第三電容式傳感器演示文稿_第1頁
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第三電容式傳感器演示文稿當前1頁，總共16頁。優(yōu)選第三電容式傳感器當前2頁，總共16頁。1、變面積型：

變面積型傳感器是線性的。增大初始電容C0可以提高靈敏度K，這種傳感器主要用于位移等參數(shù)的測量。

當前3頁，總共16頁。2、變介電常數(shù)型：

變介電常數(shù)型傳感器是線性的。增大初始電容C0

可以提高靈敏度K，這種傳感器主要用于物位測量、介電常數(shù)測量和測厚儀。當前4頁，總共16頁。3、變間距型（常用形式）

當極板距離有一個增量Δd時，則傳感器電容為：

當前5頁，總共16頁。靈敏度K為

非線性誤差為：

常采用差動式電容傳感器，此時電容傳感器輸出為：當前6頁，總共16頁。靈敏度為：

非線性誤差為：

變面積型和變介電常數(shù)型(測厚除外)電容傳感器具有很好的線性。但它們的結(jié)論都是忽略了邊緣效應得到的。實際上由于邊緣效應仍存在非線性問題，且靈敏度下降，但比變極距型好得多。當前7頁，總共16頁。二、電容式傳感器的測量電路調(diào)制型電路分為：調(diào)頻電路和調(diào)幅電路；1．交流激勵法，2.交流電橋電路

脈沖型電路，脈沖型轉(zhuǎn)換電路的基本原理是利用電容的充放電。兩種性能較好，較常用的電路為：雙T型充放電網(wǎng)絡，脈沖調(diào)寬型電路。當前8頁，總共16頁。1.交流電橋當前9頁，總共16頁。2．脈沖寬度調(diào)制電路當前10頁，總共16頁。當前11頁，總共16頁。令，則電路輸出為：為觸發(fā)器輸出高電平，當電容為變間距電容傳感器時，當前12頁，總共16頁。三、誤差分析1．溫度的影響

從選材、結(jié)構(gòu)、加工工藝等方面可以有效的減小溫度誤差，同時保證絕緣材料具有高的絕緣性能。2．邊緣效應及其消除邊緣效應不僅使電容傳感器的靈敏度降低而且產(chǎn)生非線性因此應盡量消除或減小它。消除邊緣效應的方法：

·增加原始電容值

·加裝等位環(huán)3．寄生與分布電容的影響及消除

寄生電容是電容極板與周圍物體產(chǎn)生的電容。它改變電容傳感器的電容量且本身極不穩(wěn)定，影響傳感器的靈敏度，而它的變化則為虛假信號影響儀器的精度，必須消除和減小它。當前13頁，總共16頁。消除和減小寄生電容可采用如下方法：·增加原始電容值可減小寄生電容的影響?！ぷ⒁鈧鞲衅鞯慕拥睾推帘巍！鞲衅髋c電子線路的前置級(集成化)裝在一個殼體內(nèi)，省去傳感器至前置級的電纜?！げ捎?驅(qū)動電線"技術(shù)(也稱"雙層屏蔽等位傳輸"技術(shù))。·采用運算放大器法·整體屏蔽法。防

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