廠務(wù)運(yùn)行VS工程設(shè)計(jì)

半導(dǎo)體廠務(wù)運(yùn)行與工程設(shè)計(jì)關(guān)聯(lián)性的一點(diǎn)體會(huì)NEW新創(chuàng)工程2/6/20231江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程客戶對廠務(wù)管理工作的重要思索如何才能有效的減少突發(fā)故障的次數(shù)，將廠務(wù)系統(tǒng)對生產(chǎn)的影響減到最小成本領(lǐng)先戰(zhàn)略下，廠務(wù)的貢獻(xiàn)度在哪，COSTDOWN如何切入技改項(xiàng)目實(shí)施時(shí)，如何有效避免重復(fù)投資以及最短時(shí)間的影響現(xiàn)生產(chǎn)安全、環(huán)保、能源漲價(jià)因素的壓力，廠務(wù)工作如何才能處變不驚擴(kuò)產(chǎn)時(shí)設(shè)備動(dòng)力需要與動(dòng)力現(xiàn)有系統(tǒng)的供應(yīng)矛盾，如何才能防患于未然根本原因?qū)ふ抑?，為啥總有抱怨先天不足的聲音運(yùn)行策略的優(yōu)化，在廠務(wù)優(yōu)秀管理人才一將難求的情況下，又是如此舉步維艱，是否還有其它途徑新建項(xiàng)目的上馬似乎總是那么困難重重，前期設(shè)計(jì)方案是否真的符合預(yù)期,基于廠務(wù)大系統(tǒng)技術(shù)能否突破傳統(tǒng)思維服務(wù)于工程實(shí)踐或優(yōu)化運(yùn)行滿足客戶的事實(shí)需要是努力方向2/6/20232江蘇新創(chuàng)ICFAB/廠務(wù)供應(yīng)系統(tǒng)酸/堿化學(xué)品供應(yīng)站有機(jī)溶劑供應(yīng)站清潔用真空廢氣處理AcidScrubberSolventVOC空調(diào)設(shè)施UPWDI回收軟水裝置自來水儲(chǔ)存槽(20000m3)設(shè)備冷卻水供應(yīng)系統(tǒng)低壓配電室特殊氣體站CDA酸廢水站含氟廢水站有機(jī)溶劑收集槽維修區(qū)/制造支持區(qū)潔凈室(IC制造設(shè)備)CIM+晶片自動(dòng)停送潔凈室(IC制造設(shè)備)液態(tài)氮液氧液氬氦氣氫氣補(bǔ)充空氣熱水︵蒸氣︶廢氣冰水ROpcw酸/堿H2SO4回收有機(jī)溶劑IPA再生系統(tǒng)廢溶劑光阻劑廢HF清洗用水接地系統(tǒng)大地污水處理廠回收公司供應(yīng)商氣體供應(yīng)商氮?dú)夤┴浬?/p>

