微機(jī)型數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)使用說(shuō)明

尸m盼戰(zhàn)S一2,淋澆哪落23L奮如摘34浦丑膏5US77如驟言m淋108,129,?町4斗聲對(duì)削斗戰(zhàn)s131P浩蓄毒湃131。.1冊(cè)@2陽(yáng)洲浦丑供湃一31。.2冊(cè)?1mcffiM湎S陽(yáng)瀏浦丑供湃一5一尸?暨mJ一7*12,尊景餐曹湃17*13,IBS18*14,JT蒯3瞟2。、H22-A.15,iLImn24M3回借27*號(hào)內(nèi)容■選配功能說(shuō)明，僅選配了此功能相應(yīng)配置有效1、安全說(shuō)明▲為確保該真空計(jì)的正常功能，使其具有較高的準(zhǔn)確度、穩(wěn)定性和較長(zhǎng)的使用壽命，請(qǐng)根據(jù)本說(shuō)明書(shū)中規(guī)定的允許值和應(yīng)用條件進(jìn)行操作和使用。?操作、維護(hù)和維修該真空計(jì)時(shí)，請(qǐng)遵守電氣設(shè)備的安全規(guī)范?！?避免大氣壓下開(kāi)啟電離規(guī)燈絲，這將燒毀電離規(guī)燈絲。?避免真空系統(tǒng)或管道有真空時(shí)，強(qiáng)制拆卸規(guī)管。?避免用于"正壓"的真空系統(tǒng)安裝普通規(guī)管，應(yīng)安裝承受"正壓"的規(guī)管。?避免真空系統(tǒng)中腐蝕性氣體腐蝕電阻規(guī)傳感絲及電離規(guī)各電極，以延長(zhǎng)規(guī)管壽命。?采用適當(dāng)措施防止誤操作或不允許的損壞。?如未按本說(shuō)明書(shū)操作，我們將不承擔(dān)任何責(zé)任；有關(guān)該真空計(jì)及其附件的保證條款也將無(wú)效。該說(shuō)明書(shū)使用符號(hào)說(shuō)明：▲注意：表示必須遵循的信息，如未遵循可能會(huì)導(dǎo)致對(duì)人身的傷害和對(duì)該真空計(jì)的損壞。?表示重要的附加信息和技巧或建議。炫辰鈦金保留對(duì)產(chǎn)品外觀(guān)及設(shè)計(jì)改進(jìn)和改變的權(quán)利，而無(wú)需事先通知，產(chǎn)品及配件以實(shí)物為準(zhǔn)。2、技術(shù)參數(shù)2.1電阻單元技術(shù)參數(shù)：?配用規(guī)管型號(hào):ZJ-52T電阻規(guī)?電阻規(guī)傳感絲冷態(tài)電阻值（86.5Q±1.7Q）?真空度測(cè)量范圍（對(duì)干燥空氣或氮?dú)猓?.0x105-2.5x103可測(cè)范圍。2.5x103~5.0x10-1不大于顯示值的±30%5.0x10-1-1.0x10-1可測(cè)范圍。?有效控制范圍2.5x103-5.0x10-1Pa。2.2電離單元技術(shù)參數(shù):?測(cè)量范圍：5~1Pa可測(cè)范圍1-5x10-5Pa不大于顯示值的士50%5x10-5~1x10-5Pa可測(cè)范圍?配用規(guī)管型號(hào):ZJ-27電離規(guī)?規(guī)管靈敏度:0.15±15%Pa-1。?規(guī)管加速極（柵極）對(duì)地電位：225V±3%?規(guī)管陰極（燈絲）中心點(diǎn)對(duì)地電位：25V±5%。?收集極對(duì)地電壓：0V。?發(fā)射電流：100uA±3%5~1x10-1Pa1mA±3%1x10-1-1x10-5Pa?離子流放大器示值誤差：5-1x10-4Pa不大于±5%1x10-4-1x10-5Pa不大于±10%?規(guī)管除氣方式：焦耳去氣。?有效控制范圍：1Pa~5x10-5Pa2.3其它參數(shù)?控制輸出模式：繼電器觸點(diǎn)通、斷輸出。每一組輸出為一對(duì)常閉和一對(duì)常開(kāi)。?控制負(fù)載：AC220V/1A（DC28V/5A）無(wú)感負(fù)載。?工作電源：AC220V±10%/50HZ。?功率：最大功率約40W。?工作環(huán)境溫度：0~450C。?工作相對(duì)濕度＜85%。?機(jī)箱規(guī)格及開(kāi)孔尺寸和重量參見(jiàn)附錄。3、工作原理3.1電阻單元工作原理電阻單元采用熱傳導(dǎo)式電阻真空規(guī)（又稱(chēng)皮拉尼規(guī)），基于這種規(guī)通以電流的熱絲溫度是隨真空（壓力）而變化的。由于溫度的改變導(dǎo)致熱絲電阻的變化。因此用測(cè)量電阻的變化來(lái)測(cè)量真空度。3.2電離計(jì)工作原理電離單元采用熱陰極電離規(guī)?