SEMI-S2半導體制程設備安全準則

1/1SEMIS2半導體制程設備安全準則2003年9月29日Content:1.目的；2.范圍；3.注意事項；4.參考標準；5.術語；6.安全理念；7.一般準則；8.評估過程；9.提供給使用者的文件；10.危險性警告標志；11.安全連鎖裝置；12.緊急停機；13.電氣安全；14.消防安全；15.化學物質加熱槽；16.人體工學；17.危險能量隔離；18.機械設計安全；19.地震保護；20.自動機械設備；21.環(huán)境因素；22.排氣；23.化學品安全；24.游離輻射安全；25.非游離輻射安全；26.激光安全；27.噪音1.目的(PURPOSE)為半導體制程設備提供一套實用的環(huán)保、安全和衛(wèi)生準則。2.范圍(SCOPE)適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設備。3.注意事項(LIMITATIONS)3.1不可作為檢驗是否符合本地法規(guī)要求的依據(jù)；3.2沒有提供非常詳細的半導體制程設備ESH準則；3.3參考了眾多的國際性法規(guī)、標準等。但只是被引用的條文適用于此標準，并不是被引用的標準或法規(guī)等所有條文都適用。4.參考標準(REFERENCEDSTANDARDS)4.1SEMIStandards4.2ANSIStandards(RadioFrequency)4.3CEN/CENELECStandards(Explosion)4.4IECStandards(Electrical)4.5ISOStandards(Robotmanipulation)4.6NFPAStandards4.7ACGIH(IndustrialVentilationManual)5.術語(TERMINOLOGIES)5.1不可燃物質（Non-combustiblematerial）：在一般條件（anticipatedconditions）下，受熱或在火焰中不可燃燒，也不支持燃燒或遇熱不可釋放出易燃蒸汽之物質。典型不可燃物質有金屬、陶瓷、石英等。5.2可燃物質(Combustiblematerial)：具有火焰?zhèn)鞑ツ芰虿粷M足上述“不可燃物質”定義之物質。5.3易燃氣體(Flammablegas)：在101.3KPa和20℃下，可以和空氣形成可被點燃的混合物的氣體。5.4自燃物質(Pyrophoricmaterial)：54.4℃以下在空氣中可以自燃的化學品。5.5易燃液體(Flammableliquid)：閃點小于37.8℃（100F）之液體。5.6游離輻射(Ionizingradiation)：α、β、γ粒子，X射線，中子，高速離子，高速質子等所有在人體器官內可產生離子之粒子或射線。5.7非游離輻射(Non-ionizingradiation)：電磁波長在100nm以上者，包括普通電頻、微波、紅外線、紫外線及可見光等。5.8質量平衡(Massbalance)：輸入與輸出的質量流率定性(或定量)平衡。5.9災禍(Mishap)：對人體造成死亡、傷害、職業(yè)病或對設備、財產、環(huán)境造成損失的未預計的或一系列的事件(events)。5.10職業(yè)曝露濃度極限(Occupationalexposurelimits,OELs)：以一天工作8小時為計算基礎。PEL,TLV等皆屬于職業(yè)曝露濃度極限定義之專業(yè)名詞。不同國家對PEL等的定義之標準可能不一致。5.11生殖毒害品(Reproductivetoxicant)：已證實或懷疑對胚胎產生畸形危險，或對胚胎發(fā)育及人體生殖功能有明顯負面影響的化學物質。5.12風險(Risk)：以危害嚴重性和危害機率表示發(fā)生災難的可能性。5.13速度壓力(Velocitypressure,VP)：使空氣速度從零到要求的速度所需要的壓力值。VP和空氣流的動能成正比。