電力公司市水回收公司濃縮污泥供應(yīng)商供應(yīng)商溫水衛(wèi)生排水設(shè)備用真空柴油儲(chǔ)槽供應(yīng)商TFMS/TFPSFireDetection&Protection飲用水DI高壓配電室電力供應(yīng)站EG+DUPS磷酸回收FACMonitor&ControlPOUMonitor&Control外氣外氣外氣外氣外氣水蒸汽確保酸堿廢水酸鹼廢水DI再生廢水HF再生系統(tǒng)酸堿廢水NEW新創(chuàng)工程N(yùn)EW新創(chuàng)工程2/6/20234江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)機(jī)預(yù)熱輸入源蒸汽VS熱水VS冷水冬季冷卻水替代冷凍水/夏季冷卻水代用熱水的考慮新風(fēng)機(jī)（無除濕工況）表冷器輸入源調(diào)整為熱水，延長冷卻水代用熱水的時(shí)間/防凍/熱交換站輸送溫度及壓力的調(diào)整空調(diào)機(jī)配管閥組的合理設(shè)置，便于操作有利于運(yùn)行實(shí)際中必要的人工干預(yù)干盤管冷水系統(tǒng)的選擇(混流VS熱交換，并聯(lián)VS串聯(lián)）吊頂自循環(huán)風(fēng)機(jī)閥組托盤的設(shè)置，解決排污管路與冷凝水管路合流的隱患2/6/20235江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程凈化空調(diào)系統(tǒng)蒸汽末端應(yīng)有吹掃管路直通室外，主要考慮調(diào)試運(yùn)行及維護(hù)后送氣排風(fēng)變頻/雙風(fēng)機(jī)的必要性以及有機(jī)排風(fēng)管排液管設(shè)置二次配排風(fēng)負(fù)壓表設(shè)置空調(diào)冷凝水，蒸汽疏水回用于純水制備原水合理布置機(jī)房,在布置機(jī)房設(shè)備時(shí)，既要考慮冷凝器、蒸發(fā)器、表冷器的檢修空間，又要考慮主機(jī)操作人員能觀察到儀表的變化空調(diào)機(jī)組的斷面風(fēng)速適宜,空調(diào)機(jī)組現(xiàn)在多采用組合式空調(diào)機(jī)組，為了節(jié)約初期投資和機(jī)組占地面機(jī)，往往選用大風(fēng)量機(jī)組，以及盡可能減小空調(diào)機(jī)組外形尺寸，從而增加了空調(diào)機(jī)組的斷面風(fēng)速，這樣各級(jí)過濾器阻力上升快，而且擋水板的擋水效果不佳，空調(diào)機(jī)組容易積水。一般機(jī)組的斷面風(fēng)速不宜超過2.5m/s。設(shè)在屋頂?shù)睦鋮s塔宜設(shè)風(fēng)機(jī)檢修控制開關(guān),考慮檢修安全因素發(fā)熱量差別較大的房間不宜并入一個(gè)空調(diào)系統(tǒng)(如清洗/擴(kuò)散),但也有并入的節(jié)能做法2/6/20236江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程2/6/20237江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程凈化空調(diào)系統(tǒng)潔凈室的氣流速度／換氣次數(shù)的確定潔凈室內(nèi)氣流的橫向擴(kuò)散只在甚低的流速下才有可能，單向流在合理的氣流組織下，流速0.05～0.1m/s就足夠帶走污染物末級(jí)過濾器的效率對潔凈度的影響是值得起注意的。有的氣流速度/換氣次數(shù)推薦或參考值對末級(jí)過濾器效率提高的因素往往沒作考慮。當(dāng)前有的IC工廠其ISO5級(jí)(0.3μm)的潔凈室，采用FFU系統(tǒng),帶ULPA(99.9995%,0.12μm)，出口風(fēng)速為0.38m/s，其滿布率為25%，這樣室內(nèi)平均氣流速度為0.095m/s，在各有關(guān)推薦或參考值的下限下。2/6/20238江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程冷凍系統(tǒng)冷凍機(jī)的合理布置，務(wù)必考慮夏季高峰有一臺(tái)備機(jī)，單機(jī)冷量的選擇需結(jié)合四季負(fù)荷變化的因素冷凍水系統(tǒng)在站內(nèi)有自來水快補(bǔ)入口,對于冷凍水系統(tǒng)和冷卻水系統(tǒng)的補(bǔ)水計(jì)量冷凍水泵、冷卻水泵考慮代用適宜的布置冷凍機(jī)配管操作閥門的布置，應(yīng)考慮機(jī)組關(guān)閉后切斷旁通流量，減少水泵運(yùn)行臺(tái)數(shù)BKS系統(tǒng)的應(yīng)用，調(diào)整送回水溫差，提高冷凍機(jī)COP值，減少冷凍/冷卻水泵功耗分散的冷凍站應(yīng)考慮聯(lián)網(wǎng)供應(yīng)，確保穩(wěn)定供應(yīng)的同時(shí)還能一舉多得冷凍水系統(tǒng)應(yīng)增設(shè)手動(dòng)放氣管路，尤其吊頂內(nèi)自清洗過濾器的全流量設(shè)置在冷凍水泵總管路2/6/20239江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程各種不同設(shè)計(jì)之潔凈室耗能比較(單位KW)系統(tǒng)搭配方式FFU+MAUAxialFan+MAUMAU+RCURCUMAU+RCU+FCURCU/w76%RABypass6oC冰水制冷電量2349.062349.062349.0611615.372349.067819.599oC冰水制冷電量2681.052681.053558.99

