第9章傳感器的標(biāo)定

傳感器原理與工程應(yīng)用PrincipleandApplicationofSensors第9章傳感器的標(biāo)定

本章內(nèi)容9.1傳感器靜態(tài)特性的標(biāo)定9.2傳感器動(dòng)態(tài)特性的標(biāo)定9.3常用的標(biāo)定設(shè)備9.4傳感器標(biāo)定舉例第9章傳感器的標(biāo)定9.1傳感器靜態(tài)特性的標(biāo)定傳感器的標(biāo)定，就是利用精度高一級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)器具對(duì)傳感器進(jìn)行定度的過(guò)程，通過(guò)實(shí)驗(yàn)建立傳感器輸出量和輸入量之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，同時(shí)也確定不同使用條件下的誤差關(guān)系。傳感器的標(biāo)定分為靜態(tài)標(biāo)定和動(dòng)態(tài)標(biāo)定兩種。靜態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器靜態(tài)特性指標(biāo)，如線性度、靈敏度、滯后和重復(fù)性等。動(dòng)態(tài)標(biāo)定的目的是確定傳感器的動(dòng)態(tài)特性參數(shù)，如頻率響應(yīng)、時(shí)間常數(shù)、固有頻率和阻尼比等。工程測(cè)試中傳感器的標(biāo)定，應(yīng)在與其使用條件相似的環(huán)境下進(jìn)行。為獲得高的標(biāo)定精度，(尤其像電容式、壓電式傳感器等)應(yīng)將傳感器及其配用的電纜、放大器等測(cè)試系統(tǒng)一起標(biāo)定。有時(shí)，根據(jù)需要也要對(duì)溫度響應(yīng)、環(huán)境影響等進(jìn)行標(biāo)定。第9章傳感器的標(biāo)定

1.靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件傳感器的靜態(tài)特性是在靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)條件下進(jìn)行標(biāo)定的。所謂靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)是指沒(méi)有加速度、振動(dòng)、沖擊(除非這些參數(shù)本身就是被測(cè)物理量)及環(huán)境溫度一般為室溫(20℃±5℃)、相對(duì)濕度不大于85%，大氣壓力為(101±7)

kPa的情況。

2.靜態(tài)特性標(biāo)定系統(tǒng)對(duì)傳感器進(jìn)行靜態(tài)特性標(biāo)定，首先要建立標(biāo)定系統(tǒng)。傳感器的靜態(tài)標(biāo)定系統(tǒng)一般由以下幾部分組成：(1)被測(cè)物理量標(biāo)準(zhǔn)發(fā)生器。如測(cè)力機(jī)、活塞式壓力計(jì)、恒溫源等。(2)被測(cè)物理量標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)。如標(biāo)準(zhǔn)力傳感器、壓力傳感器、標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度——量規(guī)等。(3)被標(biāo)定傳感器所配接的信號(hào)調(diào)節(jié)器和顯示、記錄器等配接儀器精度應(yīng)是己知的，也作為標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試設(shè)備。第9章傳感器的標(biāo)定標(biāo)定系統(tǒng)分為絕對(duì)法標(biāo)定系統(tǒng)和比較法標(biāo)定系統(tǒng)。絕對(duì)法標(biāo)定系統(tǒng)：標(biāo)定精度高，但較復(fù)雜

標(biāo)定裝置能產(chǎn)生量值確定的高精度標(biāo)準(zhǔn)輸入量，將之傳遞給被標(biāo)定的傳感器，同時(shí)標(biāo)定裝置能測(cè)量并顯示出被標(biāo)定傳感器的輸出量。比較法標(biāo)定系統(tǒng)標(biāo)定裝置不能測(cè)量被測(cè)量，它產(chǎn)生的被測(cè)輸入量通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)傳感器測(cè)量，被標(biāo)定傳感器的輸出由高精度測(cè)量裝置測(cè)量并顯示。但如果被標(biāo)定傳感器包括后續(xù)測(cè)量電路和顯示部分，高精度輸出測(cè)量裝置就可去掉。第9章傳感器的標(biāo)定注意！在標(biāo)定傳感器時(shí)，所用的測(cè)量?jī)x器的精度至少要比被標(biāo)定的傳感器的精度高一個(gè)等級(jí)。