5.14失效也是安全的(FailSafe)：一種設計，當系統(tǒng)中任何組件失效時，不可造成危險的升級。比如：一個具有失效也是安全設計的溫度控制儀，如果失效，會立即停止制程，但同時還可以指示實際溫度值。5.15危害性制程物料(HazardousProductionMaterial,HPM)：一種固體、流體或氣體，其危險程度依NFPA704標準之等級歸類在健康危害、易燃性或反應性為3或4，直接用于研究、實驗室或生產制程者，且其最終產品不具任何危害性。5.16無線電頻率(RadioFrequency,RF)：頻率范圍由3KHz到300GHz的電磁波。微波是頻率300MHz到300GHz之電磁波。5.17連鎖(Interlocks)：硬件連鎖─一種由電氣機械組件、電纜線或光連結,已經程序設定好的機械控制電路。當電路被切斷時，最終的控制部份無法操作。軟件連鎖─計算器控制程序。在其支配之下，裝置可或不許被人操作。任何涉及不同程度的安全，軟件安全連鎖需要硬件安全連鎖作支持。5.18物質安全資料表(MaterialSafetyDataSheets,MSDS)：書面或印制的危害物質之資料，它是依照29CFR1910.1200(OSHA格式20)之規(guī)定制作的。6.安全理念(SAFETYPHILOSOPHY)6.1在設備生命周期（安裝、操作、保養(yǎng)及廢棄處置）中，對其可能發(fā)生的潛在安全及衛(wèi)生危害進行消除，或通過防護措施來減少這種危害。6.2在半導體制程設備設計、制造以及評估過程中，必須運用本標準來減少重新設計或翻新帶來的破壞性后果。6.3必須考慮合乎工業(yè)、建筑、電氣、消防標準及政府法規(guī)之需要。6.4設備設計時應該符合規(guī)范要求、工業(yè)標準、本標準以及良好的工程和制造規(guī)范。6.5任何可預見的失效或操作錯誤而導致人員危害曝露、廠務設施危害曝露或社區(qū)危害曝露危害，以及導致死亡、重大傷害或重大設備損失的現(xiàn)象都是絕對不允許的。6.6設備必須有“失效也安全”(FAIL-SAFE)或“故障容許度”(FAULT-TOLERANT)之設計。6.7設備組件及配件都應該符合設備制造商提供的等級級別或標準規(guī)格。6.8設備設計初期，為鑒別和評估潛在危害，應該進行危害分析。當設計成熟后，危害分析結果應該更新。6.9危害分析應該考量：設備制程或應用、各個制程的危害、可能的失效模式、災害發(fā)生的可能性以及嚴重性、危害曝露人員的專業(yè)水平和曝露頻率、操作和保養(yǎng)的頻率與復雜性、關鍵安全部件6.10控制危害的各種方法的選擇順序如下：設計時將之消除危害使用安全設施進行防護-工程控制提供安全警告設施-工程控制提供危害警告標簽-管理控制訓練-管理控制其他管理控制以上所有方法的組合6.11此準則只是半導體設備設計時的最低考量。7.一般準則(GENERALPROVISIONS)7.1設備應符合一般安全規(guī)范，此準則只是設備之采購標準規(guī)范。次標準只是提供給用戶采購符合SEMIS2的設備規(guī)范。若需要超出此準則，則由使用者與廠商另行書面訂定之。7.2設備制造商應保證設備符合當?shù)刂行Х杉耙?guī)定。需要經政府機構許可的設備，必須通過當?shù)卣k理許可證。7.3設備供應商應該提供給用戶指定的代表來及時更新有關設備最新發(fā)現(xiàn)之危害因子或安全防護措施升級方案。7.4設備操作、維護使用的工具及附件必須由設備供應商提供給用戶或者明確其規(guī)格。8.評估過程(EVALUATIONPROCESS))8.1評估方應該按照此標準對設備進行評估并寫出書面報告。內容包括手冊（9.6部分）和具體設計部分（本標準第10至第27部分）。只有當使用到附錄時，附錄才算作報告的一部分。