GB/T 31986-2015電子工業(yè)用氣體八氟丙烷

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31986—2015

電子工業(yè)用氣體八氟丙烷

Gasforelectronicindustry—Perfluoropropane

2015-09-11發(fā)布2016-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T31986—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位國家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心福建浙江省化工研究院有限公司

:()、、

佛山市華特氣體有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司中昊光明化

、、、

工研究設(shè)計院有限公司四川中測標(biāo)物科技有限公司天津長蘆華信化工股份有限公司西南化工研究

、、、

設(shè)計院有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人林宇巍陳熔史婉君方路廖恒易金向華孫猛方華孫福楠方正崔學(xué)文

:、、、、、、、、、、、

周鵬云

。

Ⅰ

GB/T31986—2015

電子工業(yè)用氣體八氟丙烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了八氟丙烷的技術(shù)要求試驗方法包裝標(biāo)志貯運和安全

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制備并通過精餾吸附催化等工藝提純的八氟丙烷產(chǎn)品

,、、,

以及碳和氟直接反應(yīng)法合成的八氟丙烷產(chǎn)品它在電子工業(yè)等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或清洗

。

氣體

。

分子式

:C3F8。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量

:188.017(2011)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

氣體中一氧化碳二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

GB/T8984、

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險化學(xué)品安全管理條例版

(2011)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

八氟丙烷的質(zhì)量應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

八氟丙烷純度體積分?jǐn)?shù)-2

(C3F8)()/10≥99.99999.99

氧氬含量體積分?jǐn)?shù)-6

(+)(O2+Ar)()/10<1