GB/T 27760-2011利用Si(111)晶面原子臺(tái)階對(duì)原子力顯微鏡亞納米高度測(cè)量進(jìn)行校準(zhǔn)的方法

ICS19020

N04.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T27760—2011

利用Si111晶面原子臺(tái)階對(duì)原子力

()

顯微鏡亞納米高度測(cè)量進(jìn)行校準(zhǔn)的方法

Testmethodforcalibratingthez-magnificationofanatomicforcemicroscopeat

subnanometerdislacementlevelsusinSi111monatomicstes

pg()p

2011-12-30發(fā)布2012-05-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T27760—2011

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)與利用晶面原子臺(tái)階對(duì)原子力顯微鏡亞納米高度測(cè)量進(jìn)行

ASTME2530—2006《Si(111)

校準(zhǔn)的方法英文版技術(shù)內(nèi)容基本一致

》()。

考慮到我國(guó)國(guó)情在采用時(shí)本標(biāo)準(zhǔn)做了一些修改有關(guān)技術(shù)性差異已編入

,ASTME2530—2006,,

正文中附錄規(guī)范性附錄中給出樣品制備方法附錄資料性附錄中列出了本標(biāo)準(zhǔn)章條編號(hào)與

。A(),B()

章條編號(hào)的對(duì)照一覽表附錄資料性附錄中給出了技術(shù)性差異及其原因一覽

ASTME2530—2006,C()

表以供參考

。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)科學(xué)院提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC279)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位國(guó)家納米科學(xué)中心

:。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人朱曉陽(yáng)楊延蓮賀蒙高潔

:、、、。

Ⅰ

GB/T27760—2011

利用Si111晶面原子臺(tái)階對(duì)原子力

()

顯微鏡亞納米高度測(cè)量進(jìn)行校準(zhǔn)的方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用晶面原子臺(tái)階高度樣品校準(zhǔn)原子力顯微鏡z向標(biāo)度的測(cè)量方法

Si(111)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于在大氣或真空環(huán)境下工作的原子力顯微鏡并且其z向放大倍率達(dá)到最大量級(jí)即z

,,

向位移在納米和亞納米范圍內(nèi)這是原子力顯微鏡用于檢測(cè)半導(dǎo)體表面光學(xué)器件表面和其他高科技元

,,

件表面中經(jīng)常用到的檢測(cè)范圍

。

本標(biāo)準(zhǔn)并未指出所有可能的安全問(wèn)題在應(yīng)用本標(biāo)準(zhǔn)之前使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡?/p>

,,

施并保證符合國(guó)家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件

,。

注本標(biāo)準(zhǔn)中以國(guó)際單位制規(guī)定的數(shù)值作為標(biāo)準(zhǔn)值括號(hào)內(nèi)插入的數(shù)值僅供參考

:,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范表面結(jié)構(gòu)區(qū)域法第部分表面結(jié)構(gòu)測(cè)量方

ISO25178-6:2010(GPS)6:

法分類

(Geometricalproductsspecification—Surfacetexture:Areal—Part6:Classificationofmethods

formeasuringsurfacetexture)

測(cè)量不確定度表示指南

ISO/IECGuide98-3:2008(Uncertaintyofmeasurement—Part3:Guide

totheexpressionofuncertaintyinmeasurement)

測(cè)量不確定度評(píng)估的重復(fù)性再現(xiàn)性和準(zhǔn)確度評(píng)估的使用指南

ISO/TS21748:2004、(Guidance

fortheuseofrepeatability,reproducibilityandtruenessestimatesinmeasurementuncertaintyestima-

tion)

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

原子力顯微術(shù)atomicforcemicroscopyAFM

()

通過(guò)檢測(cè)探針與樣品表面相互作用力吸引力或排斥力來(lái)獲得表面高度進(jìn)而得到樣品表面形貌的

()

檢測(cè)技術(shù)

。

32

.

坐標(biāo)軸coordinateaxes

檢測(cè)表面形貌時(shí)使用的坐標(biāo)系

。

注通常采用直角坐標(biāo)系即各軸形成笛卡爾正交系x軸方向是樣品表面被跟蹤的主掃描方向軸方向是在樣

:,,