8.2對于每個部分，評估報告皆應敘述下列項目并提供原理：符合證據(jù)：設備符合本部分標準證據(jù)不符合證據(jù)：設備不符合本部分標準證據(jù)不適用：本部分不適用于此設備證據(jù)8.3證明無重大安全危險的風險評估結果可以作為設備滿足標準的一種證據(jù)。8.4評估報告還應包括其他信息：制造商、設備序列號、設備評估日期、設備構造、關鍵圖示以及評估方對設備合格的敘述。8.5提供給評估方的信息：一般信息：安全設施功能、危害分析、人因工程、關鍵安全部件清單、火災危險評估、測試結果、設計規(guī)格等。工業(yè)衛(wèi)生信息：排氣、化學品目錄及危害分析、游離輻射、非游離輻射、激光危害、噪音。Note:以上項目在本標準中為工業(yè)衛(wèi)生范疇。環(huán)境信息：能源節(jié)約（能量、水、DIwater、壓縮氣體、化學品及包裝）、設備及組件的重新使用考量、能源重新使用、化學品選擇方法和標準、廢水或氣體揮發(fā)性控制、廢水廢氣廢渣及副產品控制。Note:以上項目在本標準中為環(huán)境范疇。9.提供給使用者的文件(DOCUMENTSPROVIDEDTOUSER)設備供應商(Supplier)應該提供以下書面文件給使用者：(1)符合本標準的評估報告(2)不符合本準則之所有事項，但需要說明改善計劃或不符合事項之正當理由(3)地震保護信息(4)環(huán)境有關信息：包括能耗、質量平衡、廢水廢氣處理等(5)工業(yè)衛(wèi)生信息(6)手冊。內容應該符合SEMIS13標準，另外還應包括：活線作業(yè)(Type4task)的具體書面指南，包括問題解決(Troubleshooting)能量隔離指導（Logout/Tagout）EMO和連鎖功能描述設備維護使用的危險物質（潤滑油、清洗劑、冷凍液）設備維護后產生的固體廢棄物，或處理受到嚴格控制的物質清單（含汞廢物、電池、受污染部件、PM廢棄物）維持安全設施（工程控制設施）正常運行的維護程序推薦使用的防污染和機臺退役廢棄處理方法應該按照SEMIS12的標準提供，內容包括：組件和材質識別，如果組件可以回收或重新使用，則需要提供充足證據(jù)可能被危險物質污染的部件具有潛在污染環(huán)境的維護程序：程序應該識別可能有危害物質散發(fā)的程序步驟和散發(fā)之揮發(fā)物性質；識別危害物特性以及如何減少危害物的影響。(7)消防文件：消防總結報告火災危險轉移方法機臺火災探測系統(tǒng)的運行、維護與測試機臺消防系統(tǒng)的運行、維護與測試合格的設計商與安裝商提供的文件任何用于測試機臺火災探測系統(tǒng)或消防系統(tǒng)的儀器清單10.危險性警告標志10.1在危害沒有通過原始設計或安全保護裝置完全消除的地方，所有危害皆應貼上警示標簽，如高壓電、化學品、高溫、低溫、輻射以及可能產生機械傷害處皆應明顯的標示出來。10.2危害標示設計規(guī)范應按照SEMIS1標準，并在所處環(huán)境下保持持久耐用。但有些國家對輻射以及化學品危害警示標簽有法規(guī)規(guī)定，這時必須采用本國法規(guī)規(guī)定。11.安全連鎖裝置(SAFETYINTERLOCKSYSTEMS)11.1為確保安全，在設備之操作系統(tǒng)上應使用硬件之安全連鎖，當安全連鎖作動,設備自動處于安全的狀態(tài)，同時作業(yè)員也可得知危險信息。11.2所有設備應該使用失效也安全(FAIL-SAFE)的安全連鎖裝置,以防范在操作設備時發(fā)生之危害。11.3設備使用有害化學品、雷射、UV紫外線及輻射等，必須在危險點裝設安全連鎖,以防止人員暴露。11.4所有使用有害氣體之機臺均應安裝氣體偵測系統(tǒng),若偵測到暴露危險可以立即自動關閉該機臺氣體供應,使設備機臺處于安全狀況。11.5維護手冊應該提供當安全連鎖裝置失效后應該采取的管理控制措施。11.6將安全連鎖恢復啟動時，不應該會同時將設備起動或將任何可移動的設施動作。11.7計算機硬件若失效應自動將設備置于安全備用方式。