GB/T 29556-2013表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線光電子能譜橫向分辨率、分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定

ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜橫向分辨率分析面積和

、

分析器所能檢測到的樣品面積的測定

Surfacechemicalanalysis—AugerelectronspectroscopyandX-ray

hotoelectronsectrosco—Determinationoflateralresolution

pppy,

analsisareaandsamleareaviewedbtheanalser

y,pyy

(ISO/TR19319:2003,IDT)

2013-07-19發(fā)布2014-03-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

前言

本標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)和給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009GB/T20000.2—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)使用翻譯法等同采用表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和射線光電子

ISO/TR19319:2003《X

能譜橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測到的樣品面積的測定

、》。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位廈門愛勞德光電有限公司清華大學(xué)化學(xué)系中國科學(xué)院化學(xué)所

:、、。

本標(biāo)準(zhǔn)起草人王水菊岑丹霞姚文清李展平劉芬

:、、、、。

Ⅰ

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

引言

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以下四個方面

:

提供測定俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率的指導(dǎo)這里測量的是與樣品表面上

a)X,

的位置相關(guān)聯(lián)的俄歇電子或射線光電子的峰強(qiáng)度

X。

提供在俄歇電子能譜和射線光電子能譜的應(yīng)用中測定分析面積的指導(dǎo)

b)X。

提供在俄歇電子能譜和射線光電子能譜的應(yīng)用中測定分析器所能檢測到的樣品面積的

c)X

指導(dǎo)

。

為制定測量俄歇電子能譜和射線光電子能譜的橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測到

d)X、

的樣品面積的新國際標(biāo)準(zhǔn)和國家標(biāo)準(zhǔn)提供基礎(chǔ)

。

Ⅱ

GB/T29556—2013/ISO/TR193192003

:

表面化學(xué)分析俄歇電子能譜和X射線

光電子能譜橫向分辨率分析面積和

、

分析器所能檢測到的樣品面積的測定

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率分析面積和分析器所能檢測到的樣

X、

品面積的測量方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜和射線光電子能譜橫向分辨率分析面積和分析器的檢測

X、。

2術(shù)語和定義

[1]界定的術(shù)語和定義適用于本文件為便于使用下面給出了[1]中分析面

ISO18115。,ISO18115“

積適用于樣品和橫向分辨率的定義

<>”“”。

21

.

分析面積analysisarea

適用于樣品在樣品平整表面內(nèi)檢測到全部分析信號或該信號特定百分?jǐn)?shù)的該平整表面的二維

<>

區(qū)域

。

22

.

橫向分辨率lateralresolution

在樣品平整表面內(nèi)或在與成像光學(xué)軸成直角的平面內(nèi)能可信地分別確定組成改變時所測試的

,

距離

。

注1應(yīng)說明平面的選取

:。

注2實(shí)際中橫向分辨率可以理解為

:,:

從樣品上非常小的發(fā)射點(diǎn)的強(qiáng)度分布的半高寬或

a)(FWHM);

穿越含有與要分辨性質(zhì)相關(guān)的明顯臺階函數(shù)信號的樣品部分進(jìn)行線掃描時強(qiáng)度為和兩點(diǎn)間的

b),12%88%

距離對高斯型強(qiáng)度分布而言這兩個值是相同的對其他分布而言選擇其他參數(shù)可能更合適對臺階

,,。,。

函數(shù)在線掃描中常使用強(qiáng)度為和的兩點(diǎn)間或強(qiáng)度為和的兩點(diǎn)間的距離后一對是

,20%80%16%84%。

高斯分辨函數(shù)的σ寬度

2。