標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 14604-1993 是一項(xiàng)中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn),全稱為《電子工業(yè)用氣體 氧》。這項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)中使用的氧氣的質(zhì)量要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存要求,旨在確保電子工業(yè)應(yīng)用中氧氣的純度與質(zhì)量,滿足半導(dǎo)體制造、平板顯示、光纖生產(chǎn)等多個(gè)領(lǐng)域的高精度需求。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽:

  1. 范圍:明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)生產(chǎn)過程中作為保護(hù)氣體、反應(yīng)氣體或工藝環(huán)境氣體使用的氧氣。

  2. 規(guī)范性引用文件:列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)所直接引用或參考的其他相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和文件,這些文件對于理解和執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的具體要求至關(guān)重要。

  3. 術(shù)語和定義:對標(biāo)準(zhǔn)中涉及的專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了明確界定,幫助讀者準(zhǔn)確理解各項(xiàng)要求。

  4. 要求

    • 純度:規(guī)定了氧氣的最低純度要求,通常要求極高純度,以避免雜質(zhì)影響電子元件的性能和壽命。
    • 雜質(zhì)含量:詳細(xì)列出了各種可能的雜質(zhì)氣體(如氮、氬、二氧化碳等)的最大允許含量,確保氧氣的純凈度。
    • 水分含量:嚴(yán)格限制氧氣中的水分含量,因?yàn)樗挚梢砸痣娐犯g或其它不良反應(yīng)。
    • 顆粒物:規(guī)定了氧氣中固體顆粒物的最大允許濃度,以防止對精密設(shè)備造成污染。
  5. 試驗(yàn)方法:描述了如何通過化學(xué)分析、氣相色譜分析等方法來測定氧氣的純度和雜質(zhì)含量,確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  6. 檢驗(yàn)規(guī)則:包括產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)項(xiàng)目、抽樣方法、合格判定準(zhǔn)則等,確保每批次產(chǎn)品的質(zhì)量符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

  7. 包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲存

    • 包裝:規(guī)定了氧氣容器的材質(zhì)、密封性要求,以防止外界污染物滲透。
    • 標(biāo)志:要求在容器上清晰標(biāo)注產(chǎn)品信息、純度等級、生產(chǎn)日期等,便于識別和追溯。
    • 運(yùn)輸:提供了運(yùn)輸過程中的安全措施和注意事項(xiàng),以防止物理損壞或泄漏。
    • 儲存:指明了適宜的儲存條件,如溫度、壓力范圍,以維持氣體品質(zhì)不變。

實(shí)施意義:

該標(biāo)準(zhǔn)的制定與執(zhí)行,為電子工業(yè)氣體供應(yīng)商和用戶提供了統(tǒng)一的質(zhì)量控制依據(jù),有助于提升電子元器件的生產(chǎn)效率和成品率,保障電子產(chǎn)品的可靠性和使用壽命,促進(jìn)了電子工業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。


如需獲取更多詳盡信息,請直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。

....

查看全部

  • 被代替
  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 14604-2009
  • 1993-08-26 頒布
  • 1994-07-01 實(shí)施
?正版授權(quán)
GB/T 14604-1993電子工業(yè)用氣體氧_第1頁
GB/T 14604-1993電子工業(yè)用氣體氧_第2頁
免費(fèi)預(yù)覽已結(jié)束,剩余10頁可下載查看

下載本文檔

文檔簡介

UDC661G86中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T14604—93電子工業(yè)用氣體氧Gasesforelectronicindustry-Oxygen1993-08-26發(fā)布1994-07-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)CB/T14604-93電子子體氣Gasesforelectronicindustry--0xygen主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氧和散裝液態(tài)氧的技術(shù)要求,檢驗(yàn)方法,檢驗(yàn)規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、財(cái)存及安全要求。電子工業(yè)用氧主要用于二氧化硅化學(xué)氣相淀積,用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應(yīng)劑,用于等離子體蝕刻和剝離。也可用于光導(dǎo)纖維。分子式:O:相對分子質(zhì)量:31.999(1989年國際相對原子質(zhì)量表)·引用標(biāo)準(zhǔn)GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB3863:工業(yè)用氣態(tài)氧GB4844氨氣GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶GB5832.2氣體中微量水的測定露點(diǎn)法GB6680液體化工產(chǎn)品采樣通則GB6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則GB7144!氣瓶顏色標(biāo)記GB7445氫氣GB89844氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法GB8991氣體中微量氫的測定氣相色譜法GB/T14605氧氣中微量氬、氮和氯含量的測定氣相色譜法GB/T14606氣體中總烴的測定火焰離子化檢測法3技術(shù)要求電子工業(yè)用氣體氧的質(zhì)量應(yīng)符合下表的要求超大規(guī)模集成電路級半導(dǎo)體及集成電路級電子級和散裝液態(tài)氧氧純度,10-499.985399.599.5氫含量,10-氫含量,10-"

溫馨提示

  • 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個(gè)人學(xué)習(xí)、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴(yán)禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等,侵權(quán)必究。
  • 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本(可閱讀打?。驍?shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務(wù)。
  • 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁,非文檔質(zhì)量問題。

評論

0/150

提交評論