任何狀況下時軟體的安全連鎖作用必須備有硬件的安全連鎖裝置。11.8安全連鎖裝置最好采用電機械式(Electomechanical)設施。但是也可采用固態(tài)設施(Solid-statedevice)或組件，只要考量了過電壓、低電壓、電力中斷等情形。12.緊急停機(EMERGENCYSHUTDOWN)12.1設備之EMO，其作動時可使設備置于安全的關機狀態(tài)，不使系統(tǒng)上的危害增加。12.2所有的EMO按鈕應有清楚的標示，易于接近，且要求人員與EMO按鈕不應超過３公尺。EMO可使UPS到任何點之電源切斷，只剩下EMO的控制電壓供電。12.3EMO是FAIL-SAFE線路,可以關閉到設備之所有電源，EMO只是24V之安全電壓連續(xù)供電，EMO之設計應確保其不使用時不可以使主電源跳開。EMO線路應需手動重置而不得自動恢復，當重置EMO時不應同時使設備電源恢復。12.4EMO之作用及其硬件形狀應清楚的記載在設施安裝及保養(yǎng)手冊內。13.電氣安全(ELECTRICALDESIGN)13.1帶電工作(Electricalwork)：下列為電工的五種形式：TYPE1─設備全部停電\TYPE2─設備在供電中，活線加蓋或絕緣TYPE3─設備供電中，活線暴露，有可能接觸活線發(fā)生意外，而暴露電壓小于30Voltsrms，42.2Voltspeak，60Voltsdc,240Volt-ampsTYPE4─設備供電中，活線裸露，有可能接觸發(fā)生意外，而暴露電壓大于30Voltsrms，42.2Voltspeak，60Voltsdc,240Volt-amps，或有RF出現(xiàn)供貨商設計出之設備應在供電中需要最少的校正、測試或保養(yǎng)工作，以減少人員在活線作業(yè)暴露下工作。供貨商盡可能將第4類之活線作業(yè)工作改為第1、2或3類之活線作業(yè)工作。第4類之工作應特別寫在保養(yǎng)手冊中。供貨商必須在設備操作及保養(yǎng)手冊中列出第3類及以上的電氣危害。13.2電氣設計：設備應該滿足適當?shù)膰H、地區(qū)、國家或工業(yè)產品安全要求。13.3在暴露高于30Vrms或42.2Vpeak之區(qū)域，設備制造商應提供不導電及/或接地觸電阻隔板(GROUNDEDCONDUCTIVEPHYSICALBARIERS).阻隔板所隱藏的潛在危害必須明顯的標示出，危害標示如SEMIS1-90，ANSIZ535，或同等的規(guī)定.13.4設備設計應使在保養(yǎng)修理，修改，校正或調整時達最少觸電的可能性.設備表面漏電電流由設備保護蓋表面任何一點到接地端子間量測電流均不得超過3.5mA.在機械內之設備接地線任何量測點與主設備接地導體間之量測電阻等于或小于十分之一歐姆，接地導體及接線端子到相關不接地導體及端子在電流率上應兼容，且要適合NEC規(guī)定。13.5電線應依國際或國家標準規(guī)定顏色及標示，以使電源及接線端易于辨認.13.6電氣保護箱應依國際電氣制造協(xié)會(NEMA)之標準構造或同等標準值.13.7如主開關等電氣組件之最低過電流率應在設施安裝及保養(yǎng)手冊上確定出.(NEC110-9及110-10)，使用者至少要求下列事項：所有之主電路保護裝置，其的進入端子上應至少能承受10，000rms安培對稱短路電流;對于所有電路保護裝置應至少能承受14，000RMS安培對稱短路電流。13.8所有設備應提供銘牌，至少標明鄰近電力來源的連接器，容器，制造商名，型號，設備號碼及電氣資料(電流，電壓，頻率，相系，相號及線號，詳細資料，參考NEC670-3及NFPA79，2-7章所述)。13.9使用UPS，其輸出大于30VAC/DC，其功率超過500VOLTAMPERE.(參考NFPA110A)。