XPS峰擬合步驟及規(guī)矩

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1.原始數(shù)據(jù)的處理:Ａ，與C1s比較標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù):將excel表格中的C1s數(shù)據(jù)的最高點(diǎn)對(duì)應(yīng)的結(jié)合能與標(biāo)準(zhǔn)C1s結(jié)合能（一般為284.6）比較，算差值+（-）α；將需擬合元素（如Ir）的結(jié)合能-（+）α，得標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)。注：若得到的C1s不平滑，先懷疑是否測(cè)試過程出現(xiàn)問題。若無(wú)測(cè)試問題，數(shù)據(jù)可信，將C1s進(jìn)行擬合得到一個(gè)最高點(diǎn)（可用XPSPEAK,origin等）。擬合元素結(jié)合能-（+）α最好拷貝到另個(gè)excel中處理，得標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)。Ｂ，轉(zhuǎn)化成TXT:將標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)拷貝到TXT文本中（兩列就足夠了）

2.下載安裝XPS擬合處理軟件http://..hk/~surface/XPSPEAK/

3.數(shù)據(jù)輸入:運(yùn)行XPSPEAK41，點(diǎn)data>Import(ASCII)>*.txt(轉(zhuǎn)換好的標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù))，得譜線。4.背景扣除:點(diǎn)Background，調(diào)high和lowBE的值，一般用Shirley背景扣除。注：基線不能高于需擬合的曲線。

5.加峰:A,查需擬合元素標(biāo)準(zhǔn)結(jié)合能值/xps/；SearchMenu＞RetrieveDataforaSelectedElement＞BindingEnergy＞元素；查需擬合元素分裂能DoubletSeparation＞元素；B,加峰選AddPeak，選適合的PeakType(如s,p,d,f),Position處選希望的峰位（參考所查標(biāo)準(zhǔn)結(jié)合能值），需固定時(shí)點(diǎn)fix前的小方框，否則所有Fix選項(xiàng)都不要選。各項(xiàng)中的constaints可用來(lái)固定此峰與另一峰的關(guān)系，如Ir4f中同一價(jià)態(tài)的Ir4f7/2和Ir4f5/2的峰位間距可固定為2.98eV，峰面積比可固定為4:3等。點(diǎn)擊OptimisePeak對(duì)峰進(jìn)行優(yōu)化,最終點(diǎn)擊Accept完成對(duì)該峰的設(shè)置。點(diǎn)DeletePeak可去掉此峰。再選擇AddPeak可以增加新的峰，如此重復(fù)。注：1)對(duì)p、d、f的次能級(jí)強(qiáng)度比是一定的，p3/2:p1/2=2:1；d5/2:d3/2=3:2，f7/2:f5/2=4:3；2)對(duì)有能級(jí)分裂的能級(jí)（p、d、f），分裂的兩個(gè)軌道間的距離也基本上是固定的，宛如一價(jià)態(tài)的Ir4f7/2和Ir4f5/2之間的距離為2.98eV左右。

6.優(yōu)化:分別點(diǎn)PeakProcessing窗口總的RegionPeaks下方的0、1、2等，可查看每個(gè)峰的參數(shù)，此時(shí)XPS峰中變紅的曲線為被選中的峰；觀測(cè)擬合后總峰與原始峰的重合狀況，如對(duì)擬合不滿，可重新改變參數(shù)，再OptimiseAll。

7.保存和輸出:A,點(diǎn)SaveXPS可存為.xps的圖，點(diǎn)OpenXPS可開啟這副圖，并可編輯;B,點(diǎn)

Data>Export（spetrum），可將擬合好的數(shù)據(jù)存為.dat（可用記事本開啟），在Excel里把*.dat開啟，在文本向?qū)Ю铮芽崭瘛踢x中，點(diǎn)下一步，完成，即可復(fù)制到Origin，處理;C,點(diǎn)Export（Pea