JJG 2018-1989表面粗糙度計量器具

中華人民共和國國家計量檢定系統(tǒng)表

JJG2018—1989

表面粗糙度計量器具

MeasuringInstrumentsforSurfaceRoughness

1989-06-22發(fā)布1990-04-01實(shí)施

國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

JJG2018—1989

表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)表??

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forSurfaceRoughness

本國家計量檢定系統(tǒng)表經(jīng)國家技術(shù)監(jiān)督局于年月日批準(zhǔn)

19890622,

并自年月日起施行

19900401。

起草單位中國計量科學(xué)研究院

:

本檢定系統(tǒng)表技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋

JJG2018—1989

本檢定系統(tǒng)表主要起草人

:

毛起廣中國計量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

金良元中國計量科學(xué)研究院

()

JJG2018—1989

目錄

一計量基準(zhǔn)器具

………………………(1)

二計量標(biāo)準(zhǔn)器具

………………………(1)

三工作計量器具

………………………(2)

四表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)框圖

………………(2)

Ⅰ

JJG2018—1989

表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)表*

本檢定系統(tǒng)表規(guī)定了表面粗糙度R和R參數(shù)為以及R參數(shù)為

zy0.1~80μma0.1~

范圍內(nèi)的國家計量基準(zhǔn)所包含的全套主要計量器具和主要計量學(xué)參數(shù)從國家計

10μm,

量基準(zhǔn)器具通過標(biāo)準(zhǔn)計量器具向工作計量器具進(jìn)行量值傳遞的程序并指明誤差和基本

,

檢定方法

。

一計量基準(zhǔn)器具

表面粗糙度國家基準(zhǔn)用于復(fù)現(xiàn)和保存粗糙度參數(shù)R和R在測量范圍

zy0.1~80μm

內(nèi)以及R參數(shù)在測量范圍內(nèi)的長度單位通過計量標(biāo)準(zhǔn)器具向國內(nèi)各生

a0.1~10μm,

產(chǎn)和使用單位的工作計量器具傳遞量值以保證全國表面粗糙度量值的統(tǒng)一

,。

國家基準(zhǔn)由下列全套計量器具組成

:

有專用單色光源的干涉顯微鏡基準(zhǔn)裝置

;

觸針式表面粗糙度測量系統(tǒng)包括專用微機(jī)系統(tǒng)連接硬件和成套軟件

,、;

一組表面粗糙度基準(zhǔn)樣板和基準(zhǔn)階梯量塊組

。

國家基準(zhǔn)保證當(dāng)測量微觀不平度高度的極值參數(shù)R和R時在范

:yz,0.1~1μm

圍內(nèi)其未消除的系統(tǒng)誤差s不超過隨機(jī)誤差單次測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差

,()0.005μm,(

σ不超過在范圍內(nèi)s不超過σ不超過

)0.005μm;>1~80μm,0.03μm,0.03μm。

當(dāng)測量微觀不平度輪廓算術(shù)平均高度R參數(shù)時在范圍內(nèi)其未

a,0.1~0.25μm,

消除的系統(tǒng)誤差s不超過隨機(jī)誤差單次測量的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ不超過

()0.005μm,()

在范圍內(nèi)s不超過σ不超過

0.002μm;>0.25~10μm,0.007μm,0.003μm。

為了保證按上述準(zhǔn)確度復(fù)現(xiàn)表面粗糙度參數(shù)R以及RRy測量的長度單位必

az、,

須遵守國家基準(zhǔn)的保管使用規(guī)則和測量操作程序

、。

二計量標(biāo)準(zhǔn)器具

采用表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣板作為粗糙度量值傳遞的主要計量標(biāo)準(zhǔn)器具標(biāo)準(zhǔn)樣板的型

。

式有兩大類一類為標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板包括組成階梯高度的階梯式實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)單刻線

:(),

溝槽深度或階梯高度為范圍用作傳遞微觀不平度高度極值參數(shù)Ry

()0.1~80μm,

和R的標(biāo)準(zhǔn)器具另一類為標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板包括其他類似型式的用于校驗(yàn)觸針式儀

z;(

器的校驗(yàn)樣板其R參數(shù)值在范圍用作傳遞粗糙度參數(shù)R的標(biāo)準(zhǔn)器

),a0.1~10μm,a

具標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板按其準(zhǔn)確度和使用對象分為一等和二等兩個等級

。。

由計量基準(zhǔn)器具用直接檢定法分別檢定各類型的標(biāo)準(zhǔn)樣板一等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板可

。

通過隨機(jī)誤差σ不大于的觸針式儀器用比較法檢定二等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板

()1%,。

檢定標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板溝槽深度的不確定度δσ在