當緊急關閉電源(EMO)執(zhí)行時，或主設備開關打開時，UPS之輸出應除去;EMO線路或主設備電斷路器應為硬件基礎"失效也安全"線路.UPS應由國際認證實驗室認可或列出.UPS線路應分開接線及在接線端板上注明"UPS輸出"。14.消防安全(FIREPROTECTION)14.1設備盡可能使用不可燃材質，如果制程化學品不允許，則必須使用與化學品兼容之材質。14.2制程化學品要盡量考慮使用不可燃之化學品。14.3由制程化學品或材質產生的火災危險性可以使用工程控制(EngineeringControl)的方法。如防止不相容化學品混合、制程溫度盡量不要超過液體閃點、不可燃物質將可燃材質與高溫源隔離、安裝滅火系統(tǒng)等。14.4可能導致高火災危險的設備電源或化學品必須與火警探測器和滅火系統(tǒng)連鎖，以免火警探測器及滅火系統(tǒng)失效時，電源啟動或化學品供應。14.5滅火系統(tǒng)：安裝應該按照NFPA12,13,2001標準。如果滅火劑對人體有害，噴放時間應該delay使人員有足夠時間撤離現(xiàn)場。機臺處于任何情況下滅火系統(tǒng)階應處于有效狀態(tài)。14.6滅火系統(tǒng)管路安裝要求：防腐蝕、系統(tǒng)組件不應聚集水分、維修容易及承受要求工作壓力。14.7警告及安全工作行為：供應商應該將警告標示及安全工作規(guī)范寫在系統(tǒng)說明書中。14.8滅火系統(tǒng)維護及測試：設備供應商應提供詳細的維護及測試程序，測試包括每個部件的正常功能測試。供應商應該描述火警探測及滅火系統(tǒng)可能產生的有害能量，并提供正確的隔離指導。無塵室禁止使用產生灰塵或其他物質的測試方法，如發(fā)煙測試等?；鹁綔y及滅火系統(tǒng)設計應該不會受到機臺維護的影響，如被移動位置、探測頭被損壞等現(xiàn)象。14.9環(huán)境：供應商應提供滅火劑對環(huán)境或機臺方面影響的指導或資料。15.化學物質加熱槽(HEATEDCHEMICALBATHS)SEMIS3提供了有關化學品加熱槽的最低考量：接地或GFCI保護加熱器電源條件切斷(Powerinterrupt)手動重新設置功能自動溫度控制器液位感測器過溫失效也安全設計正確材質(不可燃、相容)排氣失效連鎖過流保護16.人體工學(ERGONOMICSANDHUMANFACTORS)人體工學設計應該考量設備升級等情況下，如何識別、消除及轉移人體工學有關之危害因素。人體工學驗證標準：SEMIS8。應該使用SupplierErgonomicSuccessCriteria(SESC)來記錄人體工學評估結果。17.危險能量隔離(HAZARDOUSENERGYISOLATION)17.1危險能量隔離包括：危險電壓切斷、HPM供應切斷、圍堵HPM、危險輻射切斷或圍堵、電容剩余電量釋放、停止危險移動零件、加熱器的切斷以及氣動管路的泄壓。17.2為防止與危險能量源接觸，能量隔離應該是可以被鎖定的。17.3執(zhí)行能量隔離或監(jiān)視的人員不應該曝露在移動的機臺、高溫界面、電氣零件下，以免造成意外傷害。17.4對于具有多種供應源之設備，建議所有能量隔離設施在安放在同一個地方。17.5機臺維護前，危險能量源，如高壓系統(tǒng)、儲存的能量，可以被隔離或降低止零的水平。18.機械設計安全(MECHANICALDESIGN)18.1機械穩(wěn)定性：所有設備、組件及零件等必須有耐運輸、安裝、操作條件等穩(wěn)定性能。18.2運行穩(wěn)定性：機臺不同部件應該具備抵制設計壓力的能力，對物體墜落等危險應該有相應防護措施。18.3機械危險評估：應該考慮疲勞、老化、腐蝕及磨損等對機械領部件的影響。輸送液體或氣體化學品的軟硬管階應可承受可預見的內外壓力。18.4運動部件：運動部件應該設計成不可以造成任何危險行為，如果危險設計不可避免，則一定需要相應的保護設施。18.5運動部件危險性保護措施選擇：應該考量以下因素，危險被防護、危險導致傷害的發(fā)生可能性及嚴重性、保護設施被移動的頻率。