；谶@種規(guī)在低壓力（真空）下，對(duì)通過(guò)電流的電離管燈絲"加熱"，使其發(fā)射電子，故稱(chēng)熱陰極電離規(guī)；同時(shí)給電離規(guī)加速極施加直流高壓，使電子在規(guī)管電極間產(chǎn)生的電場(chǎng)中被加速，去轟擊氣體分子使其電離，電離產(chǎn)生的正離子被收集極接收。離子流與氣體壓力P的關(guān)系:K為規(guī)管靈敏度，1+為離子流，Ie為發(fā)射電流，P為真空系統(tǒng)內(nèi)壓力（真空）3.3復(fù)合真空計(jì)由電阻規(guī)管、電離規(guī)管和電子學(xué)電路組成電阻單元電路完成電阻規(guī)熱絲定溫功率調(diào)節(jié)，以及隨真空度變化的測(cè)量橋路電壓信號(hào)的采樣,

放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。電離單元電路一部份提供電離規(guī)管所需的工作電壓以及發(fā)射電流的穩(wěn)定另一部份完成離子流的檢測(cè)、放大，經(jīng)模數(shù)（A/D）轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。以微處理器為核心的數(shù)字電路，一方面完成電阻單元真空數(shù)字信號(hào)非線(xiàn)性處理、運(yùn)算，最后送亞示器亞示；一方面完成電離單元數(shù)字信號(hào)采樣、運(yùn)算，并送顯示器顯示；同時(shí)完成離子流放大量程和發(fā)射電流轉(zhuǎn)換的自動(dòng)切換。另一方面接受前面板各按鍵指令或后板外控信號(hào)指令并發(fā)出相應(yīng)執(zhí)行指令；同時(shí)輸出真空控制信號(hào)以及真空度模擬信號(hào)和計(jì)算機(jī)通訊信號(hào)等。其工作原理功理圖如下:測(cè)調(diào)模模調(diào)測(cè)量理數(shù)數(shù)理量橋—>電―測(cè)調(diào)模模調(diào)測(cè)量理數(shù)數(shù)理量橋—>電―?轉(zhuǎn)―?轉(zhuǎn)4—電V—橋路路換換路路(A/D(A/D)控制輸出微處理器模擬量輸出離子流放大直流高壓計(jì)算機(jī)口輸出(A/

D)外控信號(hào)真空計(jì)電路工作原理框圖4、性能概述：本復(fù)合真空計(jì)：采用經(jīng)過(guò)特殊的穩(wěn)定的處理工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件的電阻規(guī)，從而更大程度地降低零點(diǎn)、滿(mǎn)度的漂移。采用特別的定溫式工作模式，使其電阻單元具有更寬廣的測(cè)量范圍和更快的響應(yīng)時(shí)間。采用高穩(wěn)定、高性能直流高壓穩(wěn)壓及穩(wěn)發(fā)射電路，以確保電離規(guī)各參數(shù)穩(wěn)定運(yùn)行。采用獨(dú)特的真空度離子流采樣放大電路和保護(hù)回路，確保從收集極回路串入的瞬變電壓（TVS）強(qiáng)力衰減，使得真空度測(cè)量更加穩(wěn)定和可靠。采用全進(jìn)口的微處理和數(shù)字接口芯片以及模擬與數(shù)字分離技術(shù)，光電隔離技術(shù)，數(shù)字濾波等新技術(shù)，確保了真空計(jì)具有強(qiáng)大的抗干擾能力。采用優(yōu)化的全自動(dòng)切換技術(shù)，確保真空計(jì)自動(dòng)量程切換平穩(wěn)和可靠。采用超量程自動(dòng)關(guān)閉電離規(guī)燈絲技術(shù)，確保因真空系統(tǒng)突然曝露大氣而不損壞電離規(guī)。采用了外控PLC信號(hào)、RS232/RS485信號(hào)，開(kāi)啟/關(guān)閉電離規(guī)最新功能，使得實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動(dòng)化成為可能。采用國(guó)際通用流行的2U標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱以及PVC彩色薄膜面板，使真空計(jì)外型更為美觀(guān)、時(shí)尚。5、使用概述真空計(jì)為二路電阻測(cè)量和一路電離測(cè)量，組合為復(fù)合真空計(jì)。電阻單元2為獨(dú)立工作單元，由真空計(jì)前面板左窗口顯示。適宜抽氣機(jī)組前級(jí)管路或其它位置的粗、低真空測(cè)量和控制。