標準解讀

《GB/T 12962-2015 硅單晶》相比于《GB/T 12962-2005 硅單晶》，主要在以下幾個方面進行了調(diào)整和更新：

  1. 術(shù)語和定義：新版標準對硅單晶及相關(guān)術(shù)語進行了修訂和完善，以更準確地反映當(dāng)前硅單晶技術(shù)和產(chǎn)品的特點。

  2. 技術(shù)要求：增加了對硅單晶的純度、晶體結(jié)構(gòu)、幾何尺寸、表面質(zhì)量等方面更嚴格或更具體的要求，以適應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)對材料性能不斷提升的需求。

  3. 檢測方法：更新了多項檢測指標的測試方法，引入了更為先進和精確的檢測手段，確保測試結(jié)果的準確性和可重復(fù)性。例如，可能包括對元素雜質(zhì)含量的分析方法進行了優(yōu)化，以及對晶體缺陷檢測技術(shù)的改進。

  4. 質(zhì)量分級：對硅單晶的質(zhì)量等級劃分進行了調(diào)整，可能新增了更高等級的標準，或者對原有等級的指標要求進行了細化，以更好地滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的需求。

  5. 標志、包裝、運輸和儲存：這部分內(nèi)容也有所更新，提供了更加詳細的規(guī)定和建議，以確保硅單晶在流通和存儲過程中的品質(zhì)不受損害。

  6. 規(guī)范性附錄：新標準可能增補或修改了規(guī)范性附錄內(nèi)容，包含了更多參考數(shù)據(jù)、測試流程圖或具體操作指南，便于使用者理解和執(zhí)行。


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....

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  • 2015-12-10 頒布
  • 2017-01-01 實施
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GB/T 12962-2015硅單晶_第1頁
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文檔簡介

ICS29045

H82.

中華人民共和國國家標準

GB/T12962—2015

代替

GB/T12962—2005

硅單晶

Monocrystallinesilicon

2015-12-10發(fā)布2017-01-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

硅單晶

GB/T12962—2015

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20163

*

書號

:155066·1-53125

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T12962—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準代替硅單晶本標準與相比主要變化如下

GB/T12962—2005《》。GB/T12962—2005,:

增加了直徑小于或等于直拉硅單晶及要求見

———50.8mm(5.1.1);

增加了直徑區(qū)熔硅單晶及要求見

———200mm(5.1.1);

增加了對直拉硅單晶的載流子壽命要求見

———(5.2.1);

修訂了型區(qū)熔高阻硅單晶電阻率范圍的要求見

———n(5.2.1);

增加了摻雜比為的中子嬗變摻雜硅單晶的要求見

———F5(5.2.1);

修訂了摻雜比為的中子嬗變摻雜硅單晶的徑向電阻率變化及少數(shù)載流子壽命要求

———F10

見

(5.2.1);

修訂了氣相摻雜區(qū)熔硅單晶的直徑電阻率及少數(shù)載流子壽命等要求見

———、(5.2.1);

金屬含量要求中刪除了重摻雜直拉硅單晶的基硼基磷含量由供需雙方商定提供內(nèi)容見

———“”“、”(

5.8);

取樣由文字描述改為表

———6;

增加了訂貨單內(nèi)容見第章

———(9)。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標準起草單位有研新材料股份有限公司天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司浙江中晶科技

:、、

股份有限公司浙江省硅材料質(zhì)量檢驗中心杭州海納半導(dǎo)體有限公司萬向硅峰電子股份有限公司浙

、、、、

江金瑞泓科技股份有限公司上海合晶硅材料有限公司中國有色金屬工業(yè)標準計量質(zhì)量研究所廣東

、、、

泰卓光電科技股份有限公司

。

本標準主要起草人孫燕張果虎張雪囡黃笑容樓春蘭王飛堯朱興萍何良恩徐新華

:、、、、、、、、、

楊素心由佰玲李麗妍

、、。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T12962—1991、GB/T12962—1996、GB/T12962—2005。

Ⅰ

GB/T12962—2015

硅單晶

1范圍

本標準規(guī)定了硅單晶的牌號及分類要求檢驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書

、、、、、、、、

和訂貨單或合同內(nèi)容等

()。

本標準適用于直拉法懸浮區(qū)熔法包括中子嬗變摻雜和氣相摻雜制備的直徑不大于的

、()200mm

硅單晶產(chǎn)品主要用于制作半導(dǎo)體元器件

。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型測試方法

GB/T1550

硅單晶電阻率測定方法

GB/T1551

硅和鍺體內(nèi)少數(shù)載流子壽命測定光電導(dǎo)衰減法

GB/T1553

硅晶體完整性化學(xué)擇優(yōu)腐蝕檢驗方法

GB/T1554

半導(dǎo)體單晶晶向測定方法

GB/T1555

硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

GB/T1557

硅中代位碳原子含量紅外吸收測量方法

GB/T1558

硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗方法

GB/T4058

半導(dǎo)體硅片電阻率及硅薄膜薄層電阻率測試方法非接觸渦流法

GB/T6616

硅片徑向電阻率變化的測量方法

GB/T11073—2007

硅單晶拋光片

GB/T12964

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