GB/T 29556-2013表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測(cè)到的樣品面積的測(cè)定

ICS7104040

G04..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜橫向分辨率分析面積和

、

分析器所能檢測(cè)到的樣品面積的測(cè)定

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

hotoelectronsectrosco—Determinationoflateralresolution

pppy,

analsisareaandsamleareaviewedbtheanalser

y,pyy

(ISO/TR19319:2003,IDT)

2013-07-19發(fā)布2014-03-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)和給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009GB/T20000.2—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子

ISO/TR19319:2003《X

能譜橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測(cè)到的樣品面積的測(cè)定

、》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位廈門(mén)愛(ài)勞德光電有限公司清華大學(xué)化學(xué)系中國(guó)科學(xué)院化學(xué)所

:、、。

本標(biāo)準(zhǔn)起草人王水菊岑丹霞姚文清李展平劉芬

:、、、、。

Ⅰ

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

引言

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以下四個(gè)方面

:

提供測(cè)定俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率的指導(dǎo)這里測(cè)量的是與樣品表面上

a)X,

的位置相關(guān)聯(lián)的俄歇電子或射線光電子的峰強(qiáng)度

X。

提供在俄歇電子能譜和射線光電子能譜的應(yīng)用中測(cè)定分析面積的指導(dǎo)

b)X。

提供在俄歇電子能譜和射線光電子能譜的應(yīng)用中測(cè)定分析器所能檢測(cè)到的樣品面積的

c)X

指導(dǎo)

。

為制定測(cè)量俄歇電子能譜和射線光電子能譜的橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測(cè)到

d)X、

的樣品面積的新國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)提供基礎(chǔ)

。

Ⅱ

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜橫向分辨率分析面積和

、

分析器所能檢測(cè)到的樣品面積的測(cè)定

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測(cè)到的樣

X、

品面積的測(cè)量方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率分析面積和分析器的檢測(cè)

X、。

2術(shù)語(yǔ)和定義

[1]界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件為便于使用下面給出了[1]中分析面

ISO18115。,ISO18115“

積適用于樣品和橫向分辨率的定義

<>”“”。

21

.

分析面積analysisarea

適用于樣品在樣品平整表面內(nèi)檢測(cè)到全部分析信號(hào)或該信號(hào)特定百分?jǐn)?shù)的該平整表面的二維

<>

區(qū)域

。

22

.

橫向分辨率lateralresolution

在樣品平整表面內(nèi)或在與成像光學(xué)軸成直角的平面內(nèi)能可信地分別確定組成改變時(shí)所測(cè)試的

,

距離

。

注1應(yīng)說(shuō)明平面的選取

:。

注2實(shí)際中橫向分辨率可以理解為

:,:

從樣品上非常小的發(fā)射點(diǎn)的強(qiáng)度分布的半高寬或

a)(FWHM);

穿越含有與要分辨性質(zhì)相關(guān)的明顯臺(tái)階函數(shù)信號(hào)的樣品部分進(jìn)行線掃描時(shí)強(qiáng)度為和兩點(diǎn)間的

b),12%88%

距離對(duì)高斯型強(qiáng)度分布而言這兩個(gè)值是相同的對(duì)其他分布而言選擇其他參數(shù)可能更合適對(duì)臺(tái)階

,,。,。

函數(shù)在線掃描中常使用強(qiáng)度為和的兩點(diǎn)間或強(qiáng)度為和的兩點(diǎn)間的距離后一對(duì)是

,20%80%16%84%。

高斯分辨函數(shù)的σ寬度

2。