或床身上。

〔2〕測量元件在布局時，假設條件允許的話應盡量使直線度干預鏡成為移動件，直線度反射鏡固定不動。假設反之布局會導致測量誤差增大。

〔3〕一定要進行人工去除斜率誤差的操作。

〔4〕一定要進行合理的直線度誤差值符號約定。

〔5〕光學元件應盡可能在熱平衡狀態(tài)，光學元件溫度的增減會影響光路的準直，會降低測量精度。因此在測量操作中不要過度地摸碰光學元件或使其受到其它熱源的影響。

〔6〕直線度干預鏡和直線度反射鏡都標有一特定的出廠編號，測量中應配對使用。三、用激光干預儀測量數(shù)控車床水平軸〔Z軸〕的垂直方向直線度

1.水平軸垂直方向直線度測量配置

圖4-23水平軸垂直方向直線度測量配置俯視圖圖4-24水平軸垂直方向直線度測量配置側視圖2．光學元件的固定與安裝

〔1〕直線度干預儀和直線度反射鏡的安裝如圖4-25所示。d)反射鏡及安裝附件e)反射鏡與安裝塊連接f)反射鏡裝好a)安裝桿與磁力表座b)干涉鏡與安裝塊連接c)干涉鏡裝好圖4-25光學元件的固定與安裝〔2〕將直線度干預鏡安裝在數(shù)控車床工作臺上，在測量過程中隨Z軸移動；直線度反射鏡安裝在數(shù)控車床的主軸前固定的位置上，在測量過程中始保持不動。目測將兩個光學元件安裝在同一水平面上，Z軸軸線方向同一條直線上，如圖4-26所示。a)反射鏡的安裝b)干涉鏡的安裝圖4-26光學元件安裝到數(shù)控車床上3．三腳架和激光頭的安裝

三腳架、云臺以及激光頭的安裝在前面已經(jīng)詳細說明，只是激光頭的光閘位置與Z軸水平方向直線度測量時不同如圖4-27所示4．直線度測量軟件的啟動〔同水平方向直線度測量時的啟動方法〕圖4-27激光頭的光閘位置5．光路的準直

〔1〕在Z軸移動的全部行程內準直直線度干預鏡。將直線度干預鏡安裝在數(shù)控機床工作臺上，在光路準直調整過程中，要借助光靶，旋轉直線度干預鏡調節(jié)圈，使光靶在右側，如圖4-28所示。使用光靶準直激光光束，使光束在Z軸全程移動范圍內都能擊中光靶中心。具體調節(jié)步驟在前面已經(jīng)詳細說明不再闡述。水平軸垂直方向直線度測量時，直線度干預鏡的安裝應使激光光束從干預鏡的右側射入，通過干預鏡的左側返回，如圖4-28b所示。a)準直調節(jié)時干涉鏡的狀態(tài)b)測量時干涉鏡的狀態(tài)圖4-28直線度干涉鏡準直〔2〕直線度反射鏡的安裝與調整c直線度反射鏡的安裝圖4-28直線度干涉鏡準直

表4-10直線度反射鏡的調整步驟序號調節(jié)步驟圖示1近端調整先移動工作臺Z軸，使直線度干涉鏡與直線度反射鏡靠近，以10cm為宜。調節(jié)反射鏡的位置和高度，使從干涉鏡射出的兩束光束射到反射鏡上半部白色準直標記中心線的等距處。進一步調節(jié)使兩束入射光束在直線度反射鏡縱向中心線上約6mm處精細調節(jié)直線度反射鏡的位置，確保光束反射回來后在干涉鏡的回光孔內聚焦。調節(jié)直線度反射鏡傾斜控制旋鈕，讓反射光通過直線度干涉鏡回到光閘回光孔。

