YB 1601-1983硅多晶

YB中華人民共和國治金工業(yè)部部標準YB1601-83硅務(wù)1983-08-18發(fā)布1984-10-01實施中華人民共和國治金工業(yè)部批準

中華人民共和國治金工業(yè)部標多YB1601-83中國標準出版社出版發(fā)行北京西城區(qū)復(fù)興門外三里河北街16號郵政編碼：100X45htp://電話：(01051299090、685220061984年11月第一版書號，1151692-5584版權(quán)專有浸權(quán)必究舉報電話：（010）68522006

中華人民共和國治金工業(yè)部部標準YB1601-83硅品本標準適用于三氯氫硅、四氯化硅氫還原法和硅燒熱分解法制取的棒狀高純硅多品技術(shù)要求1.1硅多晶技術(shù)參數(shù)指標應(yīng)符合下表規(guī)定。一級特級品二級品級品三級品二結(jié)晶致密，表面較平整，，斷面無夾層表面及斷面狀態(tài)結(jié)晶致密，裘面較平整，無氧化夾層直徑，m加二25二25二25二25直徑允許偏差，%+5+5士5全5基硼電阻率，R·m二4500二2600二1500二1000N型電阻宰，9·mn二450>150二300二60N型少數(shù)軟流子壽命，s二500二300>150二100含碳量，個原子/cm°<2×100<5×1010<5×1010含氧量，個原子/cm°<1×1010<5×10！<5×101注：○基硼電阻率和殯、氧含最為保證值。生產(chǎn)廠應(yīng)經(jīng)常進行基硼電阻率的檢測。每年定期進行碳、氧含量的分新。QN型少數(shù)載流子壽命值系指氫氣下檢驗工藝測試的壽命值?！靶璺饺缬刑刂橐?，供需雙方可另行協(xié)議。2試驗方法和檢驗規(guī)購2.1試驗方法2.1.1導(dǎo)電類型測試按GB1550一79*硅單品導(dǎo)電類型測定方法》進行。2.1.2N型少數(shù)載流子壽命測試按GB1553—7《高頻光電導(dǎo)衰誠方法》進行，取其縱向中間部位所測得的壽命值。2.1.3P型、N型電阻率測試按GB1552-79《硅單晶電阻率直流器探針測量方法》進行。2.1.4含氧量、含碳量的測試分別按GB1557—83“硅單品中間隙氧含量的紅外吸收方法》及GB1558一83《硅單品中代位碳含量的紅外吸收方法》進行。2.1.5裘面狀態(tài)用肉眼檢查。2.1.6斷面狀態(tài)檢驗按GB4061一83《硅多品的斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗方法》進行.2.1.7直徑用游標卡尺測量.直徑及其偏差測量位置（系指同一支多品棒）如下圖所示。直徑允許偏登的規(guī)定僅適用于區(qū)熔法用的硅多品。2.2檢驗規(guī)則2.2.1產(chǎn)品應(yīng)由供方技術(shù)監(jiān)督部門進行驗收，保證產(chǎn)品符合本標準要求，并填寫產(chǎn)品質(zhì)量證明書。2.2.2需方可對收到的產(chǎn)品進行質(zhì)量檢驗，如檢驗結(jié)果與本標準規(guī)定不符時，可在收到產(chǎn)品之