GB/T 25185-2010表面化學(xué)分析X射線光電子能譜荷電控制和荷電校正方法的報(bào)告

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T25185—2010/ISO193182004

:

表面化學(xué)分析X射線光電子能譜

荷電控制和荷電校正方法的報(bào)告

Surfacechemicalanalysis—X-rayphotoelectronspectroscopy—

Reportingofmethodsusedforchargecontrolandchargecorrection

(ISO19318:2004,IDT)

2010-09-26發(fā)布2011-08-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T25185—2010/ISO193182004

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用表面化學(xué)分析射線光電子能譜荷電控制和荷電校正方法

ISO19318:2004《X

的報(bào)告

》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位北京師范大學(xué)分析測(cè)試中心

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人吳正龍

:。

Ⅰ

GB/T25185—2010/ISO193182004

:

引言

射線光電子能譜廣泛用于材料表面的表征從測(cè)得的光電子譜中得到樣品表面各元素

X(XPS)。,

內(nèi)能級(jí)的結(jié)合能對(duì)照元素結(jié)合能表鑒別樣品中的不同元素除氫和氦以外通?？蓮膬?nèi)能級(jí)結(jié)合能

,()。

相對(duì)于純?cè)貙?duì)應(yīng)結(jié)合能的微小變化一般介于至之間獲得被測(cè)元素化學(xué)態(tài)信息測(cè)

(0.1eV10eV)。

量可靠的化學(xué)位移通常需要校準(zhǔn)儀器的結(jié)合能標(biāo)其不確定度盡可能小至

XPS,0.1eV。

由于絕緣樣品表面荷電在測(cè)量時(shí)其表面電勢(shì)往往發(fā)生變化難以精確測(cè)定結(jié)合能以滿足鑒

,XPS,

別元素或確定化學(xué)態(tài)的需要解決此問題分兩步進(jìn)行第一步采用實(shí)驗(yàn)方法減少表面荷電量荷電控

。,,(

制方法第二步在采集數(shù)據(jù)后校正表面荷電效應(yīng)荷電校正法盡管在某些情況下表面電荷

);,XPS,()。

積累使分析復(fù)雜化但它還是能夠用作獲得有關(guān)樣品信息的一種手段

,。

表面荷電量及其在樣品表面的分布以及它對(duì)于實(shí)驗(yàn)條件的依賴關(guān)系由多種因素決定包括與樣品

,,

及能譜儀特性相關(guān)的因素荷電積累已經(jīng)得到了充分研究它是一種發(fā)生在樣品表面和內(nèi)部的三

XPS。,

維現(xiàn)象[1,2]荷電積累也可能發(fā)生在射線輻照樣品深度范圍內(nèi)的物相邊界處或界面區(qū)域內(nèi)由于光

。X。

電子和二次電子射線或加熱引起某些樣品的揮發(fā)或化學(xué)變化荷電量會(huì)隨時(shí)間變化這類樣品可能

、X,,

不會(huì)達(dá)到穩(wěn)定的電位

。

目前還沒有荷電控制或荷電校正的普遍適用的方法[3,4]本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了數(shù)據(jù)采集時(shí)荷電控制和

,。

或數(shù)據(jù)分析時(shí)荷電校正方法所應(yīng)提供的資料附錄給出了有關(guān)荷電控制和荷電校正通用方法的

()。A

資料在多數(shù)應(yīng)用中均有效在實(shí)際使用中依據(jù)樣品類型如粉末薄膜或厚樣品儀器特性樣品尺

,。,(,)、、

寸以及樣品表面可能需要按特定步驟修飾的程度來(lái)選擇特定荷電控制方法

,。

本標(biāo)準(zhǔn)有可能應(yīng)用于兩個(gè)主要領(lǐng)域第一本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)將要在測(cè)試報(bào)告中包括的有關(guān)荷電控制

。,XPS

和或荷電校準(zhǔn)方法的信息如從分析者到用戶或出版物加以區(qū)分以評(píng)價(jià)評(píng)估和重現(xiàn)絕緣材料的

()(,),、

數(shù)據(jù)保證相似樣品的測(cè)量具有可比性第二執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)將使其他分析者有信心地采用已發(fā)表的結(jié)合

,。,

能使可靠的數(shù)據(jù)納入數(shù)據(jù)庫(kù)

,XPS。

Ⅱ

GB/T25185—2010/ISO193182004

:

表面化學(xué)分析X射線光電子能譜

荷電控制和荷電校正方法的報(bào)告

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)以最少量的資料描述了用射線光電子能譜測(cè)量絕緣樣品內(nèi)能級(jí)結(jié)合能及將在報(bào)告其分

X,

析結(jié)果時(shí)所采用的荷電控制和荷電校正方法也給出了在結(jié)合能測(cè)量過程中對(duì)于荷電控制和荷電校正

,

有用的方法資料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

表面化學(xué)分析射線光電子能譜儀能量標(biāo)尺的校準(zhǔn)

GB/T22571—2008X(ISO15472:2001,

IDT)

3術(shù)語(yǔ)和定義

本標(biāo)準(zhǔn)中的術(shù)語(yǔ)和定義依照

GB/T22461—2008。

4符號(hào)及縮略語(yǔ)

結(jié)合能單位為

BE,eV;

校正后的結(jié)合能單位為

BEcorr,eV;

測(cè)量結(jié)合能單位為

BEmeas,eV;

參考結(jié)合能單位為

BEref-,eV;

光電子能譜中本底以上一個(gè)譜峰最大值一半處的全寬度單位為

FWHM,,eV;

射線光電子能譜

XPSX;

Δ校正能量值加在測(cè)量的結(jié)合能上用于荷電校正單位為

corr,,eV。

5儀器

51中所提到一種或多種荷電控制技術(shù)可用于大多數(shù)譜儀