太陽電池多晶硅片

太陽電池多晶硅片第一頁，共三十七頁，2022年，8月28日目錄1、國內外同行業(yè)的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢2、制備多晶硅片工藝流程和技術路線3、新產(chǎn)品研制過程4、關鍵技術和創(chuàng)新點5、試用結果和用戶使用報告6、存在問題及解決方案7、結論第二頁，共三十七頁，2022年，8月28日1.國內外同行業(yè)的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢1.1國內外太陽能光伏行業(yè)的現(xiàn)狀太陽能作為新能源和可再生能源的一種，是取之不盡、用之不竭的潔凈能源。開發(fā)利用太陽能，對于節(jié)約常規(guī)能源、保護自然環(huán)境、促進經(jīng)濟發(fā)展和提高人民生活都有極為重要的意義。太陽能光伏發(fā)電由于資源無限、無污染、能把太陽光直接轉變?yōu)殡娔埽到y(tǒng)無運動部件、運行可靠、壽命長、少維護，且電能有方便輸送、儲存等優(yōu)點，因此它是太陽能應用工業(yè)中最有前途的產(chǎn)品。第三頁，共三十七頁，2022年，8月28日來自2006第四屆世界光伏能量轉換大會預測，光伏發(fā)電將成為未來電網(wǎng)支柱的方向。到2020年全球光伏發(fā)電量將占總發(fā)電量的1.1％。到2040年占21-26％，而在2050年以后，光伏發(fā)電量將達到50％以上。可見，太陽能光伏發(fā)電在未來人類能源中具有最重要的戰(zhàn)略地位,加速發(fā)展太陽能光伏發(fā)電有著重要的戰(zhàn)略意義。第四頁，共三十七頁，2022年，8月28日目前光伏行業(yè)以晶體硅片電池為主導，晶體硅片電池主要有單晶硅和多晶硅兩種，多晶硅片（Polyc-Si），從1999年開始已經(jīng)超過單晶硅片（Monoc-Si）,一直保持一定的優(yōu)勢。第五頁，共三十七頁，2022年，8月28日下圖為國際主要多晶硅片產(chǎn)能分析

第六頁，共三十七頁，2022年，8月28日賽維LDK公司200兆瓦生產(chǎn)能力的形成將占國內多晶硅片75%-80%，成為亞洲最大的多晶硅片生產(chǎn)企業(yè)，并進入世界多晶硅片生產(chǎn)企業(yè)前列。賽維LDK公司的啟航起航，將為改變我國光伏產(chǎn)業(yè)鏈頭小尾大的狀況作出積極和重要的貢獻，同時為我國綠色能源的可持續(xù)發(fā)展并在世界上取得相應地位打下堅實基礎。第七頁，共三十七頁，2022年，8月28日

1.2太陽電池多晶硅片的發(fā)展趨勢

1.2.1薄硅片：

由于硅材料緊缺，薄硅片是太陽能技術發(fā)展的趨勢，而且從降低太陽能電池成本和提高效率來看，薄硅片同樣具有明顯優(yōu)勢。有研究表明：生產(chǎn)200μm的硅片可以比240μm的多產(chǎn)出10％的硅片；φ140μm的線可以比φ160μm的線多產(chǎn)出6％的硅片。第八頁，共三十七頁，2022年，8月28日