電阻1和電離組合為復(fù)合單元，由真空計(jì)前面板右窗口顯示。這種復(fù)合在自動(dòng)模式時(shí)，可實(shí)現(xiàn)電阻1自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉電離規(guī)實(shí)現(xiàn)真實(shí)度連續(xù)測(cè)量和控制：（此模式運(yùn)行要求電阻規(guī)1和電離規(guī)安裝位置之間應(yīng)沒(méi)有壓力（真空）差，如同一真空室內(nèi)等。這種復(fù)合在手動(dòng)模式時(shí)，電阻1和電離規(guī)可不受安裝位置限制（如不在同一真空室內(nèi)等），通過(guò)手動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉電離規(guī)進(jìn)行測(cè)量和控制。這種復(fù)合也可通過(guò)外控端口PLC信號(hào)等關(guān)閉電離規(guī)，以實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)在放氣降真空之前關(guān)閉電離規(guī)，避免了在低真空時(shí)使點(diǎn)亮的電離規(guī)燈絲氧化，以延長(zhǎng)規(guī)管壽命；同時(shí)在真空系統(tǒng)恢復(fù)抽真空后又置為自動(dòng)程序自動(dòng)開(kāi)啟電離規(guī)?？赏ㄟ^(guò)前面板完成控制點(diǎn)的設(shè)定，以及自動(dòng)/手動(dòng)模式測(cè)量時(shí)的自由切換?？赡苓^(guò)前面板零點(diǎn)（真空），滿(mǎn)度（大氣壓）修正小孔，修正電阻單元零點(diǎn)（真空）和滿(mǎn)度（大氣壓）值。可通過(guò)面板完成去氣功能等操作。真空計(jì)前/后面板功能圖ZDF-X-LED前面板ZDF-X-LED后面板ZDF-X前面板ZDF-X后面板6、規(guī)管性能概述：該復(fù)合真空計(jì)采用ZJ-52T電阻規(guī)和ZJ-27熱陰極電離規(guī)。6.1電阻規(guī)性能概述：ZJ-52T電阻規(guī)（又稱(chēng)皮拉尼規(guī)）采用經(jīng)過(guò)特殊的穩(wěn)定化處理工藝，以熱容量極小的金屬絲作為真空敏感元件，并內(nèi)置了環(huán)境溫度補(bǔ)償回路和管口防粉塵等裝置。具有量程寬、性能穩(wěn)定、響應(yīng)快、抗污染、耐氧化、漂移小、壽命長(zhǎng)等特性。適用于粗、低真空測(cè)量，即大氣壓1.0x105Pa至1.0x10-1Pa測(cè)量。電阻規(guī)（皮拉尼規(guī)）以氣體分子熱傳導(dǎo)方式來(lái)檢測(cè)真空，這種熱傳導(dǎo)電阻規(guī)在低壓力（真空）下，氣體傳熱量與氣體的摩爾質(zhì)量，氣體分子溫度，熱絲表面等有關(guān)。因此不同種類(lèi)的氣體對(duì)電阻規(guī)的靈敏度不同。由于該電阻計(jì)設(shè)計(jì)采用干燥空氣（或氮?dú)猓┬?zhǔn)而得出的工作曲線(xiàn)。因此在真空環(huán)境下，相對(duì)空氣（氮?dú)猓┑钠渌鼩怏w曲線(xiàn)及修正系數(shù)和等效氮壓力公式如下：（僅供參考）Peff（等效MS）=KxP（ffi示真空）6.2電離規(guī)性能概述ZJ-27電離規(guī)（又稱(chēng)寬量程規(guī)），其陰極燈絲采用貴金屬氧化物增強(qiáng)了陰極的抗氧化從而提高

了耐受瞬時(shí)大氣沖擊的能力，延長(zhǎng)了規(guī)管壽命。該熱陰極電離規(guī)的i+/ie與真空p的關(guān)系曲線(xiàn)如下圖如示:如圖所示，當(dāng)真空度進(jìn)一步降低時(shí)，在Pm處I+/IE將達(dá)到一個(gè)峰值，然后急劇下降，這種現(xiàn)象稱(chēng)作雙值現(xiàn)象。ZJ-27電離規(guī)的峰值點(diǎn)（或雙值點(diǎn)）為：5.0Pa左右。因此在開(kāi)啟電離規(guī)測(cè)量時(shí)，真空度應(yīng)高于此點(diǎn)，若真空度低于此點(diǎn)，此時(shí)你將會(huì)發(fā)現(xiàn)異常的真空度顯示。如真空度變好時(shí)系數(shù)本應(yīng)減小，它卻反而增加，或真空度異常偏高等。?ZJ-27電離規(guī)雖采用了抗氧化陰極燈絲，但高溫?zé)艚z長(zhǎng)時(shí)間工作在較低真空下（氧氣分壓相對(duì)校高）亦易被氧化，并逐步降低發(fā)射能力，使規(guī)管壽命縮短。?