3.靜態(tài)特性標(biāo)定的步驟標(biāo)定過(guò)程步驟如下：(1)將傳感器全量程(測(cè)量范圍)分成若干等間距點(diǎn)；(2)根據(jù)傳感器量程分點(diǎn)情況，由小到大逐漸一點(diǎn)一點(diǎn)輸入標(biāo)準(zhǔn)量值，并記錄下與各輸入值相對(duì)應(yīng)的輸出值；(3)將輸入值由大到小一點(diǎn)一點(diǎn)的減少下來(lái)，同時(shí)記錄下與各輸入值相對(duì)應(yīng)的輸出值；(4)按(2)、(3)所述過(guò)程，對(duì)傳感器進(jìn)行正、反行程往復(fù)循環(huán)多次測(cè)試，將得到的輸出-輸入測(cè)試數(shù)據(jù)用表格列出或畫(huà)成曲線；(5)對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行必要的處理，根據(jù)處理結(jié)果就可以確定傳感器的線性度、靈敏度、滯后和重復(fù)性等靜態(tài)特性指標(biāo)。第9章傳感器的標(biāo)定9.2傳感器動(dòng)態(tài)特性的標(biāo)定傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定主要是研究傳感器的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，而與動(dòng)態(tài)響應(yīng)有關(guān)的參數(shù)，一階傳感器只有時(shí)間常數(shù)一個(gè)參數(shù)，二階傳感器則有固有頻率和阻尼比兩個(gè)參數(shù)。傳感器動(dòng)態(tài)特性標(biāo)定方法：

1.階躍響應(yīng)法由于獲取階躍信號(hào)比較方便，使用階躍響應(yīng)法測(cè)量傳感器動(dòng)態(tài)性能是一種較好的方法。對(duì)于一階傳感器，簡(jiǎn)單的方法就是測(cè)得階躍響應(yīng)之后，傳感器輸出值達(dá)到最終穩(wěn)定值的63.2%所經(jīng)歷的時(shí)間，即時(shí)間常數(shù)。但上述方法測(cè)量結(jié)果的可靠性僅僅取決于某些個(gè)別的瞬時(shí)值。為獲得較可靠的結(jié)果，應(yīng)記錄下整個(gè)響應(yīng)期間傳感器的輸出值，然后利用下述方法來(lái)確定時(shí)間常數(shù)。第9章傳感器的標(biāo)定已知一階傳感器的階躍響應(yīng)函數(shù)為：整理得：令：則表明z和時(shí)間t成線性關(guān)系，且，如圖所示。因此，可以根據(jù)測(cè)得的值，作出z-t曲線，再根據(jù)值算出時(shí)間常數(shù)。第9章傳感器的標(biāo)定對(duì)于二階傳感器，實(shí)際設(shè)計(jì)時(shí)都設(shè)計(jì)成欠阻尼系統(tǒng)，即阻尼比小于1，這樣過(guò)沖量不會(huì)太大，穩(wěn)定時(shí)間也不會(huì)過(guò)長(zhǎng)，如圖。它是以的角頻率作衰減振蕩的，稱為傳感器的阻尼振蕩頻率。按照求極值的通用方法，可以求得各振蕩峰值所對(duì)應(yīng)的時(shí)間為、、…。已知欠阻尼二階傳感器階躍響應(yīng)表達(dá)式為：第9章傳感器的標(biāo)定按求極值的通用方法，求得第一個(gè)峰值輸出為則對(duì)應(yīng)的最大超調(diào)量為測(cè)出最大超調(diào)量，則可算出阻尼比：第9章傳感器的標(biāo)定測(cè)出振蕩周期Td值，根據(jù)Td=以及與的關(guān)系，代入下式計(jì)算固有頻率：