最近幾年以來，硅片厚度從最初的330μm到270μm，再到目前的240μm，220μm，200μm。有關研究表明單晶硅的極限厚度可到80μm，這樣薄的硅片由于具有柔性而更不易破碎。但多晶硅由于晶界脆弱易碎，極限厚度可達到100μm。薄硅片加工是對我國太陽能電池生產(chǎn)的一種挑戰(zhàn)，我們必須盡快建立適應的薄硅片技術，同時薄硅片技術也對太陽能電池和太陽能電池組件工藝技術的重大挑戰(zhàn)。目前國際國內上主流的硅片厚度也是240μm，也有部分已加工出220μm甚至200μm的硅片，由于國外已具備了適應薄硅片的電池制造技術，比如Q-Cell生產(chǎn)220μm的電池，Sharp可以生產(chǎn)200μm甚至180μm的電池。第九頁，共三十七頁，2022年，8月28日下表是最近幾年硅片厚度發(fā)展變化趨勢：第十頁，共三十七頁，2022年，8月28日1.2.2大硅片：由于大尺寸的硅片生產(chǎn)在生產(chǎn)過程中可以減少硅料的損耗，而設備相同產(chǎn)能更高，并且單塊硅片產(chǎn)生的電能更多，所以最近幾年硅片生產(chǎn)一直在向大硅片生產(chǎn)的方向發(fā)展。下表是最近幾年硅片尺寸發(fā)展變化趨勢：第十一頁，共三十七頁，2022年，8月28日2、制備多晶硅片工藝流程和技術路線

制備多晶硅片的工藝流程框圖如圖所示。第十二頁，共三十七頁，2022年，8月28日

第十三頁，共三十七頁，2022年，8月28日其主要流程介紹如下：

開方：用多線破錠機（SQUARER）將硅錠（Ingot）切割成硅塊（Brick）。第十四頁，共三十七頁，2022年，8月28日去頭尾：將硅塊的頭部和尾部去除。第十五頁，共三十七頁，2022年，8月28日砂漿：砂漿是為開方和切片用的。第十六頁，共三十七頁，2022年，8月28日粘膠：將硅塊粘接在晶托上，為切片做準備。第十七頁，共三十七頁，2022年，8月28日切片：用WIRESAW將硅塊切割成硅片（wafer）第十八頁，共三十七頁，2022年，8月28日硅片第十九頁，共三十七頁，2022年，8月28日清洗：將切割好的硅片清洗干凈，并自動分檢

第二十頁，共三十七頁，2022年，8月28日分檢：第二十一頁，共三十七頁，2022年，8月28日包裝第二十二頁，共三十七頁，2022年，8月28日新產(chǎn)品研制過程：

研制過程主要集中在把國產(chǎn)設備和引進設備組合一條多晶硅片流水線。在單機調試運行的基礎上，進行全線調試，不斷進行實驗研究，把各工藝過程的相關參數(shù)調整到最優(yōu)匹配狀態(tài)，最終生產(chǎn)出滿足要求的多晶硅系列產(chǎn)品。第二十三頁，共三十七頁，2022年，8月28日新產(chǎn)品研制過程：產(chǎn)品系列：（1）尺寸125mm×125mm，厚度240μm、220μm、200μm（2）尺寸156mm×156mm，厚度240μm、220μm、200μm設備：

HCTSQUARER,HCTWIRESAW500SD－B/5,RENA預清洗設備，RENAINWAONLINE自動清洗設備；第二十四頁，共三十七頁，2022年，8月28日導輪準備：根據(jù)工藝要求和硅片厚度要求準備合適的導輪；SiC準備：根據(jù)工藝需要選擇合適SiC，我們選擇的是NANKOGC1000/GC1200/GC1500；懸浮液準備：根據(jù)工藝要求選擇合適的懸浮液，我們選擇的是AOKEOX--SI303,合適的密度；第二十五頁，共三十七頁，2022年，8月28日硅塊準備：多晶硅，P型；電阻率為0.5Ω/cm-6Ω/cm；少子壽命≥2μs；氧含量≤1*1018cm3；碳含量≤5*1016cm3；粘膠準備：玻璃125mm×125mm×15mm，156mm×156mm×15mm膠ValtronA&B；鋼線準備：Bekaertφ160μm/φ140μm；工藝參數(shù)準備：設定線速度、工作臺速度、砂漿流量、鋼線張力等等；預清洗裝置的改進和工藝參數(shù)準備；清洗設備的工藝參數(shù)準備。第二十六頁，共三十七頁，2022年，8月28日關鍵技術和創(chuàng)新點技術難題：

