液晶顯示器原理與制程概論

液晶顯示器原理及製程概論TFTLCD剖面圖彩色濾光片基板薄膜電晶體基板共通電極保護(hù)層彩色濾光片黑色矩陣(BM)玻璃基板畫素電極儲存電容(Cs)薄膜電晶體(TFT)上偏光板間隙子下偏光板液晶(LC)PI配向膜框膠驅(qū)動IC時序控制IC(G/A)印刷電路板(PCB)擴(kuò)散片三菱鏡片導(dǎo)光板反射片燈管異方性導(dǎo)電膜(ACF)Array製程Cell製程玻璃基板投入清洗薄膜沈積塗布光阻曝光顯影蝕刻光阻剝離測試循環(huán)Cell投入OLB半田組立配向膜(PI)印刷定向(Rubbing)清洗塗布銀膠點基板組立液晶注入注入口封止活化(Anneal)Cell終檢清洗塗布框膠間隙子散布彩色濾光片投入Array基板投入老化試驗終檢Module製程出貨檢查Array製程玻璃基板投入清洗薄膜沈積塗布光阻曝光顯影蝕刻光阻剝離測試循環(huán)利用電漿內(nèi)高能量的電子,撞擊製程之氣體分子,於加熱的基板表面起化學(xué)反應(yīng)並形成固態(tài)沈積(PECVD)以旋轉(zhuǎn)基板的方式,在基板上均勻塗布光阻基板分八次步進(jìn)式曝光,利用紫外光照射,將光罩圖案複製在光阻基板上用顯影液將曝光過的光阻去除乾蝕刻,利用氣化的腐蝕劑或離子撞擊來進(jìn)行蝕刻用剝膜液將完成蝕刻基板上之光阻去除玻璃投入玻璃清洗噴灑管嘴薄膜沈積塗布光阻光罩曝光顯影SprayNozzle蝕刻光阻剝離噴灑管嘴Cell製程配向膜(PI)印刷定向(Rubbing)清洗塗布銀膠點基板組立液晶注入注入口封止活化(Anneal)Cell終檢清洗塗布框膠間隙子散布彩色濾光片投入Array基板投入運用滾輪及凸版將配向膜PI轉(zhuǎn)印至基板設(shè)計之位置上,使液晶站立在固定位置利用特定的配向布在PI膜刮出一道道淺痕,以利液晶分子統(tǒng)一排列方向粘接對位組立後之上下基板,及框出液晶注入之範(fàn)圍導(dǎo)通TFT基板Gate側(cè)之Common電極與CF之Common電極,使兩者等電位注入液晶於面板內(nèi)及將注入口以UV膠塗封液晶再配向,使液晶晶格排列均一化PI膜印刷AnyloxRoller印刷RollerGlass基板基座PI噴嘴DoctorPlate基板行進(jìn)方向印刷凸板IR板石英基板Glass基板IR板石英基板Glass基板IR板石英基板Glass基板硬烤CFRubbing方向(基板在上)定向(Rubbing)Glass基板Rubbing角度45度基座行進(jìn)方向TFTRubbing方向(基板在下)90CF基板SealCF基板液晶注入口框膠框膠Seal噴嘴CF基板TransferCF基板液晶注入口框膠銀膠點塗布Transfer噴嘴框膠點間隙子散布TFT基板間隙子TFT基板噴嘴Spacer散布槽Spacer(熱固型環(huán)氧樹脂)SpacerTFT基板CF基板UV假固定膠SealCFBlackMartixArrayITOPixel++++++++++++++++++++++++Assembly時所用的十字基板位置對照所用的十字150um1mm34.521.52754107um2040um300umCFAlignmentTFTAlignment基板組立液晶液晶槽框膠銀膠點Cell基板液晶液晶槽液晶注入Cell基板均熱板緩衝布往上加壓熱壓合二次切TFT基板CF基板框膠UV假固定膠加壓封止封止劑框膠加壓反轉(zhuǎn)90°後再塗上封止劑活化雙(An品ne擊al叫)偏光板貼付CF基板TFT基板上偏光片CF基板TFT基板下偏光片上偏光片偏貼鋸工程外形陪整形表面要研磨Ce飲ll洗淨(jìng)偏光營板貼茫付加壓長脫泡液晶注入口TAB端子CF基板TFT基板Seal磨石EndSeal液晶注入口磨邊倒角砥石10弦24x7棵68句@6品0H匆z充65變MH木z10根24乖:Do惡t(點);水平早方向盛解析盆度76鍛8:Li我ne念(掃描綢線);垂直貢方向釣解析步度60教:Hz讓(赫芝擱);每塌秒切葛換畫雖面次狗數(shù)65玩:MH號z朗;畫素時滲序頻丹率M(百萬替)：助106K(仟)