因此應(yīng)采取最優(yōu)的真空系統(tǒng)運(yùn)行程序，縮短低真空區(qū)域停留時(shí)間。?并使其保持在高真空區(qū)域工作。?或無(wú)需測(cè)量時(shí)暫時(shí)關(guān)閉電離規(guī)。6.3電阻適宜測(cè)量范:2.5x103Pa~1.0Pa.電離規(guī)適宜測(cè)量范:1.0Pa~5.0x10-5Pa?7、規(guī)管外形及安裝7.1規(guī)管外形ZJ-52T電阻規(guī)外形ZJ-27電離規(guī)外形7.2規(guī)管安裝：6.3電阻適宜測(cè)量范:2.5x103Pa~1.0Pa.電離規(guī)適宜測(cè)量范:1.0Pa~5.0x10-5Pa?規(guī)管安裝的位置和方法對(duì)測(cè)量值及規(guī)管壽命有明顯的影響，尤其是當(dāng)系統(tǒng)中存在氣流、氣源等非均勻條件或高能離子/電子時(shí)，這種影響更加明顯。安裝示意圖如下：7.2.1電阻規(guī)安裝說(shuō)明?玻璃外殼電阻規(guī)安裝前可先與電阻單元連機(jī)確認(rèn)零點(diǎn)是否正確或修正其零點(diǎn)，然后開(kāi)封安裝。?采用豎直安裝。?水平安裝可能會(huì)帶來(lái)測(cè)量偏差。7.2.2電離規(guī)安裝說(shuō)明?應(yīng)優(yōu)先采用豎直安裝。?應(yīng)遠(yuǎn)離有油蒸汽（如擴(kuò)散泵返油）的位置，防止油蒸汽遇高溫?zé)艚z裂解改變規(guī)管靈敏度和特性以延長(zhǎng)規(guī)管的使用壽命。?應(yīng)遠(yuǎn)離高能離子或電子的位置，或屏蔽衰減真空系統(tǒng)內(nèi)的高能離子或電子進(jìn)入規(guī)管，轟擊規(guī)管電極，加速規(guī)管電極老化，縮短規(guī)管壽命。?應(yīng)避免規(guī)管安裝處有漏孔，否則微小漏氣在規(guī)管局部產(chǎn)生壓力差，這將帶來(lái)較大的測(cè)量偏差。8、真空計(jì)與規(guī)管連線(xiàn)8.1真空計(jì)與電阻規(guī)連線(xiàn)I將電阻規(guī)電纜線(xiàn)（五芯插頭）與儀器后面板電阻規(guī)1/2插口相連并旋緊，電纜線(xiàn)的另一頭（八腳插座）與電阻規(guī)八腳插頭相連。8.2真空計(jì)與電離規(guī)連線(xiàn)將電離規(guī)電纜線(xiàn)（四芯插頭）與儀器后面板電離規(guī)插口相連并旋緊，電纜線(xiàn)的另一頭（八腳插口）與電離規(guī)八腳插頭相連。同時(shí)將收集極電纜（BNC插頭）與儀器后面板收集極插口相連，另一頭夾子與玻璃規(guī)管收集極管冒相連或與金屬規(guī)管第1腳引出線(xiàn)相連。真空計(jì)開(kāi)機(jī)及顯示說(shuō)明：在確保所有連線(xiàn)正確后，即可接通真空計(jì)電源，顯示屏顯示◎◎◎◎◎◎◎◎◎◎電阻2單元電阻1與電離復(fù)合單元如左窗口顯示:系數(shù)位表示X10指數(shù)符號(hào)位“+”或“-"指數(shù)位表示真空度為2.0x102Pa=200Pa?當(dāng)指數(shù)符號(hào)為負(fù)顯示"-"，為正不顯示"+”真空計(jì)使用方法10.1電阻2單元使用方法:系數(shù)位表示X10指數(shù)符號(hào)位“+”或“-"指數(shù)位電阻2為獨(dú)立單元，真空計(jì)開(kāi)機(jī)后?此刻應(yīng)進(jìn)行電阻單元2設(shè)定操作（如果有此功能或需要設(shè)定。?若不進(jìn)行設(shè)定操作（無(wú)此設(shè)定功能或已設(shè)定過(guò)），5秒后電阻單元2自動(dòng)進(jìn)入測(cè)量壯態(tài)并顯示真空度（左窗口'10.1.1電阻計(jì)2單元零點(diǎn)、滿(mǎn)度修正由于電阻規(guī)本身的特異性（即零散性）以及使用時(shí)的特定環(huán)境等因素，從而使電阻計(jì)2與某一個(gè)電阻規(guī)匹配首次使用時(shí)或使用一段時(shí)間后，需要對(duì)零點(diǎn)、滿(mǎn)度進(jìn)行修正。?零點(diǎn)修正及說(shuō)明?應(yīng)在真空度高于1.0x10-iPa時(shí)進(jìn)行。將真空計(jì)切換為手動(dòng)，手動(dòng)開(kāi)啟電離規(guī)完成高真空的測(cè)量，其操作方法詳見(jiàn)15頁(yè)手動(dòng)模式開(kāi)啟和關(guān)閉電離規(guī)。