2681.05

14oC冰水制冷電量439.03694.28

301.01

一次冰水泵電力122.76122.76122.76606.99122.76408.63二次冰水泵電力128.10128.10170.04

157.46

14oC冰水泵電力58.9993.29

31.46

熱水泵電力26.4026.4024.79162.9924.79408.63MAU472.47472.47472.47

472.47

氣流循環(huán)單元?jiǎng)恿?27.001875.644957.064689.112598.054689.11FCU

31.46

總計(jì)7004.868443.0611655.1817074.468769.5713325.97氣流循環(huán)系統(tǒng)耗能指標(biāo)(W/m2)65.02167.74443.31419.34232.34419.34耗能評比(以FFU型為基礎(chǔ))11.211.662.441.251.90系統(tǒng)評論最省能,潔凈室運(yùn)轉(zhuǎn)有彈性,為目前主流設(shè)計(jì),但初設(shè)成本偏高為其缺點(diǎn)潔凈室運(yùn)轉(zhuǎn)有彈性,但有噪音問題,系統(tǒng)保養(yǎng)性差造價(jià)便宜,但風(fēng)管布建較復(fù)雜,不利于大規(guī)?；蚴褂脧椥孕璐蟮臒o塵室,可作為改善案之參考造價(jià)便宜,但風(fēng)管布建較復(fù)雜,耗能設(shè)計(jì),同時(shí)不利于大規(guī)?；蚴褂脧椥孕璐蟮臒o塵室風(fēng)管布建較復(fù)雜,耗能較純MAU+RCU改善許多,唯潔凈度較不易維持造價(jià)便宜,但風(fēng)管布建較復(fù)雜,耗能設(shè)計(jì),同時(shí)不利于大規(guī)模或使用彈性需大的無塵室2/6/202310江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)為充分保證系統(tǒng)不間斷運(yùn)行，也有考慮雙電源設(shè)計(jì)和管路失壓備泵自投功能顆粒過濾精度45um,電導(dǎo)10us/cm，過濾器及補(bǔ)水水質(zhì)的考慮系統(tǒng)選擇閉式或開式，閉式節(jié)能但務(wù)必確認(rèn)工藝設(shè)備是否有無背壓回水的特殊要求工藝?yán)鋮s水冬季熱能回用于純水站加熱原水?dāng)U散爐/外延爐冷卻水應(yīng)有自來水應(yīng)急管路的考慮工藝?yán)鋮s水一次配閥門盡量按一臺(tái)套設(shè)備留一組閥的原則工藝?yán)鋮s水一次配閥門管路接出位置工藝?yán)鋮s水站采用分體式的好處二次配轉(zhuǎn)子流量計(jì)的設(shè)置，合理調(diào)節(jié)需求量，避免系統(tǒng)小溫差大流量2/6/202311江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程水處理系統(tǒng)冷卻水系統(tǒng)流程圖2/6/202312江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程純水系統(tǒng)純水水溫的確認(rèn)，恒溫純水需考慮冷量需求原水管路計(jì)量的要求送回水管路材質(zhì)選擇的合理性回流量考慮的適宜，使用量的30%同時(shí)使用系數(shù)的確定2/6/202313江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程由于制程上的需要，在半導(dǎo)體工廠使用了許多種類的氣體。一般我們皆以氣體特性來區(qū)分?？煞譃樘厥鈿怏w及一般氣體兩大類。前者為使用量較小之氣體。如SiH4、NF3等。后者為使用量較大之氣體。如N2、CDA等。因用量較大；一般氣體常以“大宗氣體”稱之。即BulkGas。特氣—SpecialtyGas。BulkGas在半導(dǎo)體制程中，需提供各種高純度的一般氣體使用于氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力、化學(xué)品輸送壓力介質(zhì)或用作惰性環(huán)境，或參與反應(yīng)或去除雜質(zhì)度等不同功能。大宗氣體在半導(dǎo)體廠中的用途CDA主要供給FAB內(nèi)氣動(dòng)設(shè)備動(dòng)力氣源及吹凈(Purge),LocalScurruber助燃。