GB/T 32188-2015氮化鎵單晶襯底片X射線雙晶搖擺曲線半高寬測(cè)試方法

ICS77040

H21.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32188—2015

氮化鎵單晶襯底片X射線雙晶搖擺曲線

半高寬測(cè)試方法

TestmethodforfullwidthathalfmaximumofdoublecrystalX-rayrocking

curveofGaNsinglecrystalsubstrate

2015-12-10發(fā)布2016-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T32188—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì)共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所蘇州納維科技有限公司中國(guó)科學(xué)

:、、

院物理研究所北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體有限公司丹東新東方晶體儀器有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人邱永鑫任國(guó)強(qiáng)劉爭(zhēng)暉曾雄輝王建峰陳小龍王文軍鄭紅軍徐科

:、、、、、、、、、

趙松彬

。

Ⅰ

GB/T32188—2015

氮化鎵單晶襯底片X射線雙晶搖擺曲線

半高寬測(cè)試方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用雙晶射線衍射儀測(cè)試氮化鎵單晶襯底片搖擺曲線半高寬的方法

X。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)氣相沉積及其他方法生長(zhǎng)制備的氮化鎵單晶襯底片

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

GB/T14264

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

衍射平面thediffractionplane

射線入射束衍射束構(gòu)成的平面

X、。

32

.

半高寬fullwidthathalfmaximumFWHM

;

搖擺曲線最大強(qiáng)度一半處曲線的寬度

。

33

.

χ軸χaxis

傾斜樣品的軸由樣品臺(tái)表面和衍射平面相交而成

,。

34

.

χ角χangle

樣品某晶面與樣品表面的夾角

。

35

.

φ角φangle

樣品臺(tái)繞樣品表面法線旋轉(zhuǎn)的角度

。

36

.

φ掃描φscan

連續(xù)改變角并記錄衍射強(qiáng)度的測(cè)量模式

φ。

37

.

ω角ω