JJF 1503-2015電容薄膜真空計校準規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術規(guī)范

JJF1503—2015

電容薄膜真空計校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforCapacitanceDiaphragmVacuumGauges

2015-01-30發(fā)布2015-04-30實施

國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

JJF1503—2015

電容薄膜真空計校準規(guī)范??

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CalibrationSecificationfor?JJF1503—2015?

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CapacitanceDiaphragmVacuumGauges

歸口單位全國壓力計量技術委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

參加起草單位上海市計量測試技術研究院

:

上海振太儀表有限公司

浙江省計量科學研究院

本規(guī)范委托全國壓力計量技術委員會負責解釋

JJF1503—2015

本規(guī)范主要起草人

:

于紅燕中國計量科學研究院

()

王金庫中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

許紅上海市計量測試技術研究院

()

丁基敏上海振太儀表有限公司

()

陳宇航浙江省計量科學研究院

()

JJF1503—2015

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和計量單位

3………………………(1)

術語

3.1…………………(1)

計量單位

3.2……………(2)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(3)

修正因子

5.1……………(3)

零位變化量

5.2…………(3)

校準條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

測量標準及其他設備

6.2………………(3)

校準項目和校準方法

7…………………(4)

校準項目

7.1……………(4)

校準方法

7.2……………(4)

校準結果表達

8…………(7)

復校時間間隔

9…………(8)

附錄電容薄膜真空計校準記錄格式

A………………(9)

附錄校準證書內(nèi)頁格式

B()………(10)

附錄電容薄膜真空計修正因子測量結果的不確定度評定方法

C…(11)

附錄熱流逸效應下電容薄膜真空計修正因子的溫度修正

D………(15)

Ⅰ

JJF1503—2015

引言

國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則通用計量術語及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義測量不確定度評定與表示和真空技術術語

》、JJF1059-1《》GB/T3163—2007《》

共同構成本規(guī)范制定的基礎性系列規(guī)范

。

本校準規(guī)范參照真空計與標準真空計直接比對的

ISO/TS3567:2011(E)《———

校準

》(Vacuumgauge—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)、

真空技術真空計與標準真空計直接比對校準結果

ISO/TS27893:2009(E)《——————

的不確定度評定

》(Vacuumtechnology—Vacuumgauge—Evaluationoftheuncertaintiesof

和真空技術手冊

resultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)《》

中第章全壓真空計

(HandbookofVacuumTechnology)13(TotalPressureVacuum

和第章校準和標準進行制定采用了其中的

Gauge)15(CalibrationsandStandards),

基本原則對具體方法和技術指標進行了細化補充和修改

,、。

本規(guī)范為首次制定

。

Ⅱ

JJF1503—2015

電容薄膜真空計校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于測量范圍在的電容薄膜真空計的校準其中包括絕

0.1Pa~133kPa,

壓電容薄膜真空計和差壓電容薄膜真空計

。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

通用計量術語及定義

JJF1001—2011

壓力計量名詞術語及定義

JJF1008—2008

真空技術術語

GB/T3163—2007

真空技術圖形符號

GB/T3164—2007

真空計與標準真空計直接比對的校準

ISO/TS3567:2011(E)———(Vacuum

gauge—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)

真空技術真空計與標準真空計直接比對校準

ISO/TS27893:2009(E)——————

結果的不確定度評定

(Vacuumtechnology—Vacuumgauge—Evaluationoftheuncer-

taintiesofresultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)

真空技術手冊第章校準和標準

《》(HandbookofVacuumTechnology)15(Cali-

brationsandStandards)

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術語和計量單位

術語

3.1

真空計定義

3.1.1(vacuumgauge)[GB/T3163—20074.1.2]

測量低于大氣壓力的氣體或蒸汽壓力的一種儀器

。

電容薄膜真空計

3.1.2(capacitancediaphragmvacuumgauge)

利用膜片受到壓差產(chǎn)生位移造成膜片與固定電極之間的電容量發(fā)生變化