18.6保護設施：應該能減少危險使人員接觸機械危險至一個可以接受的水平，同時不會帶來其他的危險。18.7溫度保護：過溫設備表面需有保護設施。19.地震保護(SEISMICPROTECTION)19.1地震保護設計準則目的：使設備制造商正確設計設備內部結構及組件以抗地震，以及讓設備供應商提供給用戶有關設備安全保護的資料信息。19.2設計時應考量零部件當?shù)卣饡r失效，從而可能導致危險性升級，所以應該具有相應的防護措施。19.3設計負荷：設備、附屬設備以及所有用于固定設備的設施在設計時階應考量：使用HPM的設備應該能承受94%設備重量的水平壓力，不使用HPM的設備至少在63%（壓力通過設備重心，水平壓力應該在X軸和Y軸上單獨計算）。計算設備翻轉力的時候，應該最大考量85%的設備重量。19.4設備供應商應該提供如下資料：設備圖、支持設施、接頭及固定的位置，腳的類型及承受重力分布，物理尺寸，每部分的重心。19.5固定的尺寸、固定用的零部件及防地震固定點階應明確標出。20.自動運動機械(AUTOMATEDMATERIALHANDLERS)19.1自動運動機械包括：晶圓處理機械、工業(yè)機器人以及無人運輸車(Unmannedtransportvehicles,TVs)。19.2考量人員防護時，自動運動機械產生之危險應該作為考量因素。如尺寸、容量、速度、工作空間范圍等。19.3工業(yè)機器人：應滿足ANSI/RIAR15.06,ISO10218,EN775標準。如果有偏差，此偏差必須是“可接受的”。19.4無人運輸車(UTVs):有地板運輸車及空間運輸車兩種。應該安裝有防接觸感應裝置，以免和人員或其他物體不經意接觸。應該與制程設備、自動裝載碼頭、Stocker、傳送帶以及自動倉庫連鎖。如果過載，設備應該可以探測到并指示當時狀況，同時所有裝載設施立即停止，系統(tǒng)不可自動重新設置或啟動。21.環(huán)境因素(ENVIRONMENTALCONSIDERATIONS)21.1本標準建議：環(huán)境影響應該與安全、衛(wèi)生、法規(guī)要求等平衡考慮，用戶有責任提供有關環(huán)境給設備供應商。設備生命周期（從設計到退役或廢棄處理）階應考量以下因素：21.2能源節(jié)約：水循環(huán)再利用，化學品、能量及水的盡量少消耗，零件維護使少消耗資源（如清洗液），化學品的循環(huán)再利用，包裝材料體積減少或使用可多次使用的包裝。21.3化學品選擇：化學品選擇應考慮效果、環(huán)境影響、體積、毒性、副產品、處理以及循環(huán)使用等。設備維護、制程應該考量不使用臭氧消耗物質(ODS)，如CFC,HCFC或導致溫室效應的PFC等如CF4,C2F6,NF3,C3F8,SF6,CHF3。21.4泄露預防：化學品供應，儲存，以及廢棄物處理應具有以下最低考量：二次承漏應該至少裝載110%的可能泄漏的化學品。承漏設備中適當位置點應該具有Leaksensor并有泄漏警報，人員可以方便得知承漏設備中的液體位置，并可以很容易移除泄漏的液體。設備內部應具有液位Hi警報裝置。設備部件應該與輸送之化學品兼容。設備應該接受來自監(jiān)視儀器的信號，并立即在第一個非手動閥的位置切斷化學品供應。21.5污水排放、廢棄處理及氣體散發(fā)：建議設備與中央廢水收集系統(tǒng)連接。設備應使用Partition等來隔離不兼容之化學品。超過制程或安全要求的為降低廢水濃度的稀釋是不允許的。21.6設備材質應該可回收再利用。22.排氣(EXHAUSTVENTILATION)22.1排氣設備目的是防止人體對化學品的曝露。應用于：作為最初控制方式：意即控制的第一選擇（如不考慮使用個人防護具PPE等），用于在正常操作條件下，由化學品擴散等造成的危險因素。作為補充控制方式：用于當化學品危險不能通過正當方法控制時(如Hood,Enclosure等)，如機臺間歇的維護行為等。