JJG 2018-1989表面粗糙度計(jì)量器具

中華人民共和國國家計(jì)量檢定系統(tǒng)表

JJG2018—1989

表面粗糙度計(jì)量器具

MeasuringInstrumentsforSurfaceRoughness

1989-06-22發(fā)布1990-04-01實(shí)施

國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

JJG2018—1989

表面粗糙度計(jì)量器具檢定系統(tǒng)表??

???????????????

??

VerificationSchemeofMeasurinInstruments?JJG2018—1989?

?????????????

g?

??

??

forSurfaceRoughness

本國家計(jì)量檢定系統(tǒng)表經(jīng)國家技術(shù)監(jiān)督局于年月日批準(zhǔn)

19890622,

并自年月日起施行

19900401。

起草單位中國計(jì)量科學(xué)研究院

:

本檢定系統(tǒng)表技術(shù)條文由起草單位負(fù)責(zé)解釋

JJG2018—1989

本檢定系統(tǒng)表主要起草人

:

毛起廣中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

金良元中國計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJG2018—1989

目錄

一計(jì)量基準(zhǔn)器具

………………………(1)

二計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具

………………………(1)

三工作計(jì)量器具

………………………(2)

四表面粗糙度計(jì)量器具檢定系統(tǒng)框圖

………………(2)

Ⅰ

JJG2018—1989

表面粗糙度計(jì)量器具檢定系統(tǒng)表*

本檢定系統(tǒng)表規(guī)定了表面粗糙度R和R參數(shù)為以及R參數(shù)為

zy0.1~80μma0.1~

范圍內(nèi)的國家計(jì)量基準(zhǔn)所包含的全套主要計(jì)量器具和主要計(jì)量學(xué)參數(shù)從國家計(jì)

10μm,

量基準(zhǔn)器具通過標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量器具向工作計(jì)量器具進(jìn)行量值傳遞的程序并指明誤差和基本

,

檢定方法

。

一計(jì)量基準(zhǔn)器具

表面粗糙度國家基準(zhǔn)用于復(fù)現(xiàn)和保存粗糙度參數(shù)R和R在測(cè)量范圍

zy0.1~80μm

內(nèi)以及R參數(shù)在測(cè)量范圍內(nèi)的長度單位通過計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具向國內(nèi)各生

a0.1~10μm,

產(chǎn)和使用單位的工作計(jì)量器具傳遞量值以保證全國表面粗糙度量值的統(tǒng)一

,。

國家基準(zhǔn)由下列全套計(jì)量器具組成

:

有專用單色光源的干涉顯微鏡基準(zhǔn)裝置

;

觸針式表面粗糙度測(cè)量系統(tǒng)包括專用微機(jī)系統(tǒng)連接硬件和成套軟件

,、;

一組表面粗糙度基準(zhǔn)樣板和基準(zhǔn)階梯量塊組

。

國家基準(zhǔn)保證當(dāng)測(cè)量微觀不平度高度的極值參數(shù)R和R時(shí)在范

:yz,0.1~1μm

圍內(nèi)其未消除的系統(tǒng)誤差s不超過隨機(jī)誤差單次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)偏差

,()0.005μm,(

σ不超過在范圍內(nèi)s不超過σ不超過

)0.005μm;>1~80μm,0.03μm,0.03μm。

當(dāng)測(cè)量微觀不平度輪廓算術(shù)平均高度R參數(shù)時(shí)在范圍內(nèi)其未

a,0.1~0.25μm,

消除的系統(tǒng)誤差s不超過隨機(jī)誤差單次測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)偏差σ不超過

()0.005μm,()

在范圍內(nèi)s不超過σ不超過

0.002μm;>0.25~10μm,0.007μm,0.003μm。

為了保證按上述準(zhǔn)確度復(fù)現(xiàn)表面粗糙度參數(shù)R以及RRy測(cè)量的長度單位必

az、,

須遵守國家基準(zhǔn)的保管使用規(guī)則和測(cè)量操作程序

、。

二計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具

采用表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣板作為粗糙度量值傳遞的主要計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具標(biāo)準(zhǔn)樣板的型

。

式有兩大類一類為標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板包括組成階梯高度的階梯式實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)單刻線

:(),

溝槽深度或階梯高度為范圍用作傳遞微觀不平度高度極值參數(shù)Ry

()0.1~80μm,

和R的標(biāo)準(zhǔn)器具另一類為標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板包括其他類似型式的用于校驗(yàn)觸針式儀

z;(

器的校驗(yàn)樣板其R參數(shù)值在范圍用作傳遞粗糙度參數(shù)R的標(biāo)準(zhǔn)器

),a0.1~10μm,a

具標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板按其準(zhǔn)確度和使用對(duì)象分為一等和二等兩個(gè)等級(jí)

。。

由計(jì)量基準(zhǔn)器具用直接檢定法分別檢定各類型的標(biāo)準(zhǔn)樣板一等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板可

。

通過隨機(jī)誤差σ不大于的觸針式儀器用比較法檢定二等標(biāo)準(zhǔn)多刻線樣板

()1%,。

檢定標(biāo)準(zhǔn)單刻線樣板溝槽深度的不確定度δσ在