2.頻率響應(yīng)法該方法利用正弦周期輸入信號(hào)，通過(guò)測(cè)定不同正弦激勵(lì)頻率下輸出與輸入的幅值比和相位差來(lái)確定傳感器的幅頻特性和相頻特性。根據(jù)一階傳感器幅頻特性曲線的伯得圖，其對(duì)數(shù)幅頻曲線下降3dB處所測(cè)取的角頻率，可求得一階傳感器的時(shí)間常數(shù)。第9章傳感器的標(biāo)定對(duì)欠阻尼二階傳感器，可從其幅頻特性曲線上測(cè)得3個(gè)特征量：零頻增益Ar(0)、共振頻率增益和共振角頻率。根據(jù)第1章分析得出的欠阻尼二階傳感器幅頻特性表達(dá)式通過(guò)對(duì)其求極值可推導(dǎo)出第9章傳感器的標(biāo)定

3.沖擊響應(yīng)法沖擊響應(yīng)法具有所需設(shè)備少、操作簡(jiǎn)便、調(diào)整控制方便的特點(diǎn)。如用于力傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定的落錘式?jīng)_擊臺(tái)就是根據(jù)重物自由下落，沖擊砧子所產(chǎn)生的沖擊力作為標(biāo)準(zhǔn)動(dòng)態(tài)力的。用沖擊信號(hào)作為傳感器輸入時(shí)，傳感器系統(tǒng)傳遞函數(shù)為其輸出信號(hào)的拉氏變換，由此可確定傳感器的傳遞函數(shù)。9.3常用的標(biāo)定設(shè)備9.3.1靜態(tài)標(biāo)定設(shè)備

1.力標(biāo)定設(shè)備測(cè)力傳感器的標(biāo)定主要是靜態(tài)標(biāo)定，采用比較法。1)測(cè)力砝碼最簡(jiǎn)單的力標(biāo)定設(shè)備是各種測(cè)力砝碼。第9章傳感器的標(biāo)定我國(guó)基準(zhǔn)測(cè)力裝置是固定式基準(zhǔn)測(cè)力機(jī)，它實(shí)際上是由一組在重力場(chǎng)中體現(xiàn)基準(zhǔn)力值的直接加荷砝碼(靜重砝碼)組成。圖(a)所示為一種杠桿式測(cè)力機(jī)，這是一種直接加測(cè)力法碼的標(biāo)定裝置。圖(b)所示為一種液壓式測(cè)力機(jī)原理圖，其中砝碼經(jīng)油路產(chǎn)生的力作為標(biāo)準(zhǔn)力，作用在被標(biāo)定傳感器上，量程可高達(dá)5MN。第9章傳感器的標(biāo)定2)拉壓式測(cè)力計(jì)圖示為一種用環(huán)形測(cè)力計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn)的推力標(biāo)定裝置。它由液壓缸產(chǎn)生測(cè)力，測(cè)力計(jì)的彈性敏感元件為橢圓形鋼環(huán)，環(huán)體受力后的變形量與作用力成線性關(guān)系，測(cè)出測(cè)力環(huán)變形量作為標(biāo)準(zhǔn)輸入。如果用杠桿放大機(jī)構(gòu)和百分表結(jié)構(gòu)來(lái)讀取測(cè)力環(huán)變形量，或用光學(xué)顯微鏡讀取，甚至采用光學(xué)干涉法讀取，則可大大提高測(cè)量精度。第9章傳感器的標(biāo)定