將電阻規(guī)2和電離規(guī)與高真空系統(tǒng)妥善連接，同時(shí)對(duì)真空系統(tǒng)抽到真空，開(kāi)啟電離規(guī)進(jìn)行真空檢測(cè)，在真空度高于1.0x10-iPa時(shí)，此時(shí)電阻2單元若顯示1.0x10-iPa，說(shuō)明零點(diǎn)正確，不需要修正，若顯示不為此值，如顯示2.5EO或1.E-1等，應(yīng)進(jìn)行修正。其修正操作方法如下：用一字小改刀伸入真空計(jì)前面板電阻單元2零點(diǎn)修正小孔，正或反時(shí)針旋轉(zhuǎn)，使其顯示1.0E-1即可。?順時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。?高真空狀態(tài)下，由于環(huán)境溫度以及傳感絲表面壯態(tài)改變等因素的影響，零點(diǎn)易漂移，若一般能顯示在1.0E-1......5.0E-1內(nèi)，均屬正常，不需要修正。?滿(mǎn)度修正及說(shuō)明?滿(mǎn)度修正在大氣壓狀態(tài)下進(jìn)行。在零點(diǎn)確認(rèn)正確或經(jīng)修正正確后，對(duì)真空系統(tǒng)放氣，直至大氣壓下，電阻單元2顯示1.0E5,說(shuō)明滿(mǎn)度正確，不需要修正。若顯示不為此值，如顯示6.0E3或HHE5，應(yīng)進(jìn)行修正，其修正操作方法如下：用一字小改刀伸入真空計(jì)前面板電阻單元2滿(mǎn)度修正（大氣壓）小孔，正或反時(shí)針旋轉(zhuǎn)，使其顯示1.0E5即可。?順時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變大，反時(shí)針旋轉(zhuǎn)數(shù)字變小。基于上述還未對(duì)真空計(jì)進(jìn)行零點(diǎn)確認(rèn)或修正。以及真空計(jì)零點(diǎn)正確或變化微小，但滿(mǎn)度值已變化。因此真空計(jì)開(kāi)機(jī)后，在大氣壓下，僅僅對(duì)其滿(mǎn)度修正即可。?滿(mǎn)度修正時(shí)，電阻規(guī)安裝或放置狀態(tài)（豎直或水平）應(yīng)與使用時(shí)狀態(tài)相同。大氣壓（常壓）狀態(tài)下由于空氣分子密度大或經(jīng)高溫環(huán)境下工作后，其滿(mǎn)度值恢復(fù)和穩(wěn)定時(shí)間較長(zhǎng)。?因此雖存在一定的漂移，若一般能顯示在1.0E4……9.0E4范圍均屬正常，不需要修正。10.1.2.控制功能及設(shè)定方法控制功能及設(shè)定方法詳見(jiàn)17頁(yè)控制功能及設(shè)定方法10.1.3.控制輸出：詳見(jiàn)18頁(yè)控制輸出10.2電阻單元1與電離復(fù)合單元使用方法10.2.1電阻單元1使用方法電阻單元1既是低真空測(cè)量與控制單元，又是自動(dòng)開(kāi)啟電離規(guī)單元?；诘驼婵諟y(cè)量與控制單元其使用方法與電阻單元2相同。在1.0x105~2Pa時(shí)由右窗口顯示其真空測(cè)量值。若需進(jìn)行零點(diǎn)修正，應(yīng)將復(fù)合單元置為手動(dòng)，由與其組合的電離計(jì)測(cè)量高真空，然后關(guān)閉電離規(guī)或按"電阻1”按鍵轉(zhuǎn)為電阻1顯示，以此確認(rèn)零點(diǎn)是否需要修正。?在日常工作中，常觀(guān)測(cè)零點(diǎn)值的變化，若變化微小（10-1Pa量程）可不需要修正，若變化較大以致不能開(kāi)啟電離規(guī)則需要修正零點(diǎn)。這樣做將對(duì)真空系統(tǒng)的真空檢測(cè)和控制正常運(yùn)行帶來(lái)幫助和方便?；陔娮?的啟動(dòng)功能在真空度測(cè)量值高于2?合時(shí)，（*且外控端1與2斷開(kāi)恢復(fù)自動(dòng)模式，）電離規(guī)被自動(dòng)開(kāi)啟并顯示電離測(cè)量值，電阻1測(cè)量值被隱藏。10.2.2電離單元使用方法：?自動(dòng)模式電離規(guī)開(kāi)啟：真空計(jì)開(kāi)機(jī)后，復(fù)合單元優(yōu)先置為自動(dòng)工作模式，同時(shí)前面板自動(dòng)指示燈亮。由電阻規(guī)1自動(dòng)開(kāi)啟電離規(guī)實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量。?開(kāi)機(jī)后應(yīng)進(jìn)行電離計(jì)控制功能設(shè)定。