- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2007-12-02 頒布
- 2008-06-01 實施
下載本文檔
文檔簡介
犐犆犛23.160
犑78
中華人民共和國國家標準
犌犅/犜3163—2007
代替GB/T3163—1993
真空技術術語
犞犪犮狌狌犿狋犲犮犺狀狅犾狅犵狔—犜犲狉犿犻狀狅犾狅犵狔
(ISO3529:1981Vacuumtechnology—Vocabulary,MOD)
20071202發(fā)布20080601實施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
書
犌犅/犜3163—2007
目次
前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ
1范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
2一般術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!1
3真空泵及有關術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!6
4真空計!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!13
5真空系統(tǒng)及有關術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!19
6檢漏及有關術語!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!25
7真空鍍膜技術!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!27
8真空干燥和冷凍干燥!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!32
9表面分析技術!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!37
10真空冶金!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!42
附錄A(資料性附錄)在采用國際單位制(SI制)之前使用的壓力單位和換算系數(shù)!!!!!!48
附錄B(資料性附錄)符號表!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!50
附錄C(資料性附錄)真空泵分類表!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!51
附錄D(資料性附錄)本標準章條編號與ISO3529:1981章條編號的對照一覽表!!!!!!!52
附錄E(資料性附錄)本標準與ISO3529:1981的技術性差異!!!!!!!!!!!!!!!56
中文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!57
英文索引!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!73
參考文獻!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!89
Ⅰ
書
犌犅/犜3163—2007
前言
本標準修改采用ISO35291:1981《真空技術術語第1部分:一般術語》(英文版)、ISO35292:
1981《真空技術術語第2部分:真空泵及有關術語》(英文版)和ISO35293:1981《真空技術術
語第3部分:真空計》(英文版)。
本標準對ISO35291:1981、ISO35292:1981和ISO35293:1981進行了整合并重新起草。
在采用ISO3529:1981《真空技術術語》時,刪除了國際標準的前言,考慮到技術的發(fā)展,本標準
增加了一些條款,也做了一些編輯上的修改:
ISO35291:1981中的附錄A為本標準中的附錄A;
ISO35291:1981中的附錄B為本標準中的附錄B;
ISO35292:1981中的附錄A為本標準中的附錄C;
ISO35291:1981、ISO35292:1981和ISO35293:1981中的英文索引整合為本標準中的英文
索引。
本標準參考了DIN28400《真空技術術語及定義》的系列標準,增加了真空技術術語的章節(jié)。分
別是:
———第5章:真空系統(tǒng)及有關術語;
———第6章:檢漏及有關術語;
———第7章:真空鍍膜技術;
———第8章:真空干燥和冷凍干燥;
———第9章:表面分析技術;
———第10章:真空冶金。
在附錄D中列出了本標準章條編號與ISO3529:1981《真空技術術語》章條編號的對照一覽表。
將有關技術性差異編入正文中并在它們所涉及的條目的頁邊空白處用垂直單線標識。在附錄E中給
出了這些技術性的差異及其原因的一覽表以供參考。
本標準增加了參考文獻和中文索引。
本標準代替GB/T3163—1993《真空技術術語》。
本標準的附錄A、附錄B、附錄C、附錄D、附錄E均為資料性附錄。
本標準由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出。
本標準由全國真空技術標準化技術委員會(SAC/TC18)歸口。
本標準起草單位:東北大學、沈陽真空技術研究所。
本標準主要起草人:張世偉、王曉冬、巴德純、張以忱、徐成海、王學智。
本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:
———GB/T3163—1982、GB/T3163—1993。
Ⅲ
犌犅/犜3163—2007
真空技術術語
1范圍
本標準規(guī)定了真空技術方面的一般術語、真空泵及有關術語、真空計術語、真空系統(tǒng)及有關術語、檢
漏及有關術語、真空鍍膜技術術語、真空干燥和冷凍干燥術語、表面分析技術術語和真空冶金術語。
本標準適用于真空技術方面的技術文件、標準、書籍和手冊等有關資料的編寫。
2一般術語
2.1
標準環(huán)境條件狊狋犪狀犱犪狉犱犪犿犫犻犲狀狋犮狅狀犱犻狋犻狅狀狊
溫度:20℃
相對濕度:65%
干燥空氣大氣壓力:101325Pa=1013.25mbar
2.2
標準氣體狀態(tài)狊狋犪狀犱犪狉犱狉犲犳犲狉犲狀犮犲犮狅狀犱犻狋犻狅狀狊犳狅狉犵犪狊犲狊
溫度:0℃
壓力:101325Pa
2.3
真空狏犪犮狌狌犿
用來描述低于大氣壓力或大氣質(zhì)量密度的稀薄氣體狀態(tài)或基于該狀態(tài)環(huán)境的通用術語。
2.4
真空區(qū)域
溫馨提示
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