2.壓力標(biāo)定設(shè)備活塞壓力計(jì)是目前最常用的壓力傳感器靜態(tài)標(biāo)定裝置。圖示為活塞壓力計(jì)結(jié)構(gòu)原理圖。1—測(cè)量活塞；2—砝碼；3—活塞柱；4—手搖泵；5—工作液；6—被校壓力表；7—手輪；8—絲桿；9—手搖泵活塞；10—油杯；11—進(jìn)油閥手輪；12—托盤(pán)；13—標(biāo)準(zhǔn)壓力表；a、b、c—切斷閥；d—進(jìn)油閥第9章傳感器的標(biāo)定活塞壓力計(jì)實(shí)物圖第9章傳感器的標(biāo)定在壓力表(壓力傳感器)標(biāo)定時(shí)，通過(guò)手輪對(duì)加壓泵內(nèi)的油液加壓，根據(jù)流體靜力學(xué)中液體壓力傳遞平衡原理，該外加壓力均勻傳遞到活塞缸內(nèi)頂起活塞。由于活塞上部是承重盤(pán)和砝碼，當(dāng)油液中的壓力p產(chǎn)生的活塞上頂力與承重盤(pán)和砝碼的重力相等時(shí)，活塞被穩(wěn)定在某一平衡位置上，這時(shí)力平衡關(guān)系為式中：A為活塞的截面積；G為承重盤(pán)和砝碼(包括活塞)的總重力；p為被測(cè)壓力。1—測(cè)量活塞；2—砝碼；6—被校壓力表；9—手搖泵活塞；13—標(biāo)準(zhǔn)壓力表；第9章傳感器的標(biāo)定一般取A=1cm2或0.1cm2，因而可以方便準(zhǔn)確地由平衡時(shí)所加砝碼和承重盤(pán)本身的重力知道被測(cè)壓力p的數(shù)值。通過(guò)被標(biāo)定壓力表(傳感器)上的壓力指示值與這一標(biāo)準(zhǔn)壓力值p相比較，就可知道被標(biāo)定壓力表(傳感器)誤差大小。在現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定時(shí)，為了操作方便，可以不用砝碼加載，而直接用標(biāo)準(zhǔn)壓力表讀取所加壓力。作為壓力標(biāo)準(zhǔn)的活塞壓力計(jì)精度為0.002%，作為國(guó)家基準(zhǔn)器的活塞壓力計(jì)最高精度為0.005%，一等標(biāo)準(zhǔn)精度為0.01%，二等標(biāo)準(zhǔn)精度為0.05%，三等標(biāo)準(zhǔn)精度為0.2%，一般工業(yè)用壓力表用三等精度活塞壓力計(jì)校準(zhǔn)。第9章傳感器的標(biāo)定

3.位移(長(zhǎng)度)標(biāo)定設(shè)備位移(長(zhǎng)度)測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定主要采用比較法。標(biāo)定設(shè)備主要是各種長(zhǎng)度計(jì)量器具，如各種直尺、千分尺、塊規(guī)、塞規(guī)、專(zhuān)門(mén)制造的標(biāo)準(zhǔn)樣柱等均可作為位移傳感器的靜態(tài)標(biāo)定設(shè)備。當(dāng)精度為2.5～10時(shí)可直接用度盤(pán)指示器和千分尺作標(biāo)準(zhǔn)器；如測(cè)量精度高于2.5，則應(yīng)用塊規(guī)來(lái)標(biāo)定傳感器。塊規(guī)精度高，使用方便，標(biāo)定范圍廣，是工業(yè)中常用的長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)器。塊規(guī)由軸承鋼制成，具有兩個(gè)相對(duì)經(jīng)拋光的基準(zhǔn)平面，它們的平面度和平行度都限制在規(guī)定的公差范圍內(nèi)。作為標(biāo)準(zhǔn)用的塊規(guī)的準(zhǔn)確度為±0.03/cm。第9章傳感器的標(biāo)定塊規(guī)實(shí)物圖塊規(guī)的使用第9章傳感器的標(biāo)定用塊規(guī)來(lái)進(jìn)行標(biāo)定時(shí)可以采用直接比較法和光干涉法。直接比較法光干涉法第9章傳感器的標(biāo)定塊規(guī)只能進(jìn)行靜態(tài)的和小尺寸的標(biāo)定。對(duì)大量程長(zhǎng)度測(cè)量裝置的標(biāo)定可用雙頻激光干涉儀。雙頻激光干涉儀的基本工作原理是光干涉原理，它的特點(diǎn)是利用兩個(gè)頻率相差很小的光的干涉，亦即用時(shí)間頻率代替了一般干涉儀的空間頻率，因此對(duì)于環(huán)境震動(dòng)、空氣湍流等的影響不敏感，儀器的分辨力可達(dá)到納米級(jí)。當(dāng)用雙頻激光儀和被標(biāo)定的測(cè)量裝置同時(shí)對(duì)運(yùn)動(dòng)物體進(jìn)行測(cè)量時(shí)，就可以得到測(cè)量裝置的動(dòng)態(tài)誤差。