否則5秒后電阻單元1自動(dòng)進(jìn)入測(cè)量壯態(tài)，在1.0x105-2Pa范圍由右窗口顯示測(cè)量值。?電離規(guī)開(kāi)啟點(diǎn)真空度為2.0Pa。?當(dāng)電阻1單元測(cè)量真空度高于2.0Pa?*同時(shí)外控端口1與2斷開(kāi)。電離規(guī)被啟動(dòng)，燈絲點(diǎn)亮（玻璃規(guī)可觀(guān)測(cè)到），顯示屏初始顯示電離規(guī)發(fā)射電流值（以最后一次顯示值為準(zhǔn)'若顯示值在0.080-0.120標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，表明真空計(jì)發(fā)射電流正常，真空計(jì)進(jìn)入真空度檢測(cè)程序并顯示真空度值。若顯示值在0.080-0.120標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，這后顯示------,說(shuō)明系統(tǒng)內(nèi)真空度處于電離規(guī)臨界峰值點(diǎn)，電離計(jì)自身進(jìn)入超量程自動(dòng)保護(hù)程序，保護(hù)電離規(guī)。這是由于電阻計(jì)1零點(diǎn)不正確，即零點(diǎn)提前過(guò)多所至，需要修正零點(diǎn)，零點(diǎn)修正參見(jiàn)13頁(yè)。若顯示值顯示在0.080-0.120標(biāo)準(zhǔn)范圍以外，這將關(guān)閉電離規(guī)，并顯示—---，說(shuō)明規(guī)管燈絲斷或規(guī)管發(fā)射能力降低，以及使用了與出廠(chǎng)時(shí)不匹配的規(guī)管電纜。?自動(dòng)模式電離規(guī)關(guān)閉：真空度降低至5Pa時(shí)電離規(guī)自身超量程關(guān)閉。以及再降低至10Pa時(shí)由電阻單元1關(guān)閉電離規(guī)。按前面板關(guān)閉按鍵關(guān)閉電離規(guī)。外控端口1與2閉合關(guān)閉電離規(guī)。?手動(dòng)模式電離規(guī)開(kāi)啟：真空計(jì)開(kāi)機(jī)后或工作中，按一下前面板自動(dòng)按鍵，即取消自動(dòng)運(yùn)行程序，同時(shí)前面板自動(dòng)指示燈熄滅。同時(shí)外控端口1與2斷開(kāi)（或端口不連接線(xiàn)）,（因程序設(shè)定外控端口1與2閉合，前面板開(kāi)啟按鍵無(wú)效'?在確保真空系統(tǒng)內(nèi)真空度高于5Pa時(shí)。按一下前面板"開(kāi)電離"按鍵，隨后放開(kāi)，電離規(guī)燈絲點(diǎn)亮（玻璃規(guī)可觀(guān)測(cè)到）顯示屏初始顯示電離規(guī)發(fā)射電流（以最后一次顯示值為準(zhǔn)。顯示方式和現(xiàn)象與自動(dòng)模式相同。?若真空系統(tǒng)真空度低于ZJ-27型電離規(guī)峰值點(diǎn)"雙峰點(diǎn)"，提前打開(kāi)電離規(guī)，真空計(jì)將關(guān)閉電離規(guī)或顯示一個(gè)虛假的真空度值。?電離規(guī)開(kāi)啟進(jìn)入真空度測(cè)量，若再一次按下"開(kāi)電離"按鍵并保持，則顯示當(dāng)前的發(fā)射電流值。?手動(dòng)模式電離規(guī)關(guān)閉：按一下前面板"關(guān)電離"按鍵，則關(guān)閉電離規(guī)，停止真空檢測(cè)，顯示屏顯示外控端口1與2閉合，則關(guān)閉電離規(guī)，停止真空檢測(cè)，顯示屏顯示10.2.5控制功能及設(shè)定方法控制功能及設(shè)定方法詳見(jiàn)17頁(yè)控制功能及設(shè)定方法10.2.6控制輸出：詳見(jiàn)18頁(yè)控制輸出11、真空計(jì)去氣：電離規(guī)工作時(shí)的去氣作用是一個(gè)與規(guī)的歷史條件和使用條件有關(guān)的變化參量，為減少測(cè)量誤差，應(yīng)對(duì)規(guī)管電極去氣。需要去氣時(shí)，按一下真空計(jì)前面板"去氣”按鍵，開(kāi)始對(duì)規(guī)管去氣，并顯示去氣累積時(shí)間，每次去氣時(shí)間3~5分鐘為宜。若中止去氣，則按一下"開(kāi)電腦”按鍵，退出去氣程序轉(zhuǎn)入真空度測(cè)量并顯示當(dāng)前真空度值。?去氣時(shí)真空度應(yīng)大于1.0x10-2Pa,否則不執(zhí)行去氣指令。?但在真空度低于1.0x10-2Pa時(shí)，沒(méi)有必要對(duì)規(guī)管去氣。