表4-10直線度反射鏡的調整步驟序號調節(jié)步驟圖示2遠端調整移動Z軸，使干涉鏡與反射鏡分離，觀察電腦屏幕上顯示的信號強度（或激光頭上的光強指示燈）。若信號強度逐漸減弱，則需要進一步調整觀察光閘回光孔重合光點是否分開，如光點分開，則細微調整直線度干涉鏡位置或調節(jié)直線度干涉鏡旋鈕，使之重合。

直至在Z軸移動的全程范圍內，電腦屏幕上顯示的信號強度（或激光頭上的光強指示燈）足夠強，光路準直工作完畢

表4-11人工去除斜率誤差調整步驟序號調節(jié)步驟圖示1近端調整先移動Z軸，使直線度干涉鏡與直線度反射鏡靠近，以10cm為宜。將電腦屏幕上顯示的激光讀數(shù)清“0”2遠端調整移動Z軸，使干涉鏡與反射鏡分離移動至最遠端，記下電腦屏幕上顯示的直線度誤差讀數(shù)值調節(jié)直線度反射鏡的傾斜控制鈕，使顯示誤差讀數(shù)不斷變小，越小越好

在調節(jié)過程中觀察電腦屏幕上顯示的信號強度（或激光頭上的光強指示燈）。若信號強度逐漸減弱，可調整云臺角度旋鈕進行調節(jié)，恢復信號強度3重復進行幾次調整（近端清“0”，遠端調節(jié)），直至遠端時，電腦屏幕上誤差讀數(shù)值竟可能的小，越小越好（參考值小于20um）

〔4〕誤差數(shù)值的符號規(guī)定

測量數(shù)控車床〔Z軸〕垂直方向直線度誤差時，假設規(guī)定誤差值的正方向為垂直向下的方向。如圖4-29所示，向下輕推干預鏡，觀察計算機屏幕上顯示的激光讀數(shù)值是正向遞增的，那么方向正確,不需要再調節(jié)。如不是這種情況，即計算機屏幕上顯示的激光讀數(shù)值不是正向遞增的，那么需要改變符號，操作如圖4-30所示。圖4-29向下輕推干涉鏡圖4-30改變符號數(shù)據(jù)采集及利用RenishawLasexXL測量軟件進行直線度數(shù)據(jù)分析的內容在前面已經(jīng)詳述，可以參照完成測量，獲得水平軸〔Z軸〕垂直方向直線度數(shù)據(jù)。6.數(shù)據(jù)采集及分析

四、用激光干預儀測量立式加工中心Z軸的X軸方向直線度

1．垂直軸直線度測量需要增加的光學元件及輔助元件

〔1〕垂直轉向鏡

如圖4-31所示,控制旋鈕1用來進行與輸入和輸出光束相垂直的那個軸的調整?？刂菩o2用來進行鏡面傾斜的調整。

注意，這兩個旋鈕在調整過程中有一些相互影響.圖4-31垂直轉向鏡〔2〕大回轉反射鏡大回轉反射鏡是一個大反射鏡，如圖4-32所示，它使激光光束穿過一個安裝在其上的附屬的直線度干預鏡返回。它用于機床垂直軸直線度的測量，適合于不能在直線度干預鏡后面安裝固定直線度反射鏡的垂直軸。圖4-32大回轉反射鏡〔3〕直線度基板

直線度基板用于安裝直線度反射鏡和垂直轉向鏡，如圖4-33所示，垂直轉向鏡和直線度反射鏡用螺釘固定在基板上。圖4-33直線度基板2.垂直軸直線度測量配置測量加工中心Z軸的X軸方向直線度，應按圖4-34所示配置，測量過程中移動大回轉反射鏡，固定直線度反射鏡。圖4-34垂直軸直線度測量配置3.光學元件的固定與安裝

〔1〕大回轉反射鏡和直線度干預鏡的安裝如圖4-35所示。a)待裝的光學元件及工具b)直線度干涉鏡裝入大回轉反射鏡c)安裝轉接頭和磁力表座圖4-35大回轉反射鏡和直線度干涉鏡的