N2主要供給部份氣動(dòng)設(shè)備氣源或供給吹凈、稀釋惰性氣體環(huán)境及化學(xué)品輸送O2供給ETCH制程氧化劑所需及CPCVD制程中供給氧化制程用，供給O3Generator所需之O2供應(yīng)及其他制程所需。Ar供給Sputter制程，離子濺鍍熱傳導(dǎo)介質(zhì)，Chamber稀釋及惰性氣體環(huán)境。H2供給爐管設(shè)備燃燒造成混氧環(huán)境，POLY制程中做H2BAKE之用。W-PLUG制程中作為WF6之還原反應(yīng)氣體及其他制程所需。He供給制程晶片冷卻。氣體供應(yīng)系統(tǒng)2/6/202314江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程SpecialtyGas半導(dǎo)體廠所使用的SpecialtyGas種類繁多，約有四、五十種，依危險(xiǎn)性可分為以下數(shù)類：易燃性氣體有些氣體當(dāng)因泄漏或混入時(shí)，其本身之濃度只要在某一范圍內(nèi)（相對空氣），只要一有火源，此氣體乃會(huì)因相混而燃燒。此稱為該氣體之爆炸范圍。如：SiH41.35%-100%SiH2CL24.1%-98.8%PH31.32%-100%低壓性氣體有些氣體常態(tài)下為粘稠液態(tài)氣體，室溫的飽和蒸汽壓均小于10Psi，易造成管線阻塞，需包加熱套，提高氣體蒸汽壓，才能充分供應(yīng)氣體。如：DCS、CLF3、WF6毒性氣體有些氣體由于其反應(yīng)性很強(qiáng)，對動(dòng)物（含人類）的呼吸、粘膜、皮膚等功能有強(qiáng)烈影響。如：NF3,PH3腐蝕性氣體有些氣體與水分一作用，即水解后產(chǎn)生HCL或HF等酸化物，對人體（包含眼睛、鼻子、皮膚、呼吸系統(tǒng)等）及設(shè)備（如管路及閥件）多少有腐蝕作用。此氣體有下列：<1>HCL、CL2、SiH2CL2、BCL3等含CL元素的氣體---HCL<2>BF3、SiF4、WF6含F(xiàn)元素---HF<3>NH3---氨水極刺激性氣體供應(yīng)系統(tǒng)2/6/202315江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程窒息性氣體如：CO2、CF4、C2F6等氣體，無臭無味。若大量泄出而相對致空氣含O2量減少至16%以下時(shí)，即有頭痛與惡心癥狀。當(dāng)O2含量少至10%時(shí)，人將陷入意志不清狀態(tài)，6%以下，瞬間昏倒，無法呼吸，6分鐘以內(nèi)即死亡。自燃性氣體有些氣體，一與空氣相混，即使沒有火源也會(huì)自燃起火。此稱為自燃?xì)怏w。一般其起火點(diǎn)在常溫以下。此氣體有：SiH4、PH3、B2H6等氣體供應(yīng)系統(tǒng)2/6/202316江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程空壓系統(tǒng)空壓機(jī)考慮穩(wěn)定供應(yīng)和維護(hù)保養(yǎng)的需要?jiǎng)?wù)必要有備機(jī)，結(jié)合設(shè)計(jì)容量及投產(chǎn)實(shí)際使用情況優(yōu)先設(shè)置1臺(tái)變頻機(jī)組，保證系統(tǒng)壓力穩(wěn)定及降低能耗，其余機(jī)組有待機(jī)功能最好。優(yōu)先選用水冷型空壓機(jī)，冷卻介質(zhì)優(yōu)先采用工藝?yán)鋮s水各系列空壓干燥器出口增設(shè)放空管路，對于調(diào)試運(yùn)行及系統(tǒng)維護(hù)后投運(yùn)檢查切換非常有意義總管增設(shè)渦街流量計(jì)，有助于預(yù)判設(shè)備性能/使用實(shí)際流量的監(jiān)測/技改容量的核定/單耗經(jīng)濟(jì)型分析儲(chǔ)氣罐容積一般考慮空壓機(jī)每分鐘排氣量的10%過濾器要有壓差指示或管路增設(shè)壓力表預(yù)判阻力情況，計(jì)劃停供保障生產(chǎn)儲(chǔ)氣罐底部疏水管路需要有旁通2/6/202317江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程工藝真空及真空清掃系統(tǒng)工藝真空管路可以采用UPVC給水管超純氣體系統(tǒng)純化器選擇時(shí)對N2、O2純化器較多采用觸媒吸附式，Ar、H2純化器則以Getter效果最佳，必須高度注意氣體對CH4，N2的要求（吸附式無法去除）鈀膜純化器