*12、控制功能及設(shè)定方法：12.1、控制功能控制功能是專(zhuān)為全自動(dòng)或半自動(dòng)真空設(shè)備設(shè)計(jì)的擴(kuò)展功能。通過(guò)真空計(jì)的繼電器觸點(diǎn)通、斷（或開(kāi)、關(guān)）來(lái)切斷真空設(shè)備的真空泵或閥門(mén)等設(shè)備的供給電源，從而實(shí)現(xiàn)真空設(shè)備的自動(dòng)或半自動(dòng)工作模式。?在最佳的真空測(cè)量段可任意設(shè)定真空控制點(diǎn)或區(qū)間控制值（即上、下限值）并輸出繼電器觸點(diǎn)通、斷信號(hào)。該真空計(jì)定義上限值比下限值數(shù)值小，即上限真空度比下限真空度高（例如：上限值為5.0E1，下限值應(yīng)為6.0E1......2.0E2等）?該真空計(jì)的控制功能為選配功能，僅選裝了該功能的真空計(jì)其前、后面板對(duì)應(yīng)按鍵、輸出功能有效。12.2、設(shè)定方法所有設(shè)定通過(guò)前面板設(shè)定按鍵完成。?所有設(shè)定在真空計(jì)開(kāi)機(jī)后，應(yīng)立刻進(jìn)入設(shè)定操作，否則5秒后電阻1/2單元自動(dòng)進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)，此后不能進(jìn)行設(shè)定。?復(fù)合單元為全量程設(shè)定。在2.5x103~5.0x10_1P范圍，由電阻1單元控制輸出在1Pa~5*10-5Pa范圍，由電離單元控制輸出。具體操作方法如下：?上限值設(shè)定:按下"設(shè)定1"按鍵手不松開(kāi)并保持，"設(shè)定1”上限燈亮，初始顯示5.0E-1,顯示值開(kāi)始變化;顯示系數(shù)加1,逢10指數(shù)加1,顯示過(guò)程如下：5.0E-1,6.0E-1……-1.0E0，……9.0E0一1.0E19.0E2-1.0E3...5.0E3-5.0E-16.0E-1—...循環(huán)。當(dāng)顯示到所需設(shè)定上限值時(shí)，停止按鍵，"設(shè)定1”上限值設(shè)定完成。?下限值設(shè)定：緊跟著再次按下"設(shè)定1”按鍵并保持，"設(shè)定1”下限燈亮，顯示將從上限值開(kāi)始增加，其增加過(guò)程同上，當(dāng)增加到所需下限值時(shí)，停止按鍵"設(shè)定1”下限值完成的，此時(shí)整個(gè)設(shè)定完成。?點(diǎn)控值設(shè)定：如果上限值設(shè)定完成后不再次按下"設(shè)定1”按鍵，即不設(shè)定下限值，則上限值即為點(diǎn)控值。"設(shè)定2”"設(shè)定3”……"設(shè)定n”操作與上述相同。5秒后電阻1/2單元進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)，并顯示真空度值。?如何關(guān)閉控制點(diǎn)：按下任意"設(shè)定”按鍵，當(dāng)顯示0.0E-1或0.0E-5時(shí)，停止按鍵，則相應(yīng)控制點(diǎn)被關(guān)斷。?如何顯示控制點(diǎn)真空計(jì)進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)后，可按下相應(yīng)"設(shè)定”按鍵，真空計(jì)將循環(huán)顯示上、下限設(shè)定值。?真空計(jì)的設(shè)定值具有掉電記憶。*13、控制輸出當(dāng)真空計(jì)檢測(cè)真空度達(dá)到某一設(shè)定值上限時(shí)，控制輸出繼電器動(dòng)作（即觸點(diǎn)常閉轉(zhuǎn)為常開(kāi)）同時(shí)上限燈亮（或?qū)?yīng)的J1/J2燈亮）；若真空度下降低于該設(shè)定上限值時(shí)，上限燈滅，但繼電器保持不動(dòng)作（點(diǎn)控時(shí)動(dòng)作），當(dāng)真空度再繼續(xù)下降到設(shè)定下限值時(shí)，下限燈滅，或?qū)?yīng)的J1/J2燈滅，此時(shí)繼電器動(dòng)作，恢復(fù)原態(tài)。?例如：某一設(shè)定上限值為9x102Pa,下限為1x103Pa,其變化過(guò)程如下13.1控制輸出端口：?"設(shè)定1”"設(shè)定2”....."設(shè)定n"控制輸出端口與真空計(jì)前面板相應(yīng)設(shè)定"按鍵"相對(duì)應(yīng)。?