4.溫度標(biāo)定設(shè)備標(biāo)定溫度測(cè)量系統(tǒng)的方法可以分為兩類(lèi)：一是同一次標(biāo)準(zhǔn)比較，即按照國(guó)際計(jì)量委員會(huì)1990年通過(guò)的國(guó)際溫標(biāo)(ITS-1990)相比較,見(jiàn)表9-1；二是與某個(gè)已經(jīng)標(biāo)定的標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行比較，這是常用的標(biāo)定方法。第9章傳感器的標(biāo)定復(fù)現(xiàn)表9-1中這些基準(zhǔn)點(diǎn)的方法是用一個(gè)內(nèi)裝有參考材料的密封容器，將待標(biāo)定的溫度傳感器的敏感元件放在伸入容器中心位置的套管中。然后加熱，使溫度超過(guò)參考物質(zhì)的熔點(diǎn)，待物質(zhì)全部熔化。隨后冷卻，達(dá)到三相點(diǎn)(或凝固點(diǎn))后，只要同時(shí)存在固、液、氣三態(tài)或(固、液態(tài))約幾分鐘，溫度就穩(wěn)定下來(lái)，并能保持規(guī)定值不變。對(duì)于定義固定點(diǎn)之間的溫度，ITS-1990國(guó)際溫標(biāo)把溫度分為4個(gè)溫區(qū)，各個(gè)溫區(qū)的范圍、使用的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫儀器分別為：(1)

0.65～5.0

K間為3He或4He蒸氣壓溫度計(jì)；(2)

3.0～24.5561

K間為3He或4He定容氣體溫度計(jì)；(3)

13.8033

K～961.78℃間為鉑電阻溫度計(jì)；(4)

961.78℃以上為光學(xué)或光電高溫計(jì)。以上有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)溫儀器的分度方法以及固定點(diǎn)之間的內(nèi)插公式，ITS-1990國(guó)際溫標(biāo)都有明確的規(guī)定，可參考ITS-1990標(biāo)準(zhǔn)文本。第9章傳感器的標(biāo)定

熱電偶的標(biāo)定(校準(zhǔn)):目的是核對(duì)標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的熱電動(dòng)勢(shì)-溫度關(guān)系是否符合標(biāo)準(zhǔn)，或確定非標(biāo)準(zhǔn)熱電偶的熱電動(dòng)勢(shì)——溫度標(biāo)定曲線，也可以通過(guò)標(biāo)定消除測(cè)量系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差。標(biāo)定方法有定點(diǎn)法和比較法。定點(diǎn)法是以純?cè)氐姆悬c(diǎn)或凝固點(diǎn)作為溫度標(biāo)準(zhǔn)。如基準(zhǔn)鉑銠

10-鉑熱電偶在630.755～1064.43℃的溫度間隔內(nèi)，以金的凝固點(diǎn)1064.43℃、銀的凝固點(diǎn)961.93℃、銻的凝固點(diǎn)630.775℃作為標(biāo)準(zhǔn)溫度進(jìn)行標(biāo)定。比較法是將標(biāo)準(zhǔn)熱電偶與被標(biāo)定熱電偶之間直接進(jìn)行比較，比較法又可分為雙極法、同名極法(單極法)和微差法。第9章傳感器的標(biāo)定雙極比較法檢定系統(tǒng)原理原理圖。檢定時(shí)將標(biāo)準(zhǔn)熱電偶與被標(biāo)定熱電偶的工作端捆扎在一起，插入爐膛內(nèi)的均勻溫度場(chǎng)中，冷端分別插在0℃的恒溫器中。用調(diào)壓變壓器調(diào)節(jié)爐溫，當(dāng)爐溫到達(dá)所需的標(biāo)定溫度點(diǎn)±10℃內(nèi)，且爐溫變化每分鐘不超過(guò)0.2℃時(shí)，讀取數(shù)據(jù)。每一個(gè)標(biāo)定點(diǎn)溫度的讀數(shù)不得少于4次。第9章傳感器的標(biāo)定