薄片切割難度大，碎片率高；又大又薄的硅片切割難度大，斷線率和碎片率高；清洗工藝也容易造成碎片。第二十七頁，共三十七頁，2022年，8月28日解決的方法：導輪參數(shù)的選用（導輪直徑，槽距，槽深，槽型）；細砂的切割能力（砂的粒度，分布，刀口型式，根據(jù)不同粒度漿料配比不同）；細鋼線的使用（根據(jù)鋼線的破斷拉力和抗拉強度，以及切割工藝的不同設置不同的鋼線張力）；國產(chǎn)切割液的使用（粘度，密度，含水量，電導率等控制質量和性能）；粘膠工藝（玻璃，膠的配比，粘膠方式）；硅塊的選用和對去頭尾量的控制；優(yōu)化的切割工藝參數(shù)的選用（工藝曲線，切割過程動態(tài)的控制，30s取一樣點）；優(yōu)化的預清洗設備工藝參數(shù)；調整清洗配方，加強在線監(jiān)控等辦法。

第二十八頁，共三十七頁，2022年，8月28日

第二十九頁，共三十七頁，2022年，8月28日創(chuàng)新點1）用先進的工藝手段來保證切割質量。我們對硅塊準備進行特殊安排，粘膠方式進行改進；選用合適型號的SiC和切割液；優(yōu)化Slurry配比；編制優(yōu)化的工藝參數(shù)和曲線（線速度、工作臺速度、砂漿流量、鋼線張力等等）。這些手段都保證了薄型大硅片的碎片率和TTV,BOW,SAWMARK等，使最終產(chǎn)品達到研制要求的指標；第三十頁，共三十七頁，2022年，8月28日2）用先進的工藝手段和設備來保證清洗質量。預清洗裝置和工藝進行改進，減少碎片率，并加入特殊的配方以達到清洗質量；清洗裝置使用特殊配方達到清洗質量，使用世界上先進的清洗和自動分檢設備，降低硅片的清洗碎片率。清洗質量和碎片率達到研制要求的指標。第三十一頁，共三十七頁，2022年，8月28日試用結果和用戶使用報告經(jīng)檢測和用戶試用以后，硅片可以達到以下要求：多晶硅太陽能電池片平均效率≥14.5%厚度:240μm，220μm，200μm，公差+/-20μm

TTV:Max.50μm

BOW:≤30μm

無明顯表面缺陷切割碎片率，清洗碎片率，清洗質量均可達到目前小硅片厚片的要求。第三十二頁，共三十七頁，2022年，8月28日

目前我公司的系列產(chǎn)品已經(jīng)銷往我們全球的客戶使用，各項指標均可達到客戶的要求。對于200μm厚的薄片，由于國內電池廠家目前能制作200μm電池的廠家不多，我們大部分以國外客戶為主，國內客戶比如無錫尚德購買我們的硅片做了一些批次的試驗產(chǎn)品，指標完全可以達到要求。我們國外的客戶可以大規(guī)模生產(chǎn)200μm電池，使用我們的硅片，同樣可以滿足他們的要求。第三十三頁，共三十七頁，2022年，8月28日6、存在問題及解決方案目前我們公司從5月1日投產(chǎn)，至今已經(jīng)生產(chǎn)4個月了，各區(qū)域都在正常運轉，硅片已經(jīng)陸續(xù)發(fā)到國內外的客戶手中，并且與一些重要客戶達成了戰(zhàn)略合作伙伴關系，客戶對我們鑄錠質量給予了高度的評價。賽維LDK將以此為契機，完善中國光伏產(chǎn)業(yè)鏈，成為一個專業(yè)的世界級多晶硅片供應商。第三十四頁，共三十七頁，2022年，8月28日

但是，作為一個新產(chǎn)品，我們還要面對很多新問題，諸如：（1）碳化硅磨料精選和漿料進一步優(yōu)化配比問題（2）進一步降低切片及清洗的碎片率問題（3）多線切割機原輔材料及備品備件的國產(chǎn)化問題（4）硅片質量在線檢測及控制問題（5）薄型硅片（≤180μm）切割技術研究（6）大尺寸硅片（≥2