吸氣劑催化劑工作溫度高溫室溫使用壽命長短可再生否可稀有氣體中除氮可否氫中除氮可否除甲烷可否成本高低2/6/202318江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程超純氣體系統(tǒng)不同氣體純化器需要不同的公用工程與之相配套，純化間預(yù)留接口例如，觸媒吸附式N2純化器需要高純氫氣供再生之用；觸媒吸附式純化器需要冷卻水。超純氣體管路吹掃口，取樣閥的設(shè)置，考慮系統(tǒng)檢測的需求PN2在純化間要有預(yù)留閥作為吹掃/置換源超純氣體EP管Ra值和隔膜閥cv值的要求1/4”(0.2)1/2“(0.7)3/4”(1.5)高純氣體過濾器的選擇，PTFE濾膜/316L濾膜，顆粒度0.003um一次配管支干管宜采用帶后吹掃口的波紋管/隔膜閥，考慮施工及后期改造支干管開頭需一次配適當(dāng)做一些預(yù)留點(diǎn)對于主輔機(jī)的一次閥門預(yù)留建議參照冷卻水，可視具體情況

2/6/202319江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，線寬越做越小，其對氣體純度、顆粒度、雜質(zhì)含量以及露點(diǎn)的要求也越來越高。（下表是各種線寬下對超純氮?dú)獾囊螅怏w供應(yīng)系統(tǒng)線寬（um）2~31.30.80.50.350.18氧含量（ppb）1005010511露點(diǎn)（℃-76-80-90-100-110-120顆粒（um）0.30.20.10.10.10.052/6/202320江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程大宗供氣系統(tǒng)的可靠性問題由于微電子行業(yè)的投入與產(chǎn)出都是非常的大，任何供氣中斷都會(huì)帶來巨大的經(jīng)濟(jì)損失，尤其對大型集成電路芯片生產(chǎn)廠而言。因此在設(shè)計(jì)中必須充分考慮氣體供應(yīng)系統(tǒng)運(yùn)行的安全可靠性。若采用現(xiàn)場制氣方式，往往還需要設(shè)置該種氣體的儲(chǔ)蓄供氣系統(tǒng)作備用。1）每一種氣體的純化器都需要有一臺(tái)作備用。2）氧氣若采用現(xiàn)場制氣方式，雖然可以不經(jīng)純化而直接供工藝設(shè)備使用，但仍應(yīng)該設(shè)置一臺(tái)純化器作備用。當(dāng)然，以上這些措施必須會(huì)導(dǎo)致氣體成本的急劇上升，雖然與供氣中斷造成的損失相比要小的多，但這必須要與業(yè)主討論確定。而且，每個(gè)項(xiàng)目都有其特殊性，不必強(qiáng)求一步到位，可以考慮在不同的建設(shè)階段逐步實(shí)施。另外,若有條件采用集中管道供氣方式,還需要考察氣體供應(yīng)商的系統(tǒng)設(shè)計(jì)情況，是否有對供氣中斷、管路污染等突發(fā)事故的預(yù)防措施、應(yīng)急措施和恢復(fù)手段。有必要提請業(yè)主注意在該種經(jīng)濟(jì)便利的供氣方式背后潛在的風(fēng)險(xiǎn)。2/6/202321江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列主要裝置：1儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格；2氣體分配用閥門箱、閥門盤；3輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)；4尾氣處理裝置。特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特種氣體工藝參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)。不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。