DB13T 5631-2022 電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范

ICS81.040.30CCSL9013河 北 省 地 方 標(biāo) 準(zhǔn)DB13/T5631—2022發(fā)布河北省市場監(jiān)督管理局發(fā)布河北省市場監(jiān)督管理局2023012720221227IDB13/T5631—2022I前 言本文按GB/T《標(biāo)化作則 第部分標(biāo)化件結(jié)和起規(guī)定起。本文件由由廊坊市市場監(jiān)督管理局提出。本文件起草單位：廊坊赫爾勞斯太陽能光伏有限公司。本文件主要起草人：賈建亮、賈建恩、孫艷、韓云濤、關(guān)海華、李繼東。DB13/T5631—2022電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝生產(chǎn)技術(shù)規(guī)范范圍本文件適用于電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝工藝技術(shù)。（）GB50034GB50073GBZ2.1工作場所有害因素職業(yè)接觸限值（第一部分化學(xué)有害因素）GBZ188職業(yè)健康監(jiān)護(hù)技術(shù)規(guī)范GBZ/T189.8工作場所物理因素測量第8部分：噪聲下列術(shù)語和定義適用于本文件。電弧熔制arcfusion下列術(shù)語和定義適用于本文件。電弧熔制arcfusion利用高溫電弧熔融石英砂原料的過程。涂層coating在石英坩堝內(nèi)壁或外壁涂覆特種材料的過程。職業(yè)健康GBZ188崗位技能從業(yè)人員應(yīng)通過三級安全教育、崗位技能培訓(xùn)，經(jīng)考核合格后方可上崗。設(shè)備熔制設(shè)備應(yīng)具有電極開閉、升降、旋轉(zhuǎn)、冷卻、弧變、除塵等裝置。外表面處理設(shè)備應(yīng)具有噴砂、研磨等功能。1DB13/T5631—2022應(yīng)具有對中、切制、內(nèi)倒角、外倒角等功能。應(yīng)具有純水沖洗等裝置。應(yīng)具有產(chǎn)品自動化傳輸、純水自動沖洗等裝置。應(yīng)具有加熱、旋轉(zhuǎn)、噴霧、冷卻專用涂層等裝置。6 石英砂石英砂雜質(zhì)元素含量應(yīng)符合表1的規(guī)定。石墨電極應(yīng)符合以下要求：1.65g/cm3；≤8.5μΩ?m；石墨電極應(yīng)符合以下要求：1.65g/cm3；≤8.5μΩ?m；50μg/g；≥35MPa；15MPa。涂層原料涂層原料主要有：氫氧化鋇、碳酸鋇；試劑純度≥99.99%。純水電阻率≥16MΩ?cm。7 2位置元素名稱鋁AL鈣Ca鎂Mg鋇Ba鉻Cr銅Cu鐵Fe鎳Ni錳Mn鋰Li鈉Na鉀K鋯Zr鈦Ti鍺Ge磷P硼B(yǎng)內(nèi)層7.70.80.05---0.2--0.10.20.1-1.40.7-<0.1外層16.01.20.10.10.10.10.50.10.11.01.01.00.52.02.00.10.1注1：內(nèi)層鋰、鈉、鉀3種元素之和≤2.0。注2：雜質(zhì)元素含量小于或等于表中所示值。DB13/T5631—2022熔制利用65～100轉(zhuǎn)/分的離心力和成型裝置，將石英砂原料在旋轉(zhuǎn)的石墨模具、球磨鑄鐵模具內(nèi)形成一定的形狀和厚度。表2尺公差 單位為毫米坩堝外徑尺寸外徑公差高度公差厚度公差偏壁度橢圓度D≤305±3±3±1.51.02305<D<457±4±3±2.0133D>457±6±3±2.51.54以高溫電弧為熱源，對坩堝模具內(nèi)的石英砂原料進(jìn)行高溫熔制。英砂。純水清洗將坩堝浸入盛放純水的浸泡池內(nèi)，10min～20min內(nèi)取出，用高壓沖洗設(shè)備對坩堝內(nèi)、外表面及端口進(jìn)行純水清洗。純水清洗將坩堝浸入盛放純水的浸泡池內(nèi)，10min～20min內(nèi)取出，用高壓沖洗設(shè)備對坩堝內(nèi)、外表面及端口進(jìn)行純水清洗。烘干用溫度200度的烘干箱，烘干35min～40min。涂層人工利用手動涂層裝置將配比好的特種材料涂覆在坩堝內(nèi)表面和（或）外表面上。按相應(yīng)工藝參數(shù)對設(shè)備進(jìn)行設(shè)置，自動將配比好的特種材料涂覆在坩堝內(nèi)表面和（或）外表面上。8 總則3DB13/T5631—2022應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3 各序作凈、溫和度圍工序名稱空氣潔凈要求溫度/℃相對濕度RH/%堝坯電弧熔制應(yīng)符合GB50073中規(guī)定的N≥816～3810～60外表面處理新風(fēng)初效處理16～3310～80切邊倒棱新風(fēng)初效處理16～3310～80純水清洗應(yīng)符合GB50073中規(guī)定的N≥916～3310～60涂層應(yīng)符合GB50073中規(guī)定的N≥720～3810～50照度照度應(yīng)符合GB50034的規(guī)定。作業(yè)場所應(yīng)通風(fēng)良好，設(shè)置適宜的局部排風(fēng)除塵設(shè)施和新風(fēng)補(bǔ)償設(shè)施，應(yīng)保證每人不小于20m3/h的新風(fēng)量。4粉塵4粉塵粉塵應(yīng)符合GBZ2.1的規(guī)定。9 作業(yè)現(xiàn)場應(yīng)建立管理制度，設(shè)置人員專用安全通道，明確提示、禁止標(biāo)識。作業(yè)現(xiàn)場的設(shè)備及