現(xiàn)代分析測(cè)試技術(shù)成分分析技術(shù)

現(xiàn)代分析測(cè)試技術(shù)成分分析技術(shù)第一頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三玩具中有害重金屬元素分析金屬結(jié)構(gòu)復(fù)雜零件（器件）元素分析測(cè)定高純水中微量雜質(zhì)漢陽(yáng)陵陶俑彩釉的元素分析中草藥中多種微量元素的同時(shí)測(cè)定化學(xué)元素分析技術(shù)應(yīng)用實(shí)例第二頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三第三講表面（層）成分分析技術(shù)研究?jī)?nèi)容及分析技術(shù)特點(diǎn)XPS/AES/SIMS技術(shù)EPMA技術(shù)第三頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三分析基本原理：作用性質(zhì)—檢測(cè)的特征物理量、檢測(cè)器分辨率、檢測(cè)元素范圍、信號(hào)來(lái)源空間；定量分析方法：定量分析精度—質(zhì)量損失、元素?fù)p失；定量分析分辨率；實(shí)驗(yàn)技術(shù)：常規(guī)分析方法；最重要分析功能；特殊分析技術(shù)；化學(xué)元素分析技術(shù)特點(diǎn)及特性比較第四頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三儀器類別

特征物理量（分析依據(jù)）檢測(cè)器性質(zhì)（檢測(cè)器分辨率）檢測(cè)元素范圍（元素靈敏度）

信號(hào)來(lái)源空間（微區(qū)分析能力）電子探針?lè)治鰞x特征X射線的波長(zhǎng)及能量Si（Li）固體探測(cè)器、X光子計(jì)數(shù)器Z：11—92；4—92；D＞1μm；H＞1μmX射線熒光光譜儀特征X射線的波長(zhǎng)及能量Si（Li）固體探測(cè)器、X光子計(jì)數(shù)器Z：11—92；4—92；D＞100μm；H：μm～mm原子發(fā)射光譜儀原子光譜靈敏線的波長(zhǎng)分光元件、光電倍增管全元素體相檢測(cè)原子吸收光譜儀特征波長(zhǎng)譜線強(qiáng)度的衰減量光電倍增管元素由元素?zé)魶Q定體相檢測(cè)X射線光電子譜儀原子軌道的光電子結(jié)合能半球型能量分析器全元素（H、He除外）表面2～5nm俄歇電子能譜儀俄歇電子的動(dòng)能筒鏡型能量分析器全元素（H、He除外）表面1～3nm；化學(xué)元素分析儀器分析基本原理比較第五頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三儀器類別

常規(guī)分析方法最重要分析功能特殊分析技術(shù)電子探針?lè)治鰞x表層元素定性、半定量分析；固體試樣表層元素定性及相對(duì)定量表層元素的線分布及面分布測(cè)試；X射線熒光光譜儀表層元素定性、半定量分析；無(wú)標(biāo)樣定量分析（基本參數(shù)法）薄膜厚度、化學(xué)元素面分布測(cè)試原子發(fā)射光譜儀全元素定性、半定量、定量分析全元素定量分析原子吸收光譜儀單元素定量分析單元素定量分析還原氫化物、間接原子吸收X射線光電子能譜儀表面元素定性分析表面元素半定量分析元素的化學(xué)價(jià)態(tài)分析離子束剝離技術(shù)變角XPS技術(shù)俄歇電子能譜儀表面元素定性分析表面元素半定量分析深度剖析和薄膜界面的化學(xué)價(jià)態(tài)分析微區(qū)分析：表面元素的化學(xué)成像化學(xué)元素分析儀器實(shí)驗(yàn)技術(shù)比較第六頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三測(cè)定表面元素組成及表面元素化學(xué)態(tài)測(cè)定元素在表層的分布-元素在表面的橫向分布及深度（縱向）分布表面組分分析技術(shù)研究?jī)?nèi)容第七頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三

分析方法名稱簡(jiǎn)稱

主要用途俄歇電子能譜AES成分掃描俄歇探針SAM微區(qū)成分俄歇電子出現(xiàn)電勢(shì)譜AEAPS成分電離損失譜ILS成分能量彌散x射線譜EDXS成分軟x射線出現(xiàn)電勢(shì)譜SXAPS成分消隱電勢(shì)譜DAPS成分x射線光電子譜XPS成分、化合態(tài)離子探針質(zhì)量分析IMMA微區(qū)成分次級(jí)離子質(zhì)譜SIMS成分次級(jí)中性離子質(zhì)譜SNMS成分離子散射譜ISS成分、結(jié)構(gòu)盧瑟福背散射譜RBS成分、結(jié)構(gòu)中性粒子碰撞誘導(dǎo)輻射SCANIIR成分第八頁(yè)，共十二頁(yè)，編輯于2023年，星期三XPSAESISSSIMS測(cè)氫NoNoNoYes元素靈敏度均勻性GoodGoodGoodBad最小可檢測(cè)靈敏度

10-2-10-310-2-10-310-2-10-310-4-10-5定量分析GoodYesBadBad化學(xué)態(tài)判斷GoodYesBadBad譜峰分辨率GoodGoodBadGood識(shí)譜難易GoodGood--表面探測(cè)深度MLsMLsMLML-MLs空間分辨率BadGoodBadGood無(wú)損檢測(cè)YesYesNoYes理論數(shù)據(jù)完整性GoodYe