電容式薄膜絕對壓力傳感器原理

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MKSConfidential1現(xiàn)代電容式薄膜絕對壓力傳感器原理壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器在超高真空下的參考面通過真空泵維持在高真空參考壓力下MKSConfidential2一個完整的傳感器–壓力傳感器+信號控制電路壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器(Manometer)電子部件滿度調(diào)節(jié)線形調(diào)節(jié)零點調(diào)節(jié)振蕩器參考緩存放大電橋輸出MKSConfidential3壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器現(xiàn)代電容式薄膜差壓式壓力傳感器原理至電子部件隔膜電子組件測量面參考面MKSConfidential4溫度控制的薄膜壓力傳感器–范圍及輸出壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器零點壓力讀數(shù)范圍可控范圍壓力分辨率舉例：1Torr滿量程壓力傳感器MKSConfidential5壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器溫度控制的薄膜壓力傳感器系列MKSConfidential6零點、滿量程及線性壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器顯示壓力輸出零點零點失調(diào)滿量程失調(diào)線性失調(diào)調(diào)整的比例真實壓力滿量程MKSConfidential7誤差滿量程顯示壓力讀數(shù)值的%誤差帶滿量程的%誤差帶滿量程真實壓力壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器解決方法降低溫度依賴非線性滯后非重復(fù)性滿量程溫度系數(shù)MKSConfidential8零點調(diào)整壓力測量–

電容式薄膜壓力傳感器輸出信號用螺絲刀進行零點調(diào)整或在顯示/控制儀上實施零點修正真空條件下MKSConfidential9

600系列Baratron

電容式薄膜壓力傳感器滿量程范圍:20mT~25kT精度:讀數(shù)值的0.12%分辨率:滿量程的0.001%溫度控制:環(huán)境溫度,45℃or100℃溫度系數(shù)

零點:0.002%滿量程./°C增益:0.02%讀數(shù)值/°C兩個繼電器控制點可選電源電壓:±15VDC輸出信號:0~10VMKS電容式薄膜壓力傳感器系列MKSConfidential10631B高溫Baratron

700系列Baratron

電容式薄膜壓力傳感器中等性能價格便宜緊湊型尺寸滿量程范圍:1T~1000T精度:讀數(shù)值的±

0.5%溫度控制:環(huán)境溫度,45℃or100℃電源電壓:±15VDC或+24VDC輸出信號:0~10V

或0~5V

890/892壓力傳感器滿量程范圍:20~3000PSI精度:讀數(shù)值的±1%電源電壓:+13VDC~+32VDC輸出信號:0~10V0~5V4~20mAMKS電容式薄膜壓力傳感器系列基于以太網(wǎng)通訊的e-BaratronMKSConfident

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