每一控制輸出由三個(gè)端子引出，中間端為公共端，另外兩端為常開(kāi)和常閉端，其圖示為：13.2控制輸出對(duì)應(yīng)表電阻2單元控制輸出復(fù)合單元控制輸出設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定設(shè)定注:?標(biāo)準(zhǔn)控制輸出：設(shè)定1/2為電阻單元控制輸出，設(shè)定3/4為復(fù)合單元控制輸出。?若未特別說(shuō)明按標(biāo)準(zhǔn)控制輸出。*14、擴(kuò)展功能所有擴(kuò)展功能均為選配功能，僅選配了該功能的真空計(jì)才具有相應(yīng)的功能輸出。14.1外控關(guān)閉電離規(guī)輸入端口：?1與2閉合關(guān)閉電源；1與2斷開(kāi)恢復(fù)自動(dòng)模式。14.2模擬輸出M.2.1模擬輸出端口：ZDF-X-LED型輸出紅+/黑-

ZH?ri:逐肆、乙(I)時(shí)朝"(辛丑網(wǎng))碉構(gòu)8'(0)醐齡一'WW01:￥旦蜘、1湖瞄海1甫乙屹明i￡aai-x-daz:WWRm44ZEfriIr-^j(V^O^-t'aiaioi-0'AOI-O'AS-0)挈弟Z*Z*Pl-z/+\ffiWhSx-daz3、發(fā)送順序:（為ASCII碼）發(fā)送順序02AH（或"OAAH”為ZDF-X特征字）開(kāi)始特征字02AH為16進(jìn)制XYZWxyzw式中，X、Y為電阻2單元測(cè)量系數(shù)，x、y為復(fù)合單元測(cè)量系數(shù)。Z為電阻2單元指數(shù)符號(hào)，z為復(fù)合單元指數(shù)符號(hào)。W為電阻2單元指數(shù)，w為復(fù)合單元指數(shù)。RS232/485雙向發(fā)送協(xié)議（可變地址）1、傳輸方式：10位傳輸，一位起始位（0）,8位數(shù)據(jù)位（低位在先）,1位停止位（1）2、波特率：9.6KHz3、地址設(shè)定方法：按住"設(shè)定1”按鈕，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，儀器左窗口顯示值為本機(jī)地址，本機(jī)地址可通過(guò)設(shè)定1、設(shè)定2按鈕進(jìn)行修改，可修改范圍為01-99，修改完成后，可按"去氣”按鈕退出地址設(shè)定狀態(tài)或關(guān)閉電源均可。如地址設(shè)定為48，則發(fā)送命令如下:4命令應(yīng)答“4”“8”“0”“]”低真空度“X”“X”“X”“X”“>”電阻規(guī)1（整數(shù)）（小數(shù)）（符號(hào)）（指數(shù)）“4”“8”“1”“]”低真空度“X”“X”“X”“X”“>”

電阻規(guī)2（整數(shù)）（小數(shù)）（符號(hào)）（指數(shù)）“4”％”“2”“]”高真空度“X”“X”“X”“X”">”電離規(guī)散（整數(shù)）（小數(shù)）（符號(hào)）（指數(shù)）注1:有效命令（上表所列）均應(yīng)等待真空計(jì)應(yīng)答，否則隨后命令有可能不能正常執(zhí)行。注2:以上命令均為ASCII碼。15、附錄15.1機(jī)箱規(guī)格及開(kāi)孔尺寸和重量型號(hào)ZDF-X-LEDZDF-X機(jī)箱規(guī)格480x88240x88480x119265x119開(kāi)孔尺寸440x85200x85440x119225x119重量5.5kg3.5kg5.0kg3.5kg選定機(jī)箱15.2機(jī)箱尺寸及開(kāi)孔尺寸詳15.3規(guī)管管體及接口尺寸ZJ-52T管體及接口尺寸管體接口尺寸選定尺玻璃①15.5±0.5金屬。15.5KF10/1KF25KF40CF16CF25CF35注：未特別說(shuō)明按標(biāo)準(zhǔn)配置：為①15.5金屬規(guī)管

ZJ-27管體及接口尺寸管體接口尺寸選定尺玻璃①15.5±0.5金屬。15.5KF10/1KF2SKF40CF16CF25CF3S注：未特別說(shuō)明按標(biāo)準(zhǔn)配置：為①15.5金屬規(guī)管15.4規(guī)管接口尺寸夾緊型真空快卸法蘭（摘自GB4982-85）Kf系列法蘭的型式及尺寸如下列圖表如下法蘭標(biāo)記DNdlmaxd2d3KF1014.012.2+。.2030.00-0.084KF1620.017.2+0.2030.00-0.084KF2528.026.2+0.2040.00KF404