作為第二道控制方式：用于某一處出現(xiàn)氣體或揮發(fā)性化學液體泄漏，而其他方法均無效的情況下。22.2設備排氣參數(shù)以及相關測試：輸送管速率、體積流率Q、捕捉速率（當enclosure外空氣中存在小顆粒）、正面速率（有必要）、Hood空氣進入損失因子Fh或K,空氣進入相關系數(shù)Ce,Hood之靜壓SPh,連接處輸送管的直徑以及Hood或輸送管的測量位置。22.3連鎖設計：所有使用HPM機臺的排氣設備階應該使用排氣連鎖，最好使用流量或靜壓感應開關。當壓力小于設定值，在操作員的可視及可聽范圍內有聲光警報，同時機臺自動處于安全的Stand-by狀態(tài)。系統(tǒng)應該可以和中控室連動，本標準建議Non-HPM化學品之排氣只和本機臺的聲光指示器連動。排氣連鎖以及警報應可手動重新設置，并可以識別本身的失效狀態(tài)。22.4設備及設備組件應該使用優(yōu)良的排氣設施，以保證捕捉盡量多的化學品和優(yōu)化排氣效能。23.化學品安全(CHEMICALS)23.1設備制造商應該提供機臺使用所有的化學品和可能產生的化學品目錄。如果屬于HPM，異味化學品(Odorthreshold<1ppm)或刺激性化學品的應該識別出來。23.2危害分析：作為化學品危害性最起碼的認識以及對化學品危害控制到可接受的水平，需要進行危害分析，包括：不兼容化學品之間可能混合日常操作中化學品的可能揮發(fā)設備維護中化學品的可能揮發(fā)零件或泵等的可能失效23.3化學品危害控制措施優(yōu)先順序：代替或消除、工程控制（Enclosure,Ventilation,Interlock），管理控制（制訂標準作業(yè)程序,貼警示標簽），個人防護具。23.4工程控制：應該考慮壓力要求、材質兼容性、設備維護、化學品防漏以及排氣設備要求。23.5正常操作時：工作環(huán)境中應該沒有揮發(fā)的化學品。標準為在最差的情況下，小于1%的OEL值。設備維護時，標準為小于25%的OEL值。23.6設備失效時：工作環(huán)境中化學品的揮發(fā)應該降低最小，標準為在最差的情況下，小于25%的OEL值。23.7最嚴重之設備真實失效情況：工作環(huán)境中化學品的揮發(fā)應該降低最小，標準為在最差的情況下，小于25%的OEL值或25%的LEL值。23.8使用危險氣體的設備應該具有持續(xù)的氣體泄漏采樣點（安裝說明書中認可）和探測器。并且設備應該可以接受外部監(jiān)視儀器的信號并關閉氣體供應。23.9所有化學品罩的適當位置階應有危險警告標簽。24.游離輻射安全(IONIZINGRADIATION)24.1正常操作時：人員接受游離輻射強度為每小時小于0.2毫雷姆。24.2設備維護時：人員接受游離輻射強度為每小時小于1毫雷姆。24.3接觸放射性污染（包括吸入或食入放射性物質）：其危害及控制應該在設備維護手冊中明確。全世界對放射性物質控制嚴格，處理、使用、運輸都需要有許可證。輻射危害性機臺也嚴格受控制，進口、出口、安裝、維護都有嚴格規(guī)定以及要求有許可證。設備制造商應該在用戶文件中提可以供用戶輻射方面幫助的安全人員聯(lián)絡電話。24.4輻射工程控制方法：如屏蔽、連鎖等應該為防護輻射最起碼的措施。設備氣體供應管或排氣管應該設計有屏蔽，以減少設備安裝時屏蔽的移除或替換頻率。輻射障礙前應該有“不可動搖的”安全連鎖，以使人員維護設備時輻射強度不可超過每小時小于0.2毫雷姆。24.5管理控制：如距離、時間、標準作業(yè)程序、警告提示等，設備供應商應該提供管理控制的詳盡資料。24.6設備制造商應該對機臺正常運行或維護時進行輻射危險評估，以證明機臺符合本標準。機臺安裝運行正常后，應該使用認可的方法執(zhí)行輻射實地測量，包括測量方法、機臺運行參數(shù)、使用儀器、校正數(shù)據(jù)、輻射源、測量結果及討論等內容。