GB/T 31470-2015俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測(cè)試中確定檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的通則

ICS1722020

N26..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31470—2015

俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測(cè)試

中確定檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的通則

Standardpracticefordeterminationofthespecimenareacontributingto

thedetectedsignalinAugerelectronspectrometersandsome

X-rayphotoelectronspectrometers

2015-05-15發(fā)布2016-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T31470—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院蘇州晶瑞化

:、、

學(xué)有限公司天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李雨辰何秀坤劉筠劉兵李翔

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31470—2015

引言

俄歇電子能譜和射線光電子能譜廣泛地應(yīng)用于材料的表面分析本標(biāo)準(zhǔn)總結(jié)了對(duì)于具有聚焦

X。

電子束或聚焦射線束功能的儀器當(dāng)可掃描區(qū)域大于樣品被分析器檢測(cè)到的區(qū)域使得通過(guò)選擇電

X,,

子能量分析器的運(yùn)行條件來(lái)確定觀察到的樣品區(qū)域的方法樣品被觀察到的區(qū)域依賴于電子在能量分

。

析之前是否被減速分析器的通過(guò)能或者減速比如果電子在能量分析之前被減速所選擇的狹縫或孔

、,,

徑及電子能量值可以被測(cè)出被觀察到的區(qū)域依賴電子能量分析器運(yùn)行條件的選擇也可能與樣品的適

。

當(dāng)?shù)恼{(diào)整有關(guān)

。

本標(biāo)準(zhǔn)可以給出電子能量分析器在特定的運(yùn)行條件下成像特性的信息這個(gè)信息對(duì)將分析器性能

。

與廠商說(shuō)明書(shū)中所描述的進(jìn)行比較具有一定幫助

。

Ⅱ

GB/T31470—2015

俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測(cè)試

中確定檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的通則

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜和部分類型的射線光電子能譜檢測(cè)信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的確定方法

X。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的射線光電子能譜入射光束激發(fā)的樣品區(qū)域

X:X

大于分析器可檢測(cè)到的樣品區(qū)域光電子從樣品到分析器入口的過(guò)程中經(jīng)過(guò)自由空間裝配有輔助電子

;;

槍可以產(chǎn)生一束可變能量的電子束照射到樣品上

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

俄歇電子能譜術(shù)和射線光電子能譜術(shù)的樣品處理標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)則

SJ/T10458—1993X

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4縮略語(yǔ)

下列縮略語(yǔ)適用于本文件

。

俄歇電子能譜

AES:(Augerelectronspectrometer)

射線光電子能譜

XPS:X(X-rayphotoelectronspectrometer)

半高峰寬

FWHM:(fullwidthathalfmaximum)

5儀器

51試樣

.

建議被測(cè)樣品是金屬箔一類的導(dǎo)體橫向的尺寸大于電子能量分析器檢測(cè)區(qū)域的尺寸試樣晶粒

,。

尺寸應(yīng)小于分析器預(yù)期的空間分辨率或者入射電子束的直徑以避免溝道效應(yīng)或衍射效應(yīng)造成的假象

,。

樣品表面應(yīng)光滑沒(méi)有刮痕以及憑肉眼可以觀察到的類似缺陷使用離子濺射或其他方法來(lái)清除

,,。

樣品表面沾污例如氧化物吸附的碳?xì)浠衔锏缺砻鏉崈舳瓤梢杂没驕y(cè)量進(jìn)行驗(yàn)證

(,、),AESXPS。

52電子