9.3.2動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備

1.振動(dòng)傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備采用振動(dòng)臺(tái)(激振器)產(chǎn)生正弦激勵(lì)信號(hào)。振動(dòng)臺(tái)有機(jī)械的、電磁的、液壓的等多種。常用的是電磁振動(dòng)臺(tái)，能產(chǎn)生5～7.5

kHz范圍激振頻率。高頻激振器多用壓電式，頻率范圍為幾千赫到幾百萬(wàn)赫。機(jī)械振動(dòng)臺(tái)種類(lèi)較多，其中偏心慣性質(zhì)量式最常用。液壓振動(dòng)臺(tái)是用高壓液體通過(guò)電液伺服閥驅(qū)動(dòng)作功進(jìn)而推動(dòng)臺(tái)面產(chǎn)生振動(dòng)的激振設(shè)備，它的低頻響應(yīng)好，推力大，常用來(lái)作為大噸位激振設(shè)備。振動(dòng)的標(biāo)定方法有絕對(duì)校準(zhǔn)法、比較法和互易法。絕對(duì)法標(biāo)定是由標(biāo)準(zhǔn)儀器直接準(zhǔn)確決定出振動(dòng)臺(tái)的振幅和頻率，它有精度高、可靠性大的優(yōu)點(diǎn)。但該方法對(duì)設(shè)備精度要求高，標(biāo)定時(shí)間長(zhǎng)，一般用在計(jì)量部門(mén)。第9章傳感器的標(biāo)定

比較法的原理簡(jiǎn)單、操作方便，對(duì)設(shè)備精度要求較低，所以應(yīng)用很廣。上圖為一個(gè)用比較法標(biāo)定振動(dòng)傳感器的示意圖，將相同的運(yùn)動(dòng)加在兩個(gè)傳感器上，比較它們的輸出。在比較法中，標(biāo)準(zhǔn)傳感器是關(guān)鍵部件，因此它必須滿足如下要求：靈敏度精度優(yōu)于0.5%，并具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性，線性好；橫向靈敏度比小于2.5%；對(duì)環(huán)境的響應(yīng)小，自振頻率盡量高。第9章傳感器的標(biāo)定振動(dòng)標(biāo)定的內(nèi)容主要有靈敏度、頻率響應(yīng)、固有振動(dòng)頻率、橫向靈敏度等。

靈敏度的標(biāo)定是在傳感器規(guī)定的頻率響應(yīng)范圍內(nèi)，進(jìn)行單頻標(biāo)定。亦即在頻率保持恒定的條件下，改變振動(dòng)臺(tái)的振幅，讀出傳感器的輸出電壓值(或其他量值)，就可以得到它的振幅—電壓曲線。與標(biāo)準(zhǔn)傳感器相比較，就可以從下式求得它的靈敏度：式中：U1、U2分別為待測(cè)傳感器和標(biāo)準(zhǔn)傳感器的輸出電壓；S1、S2分別為待測(cè)傳感器和標(biāo)準(zhǔn)傳感器的靈敏度。

頻率響應(yīng)的標(biāo)定是在振幅恒定條件下，改變振動(dòng)臺(tái)的振動(dòng)頻率，所得到的輸出電壓與頻率的對(duì)應(yīng)關(guān)系即傳感器的幅頻響應(yīng)；比較待測(cè)傳感器與標(biāo)準(zhǔn)傳感器輸出信號(hào)間的相位差，就可以得到傳感器的相頻特性。相位差可以用相位計(jì)讀出，也可以用示波器觀察它們的李沙育圖形求得。第9章傳感器的標(biāo)定頻率響應(yīng)的標(biāo)定至少要做七點(diǎn)以上，并應(yīng)注意有無(wú)局部諧振現(xiàn)象的存在。這可以用頻率掃描方法來(lái)檢查。固有振動(dòng)頻率的測(cè)定是用高頻振動(dòng)臺(tái)作激勵(lì)源，振動(dòng)臺(tái)的運(yùn)動(dòng)質(zhì)量應(yīng)大于傳感器質(zhì)量十倍以上。橫向靈敏度是在單一頻率下進(jìn)行的。要求振動(dòng)臺(tái)的軸向運(yùn)動(dòng)速度比橫向速度大100倍以上。小于1%的橫向靈敏度則要求更加嚴(yán)格。

2.壓力傳感器的動(dòng)態(tài)標(biāo)定設(shè)備壓力傳感器動(dòng)態(tài)標(biāo)定時(shí)常用激波管產(chǎn)生階躍壓力信號(hào)。激波管結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便可靠，標(biāo)定精度可達(dá)4%～5%。所謂激波，