2/6/202322江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程管路設(shè)計(jì)管路設(shè)計(jì)時(shí)需考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險(xiǎn)也越高。因擴(kuò)充性不易，需預(yù)留適當(dāng)?shù)臄U(kuò)充閥組。通常較理想的設(shè)計(jì)流速為一般氣體小于20m/sec，可燃性氣體小于10m/sec，腐蝕性/毒性氣體則小于8m/sec。在用量的設(shè)計(jì)方面，則需考慮使用點(diǎn)的壓力與管徑的大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者在使用點(diǎn)一般為1/4吋~3/8吋。管路型式依氣體特性設(shè)計(jì)，惰性氣體使用一般的單層管，腐蝕性、可燃性、毒性則可考慮雙套管，但因其制作成本高，除非具自燃爆炸或極毒性的危險(xiǎn)氣體，如SiH4、PH3、AsH3常以雙套管制作外，其余危險(xiǎn)氣體可再行考慮。管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316LEP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax約為0.3~0.8μm，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(BrightAnneal)處理之316LBA管的3~6μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316LBA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing&Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。氣體供應(yīng)系統(tǒng)2/6/202323江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程特氣系統(tǒng)特別注意事項(xiàng)（1）對于AsH3、PH3、B2H6、SiH4等劇毒氣體的傳輸，需要采用雙套管，腐蝕性氣體采用316LVIM+VAR（2）由于SiH4氣體的自燃性，一旦外泄將對廠房和人員的生命財(cái)產(chǎn)安全造成極大的威脅。因此，SiH4氣柜應(yīng)處于與主體廠房分開的地方，而且鋼瓶閥要求使用氣動(dòng)閥，以確保鋼瓶在緊急情況下能夠自動(dòng)關(guān)閉。含SiH4在內(nèi)，CO，B2H6，PH3，AsH3，SbH3等鋼瓶內(nèi)接頭應(yīng)安裝限制流量孔。制造商應(yīng)依據(jù)SEMIS5提供流量計(jì)算。（3）對于PH3，SiH4，B2H6等氣柜還要裝有紅外-紫外線（UV-IR）雙重掃描的火花偵測器，其光束應(yīng)該覆蓋所有可能泄漏的位置，而且其量程設(shè)置應(yīng)該偵測到比氣體偵測器偵測范圍更小的氣體泄漏，用以監(jiān)控任何可能產(chǎn)生的火花并觸發(fā)相應(yīng)的互鎖，以確保廠房及人員的安全。（4）由于ClF3與水產(chǎn)生激烈反應(yīng)而成爆炸性物質(zhì)，ClF3鋼瓶不可安置灑水器。滅火裝置應(yīng)以CO2方式為主。（5）N2O、CO、O3—GasketmustbeSUS注：一般氣體所用之Gasket為Ni材質(zhì)。CO對Ni具有侵蝕性，故CO所用之Gasket必須為SUS系列材質(zhì)。氣體供應(yīng)系統(tǒng)2/6/202324江蘇新創(chuàng)NEW新創(chuàng)工程CDS:chemicaldeliverysystem化學(xué)品輸送系統(tǒng)CCSS(Control

Chemical

Supply

System)中