根據(jù)測量結果，若需要補充管理控制，則需提供輻射源、輻射強度以及建議使用的控制手段等信息。25.非游離輻射安全(NON-IONIZINGRADIATIONANDFIELD)25.1.非游離輻射包括：靜電磁場(0Hz)、次無線電靜電磁場(<3Hz)、無線電(3kHz~300GHz)、紅外線(波長700nm~1mm)、可見光(400nm~700nm)、紫外線(180nm~400nm).25.2所有潛在的非游離輻射對人員造成的傷害要近可能的控制在最低水平。機臺正常運行時，人員受非游離輻射強度應低于“操作員可接受極限”(OperatorAccessibleLimit)。機臺操作及維護手冊中應該說明潛在的非游離輻射源，并列舉適當參數(shù)，包括頻率、波長、電量、持續(xù)發(fā)生的波長以及脈沖波長。脈沖參數(shù)還應包括脈沖重復率、脈沖持續(xù)時間以及脈沖波形式描述。建議將作測試用途的UV/IR等也考慮為對人員可能會造成傷害的一種非游離輻射源。25.3機臺設計時，應該考量在正常運行、維護時如何將非游離輻射控制在最低水平。工程控制：加罩、屏蔽、接地、連鎖。管理控制：警示標志、標準作業(yè)程序、標簽。個人防護具：PPE25.4使用或產生非游離輻射的機臺應該貼上標簽。25.5機臺生產商應該對機臺的非游離輻射危害是否符合標準進行評估并記錄，工程計算應該作為評估的一部分，并且采用的應該是有具體精確度和準確度的公認方法。另外，應該提供一份包括測量方法、設備操作參數(shù)、儀器手段、校正數(shù)據(jù)、危害源以及討論的報告。26.激光安全(LASER)26.1根據(jù)機臺正常運轉時對員工實際上作成的激光危害，對機臺應該進行激光產品分類。26.2激光能（強度）、波長、波形式（持續(xù)波或脈沖）應該在給用戶的相關文獻中描述。如果是脈沖波，波的重復率、脈沖持續(xù)時間、脈沖波形式描述也應該在給用戶的相關文獻中描述。26.3任何激光產品分類級別超過2級的設備都是不允許的。但是，在組裝成整個機臺以前，個別激光源可能會超過這個級別。26.4任何機臺階應該設計成在正常運行時不會對人體造成激光危害，或在機臺維護保養(yǎng)使，盡量減少激光對人員的傷害。26.5可以通過以下方式來減少激光危害：工程控制：加罩、屏蔽、過濾器、連鎖或使用玻璃纖維來傳送激光。機臺維護時采用臨時加罩或控制措施。管理控制：警告標示、標準作業(yè)程序、標簽。個人防護具：PPE。26.6設備供應商應該將以下信息在操作及維護手冊中提供：維護時可能產生的激光危害以及防護措施。需要對激光進行防護的區(qū)域大小，并說明理由。維護時采用的管理控制和必要的個人防護具。26.7設備維護時使用工程控制不可行時必須采用管理控制的原因，以及說明設備符合相關國際激光產品安全及工業(yè)標準的證明文件，這兩條信息評估者必須知道。27.噪音(SOUNDPRESSURELEVEL)27.1任何設備應該設計為產生持續(xù)或間斷性噪音不超過80dBA或突發(fā)性噪音不超過120dBA。27.2控制噪音方法的順序如下：工程控制：噪音源噪音減弱、吸收、加罩、設置障礙、聲音阻礙等。至少，工程控制應該考慮聲音壓力水平、形式、頻率以及適當?shù)目刂萍夹g。管理控制：僅僅限于可以使用一些可接受的管理控制如危害標示和標準作業(yè)程序。27.3對于可能產生危險噪音的設備，設備制造商應該采用公認的手段進行噪音測量：測試時模擬的設備運行模式應該盡量和用戶真正使用設備時可能遇到的模式一樣。測量位置采用如下準則：測量Microphone在機臺1m周圍來回測量。水平高度1.2m處測量坐著操作的員工，1.5m模擬站著操作的員工。離最近墻壁或其他會產生回音的物體3.5m（盡量大）處模擬回音音量。應該在機臺360度方向全部測量。27.4如果測量噪音小于70dBA，設備制造商應該將噪音大小、測量機臺、機臺校正、測試條件以