無塵室常識及管理

關(guān)于無塵室常識及管理第1頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三一、無塵室常識本節(jié)重點(diǎn)：1、理解無塵室定義2、熟悉相關(guān)術(shù)語3、認(rèn)識潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)第2頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三1、無塵室定義

無塵室也稱為潔凈室(Clean

Room)：是指能將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的懸浮微粒、細(xì)菌等污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、壓力、氣流速度及靜電等影響生產(chǎn)之環(huán)境因素控制在某一設(shè)計(jì)需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計(jì)的房間。重點(diǎn)：不論外面空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能具有維持所設(shè)定的潔凈度、溫濕度及壓力等生產(chǎn)所需環(huán)境因素性能的特性。

第3頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2、按功能分類：A.工業(yè)潔凈室(IndustrialCleanRoom,ICR)以無生命微粒的控制作為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。B.生物潔凈室(BiologicalCleanRoom,BCR)

除ICR的要求外，以過濾或殺菌方式對生物粒子也加以控制的空間。如醫(yī)學(xué)、藥物、食品及生物實(shí)驗(yàn)等。第4頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三3、按空氣流向分類：無塵室不同于一般空調(diào)房間，其主要目的是供給足量的清潔空氣，排替、稀釋室內(nèi)所產(chǎn)生的污染物質(zhì)，使室內(nèi)潔凈度滿足要求。按空氣流向分類：A.亂流型B.層流型第5頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三A、亂流無塵室第6頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三優(yōu)點(diǎn)：1.構(gòu)造簡單。2.設(shè)備費(fèi)用低。3.隔間的擴(kuò)充比較容易。4.若在加用無塵臺則可確保高潔凈度。缺點(diǎn)：1.由于是亂流，污染粒子有可能在室內(nèi)循環(huán)。2.人員及機(jī)器的配置及管理需注意。3.到穩(wěn)定狀態(tài)需要一段時(shí)間。亂流無塵室的優(yōu)、缺點(diǎn)第7頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三層流式空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線，空氣由覆蓋率百分之百之過濾器進(jìn)入室內(nèi)。并由高架地板或兩側(cè)格強(qiáng)板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需求較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1～100。此型分為二種：水平層流式

垂直層流式B、層流無塵室第8頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三B-1、水平層流無塵室第9頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三B-2、垂直層流無塵室第10頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三3、潔凈技術(shù)的誕生及發(fā)展：一切技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展，都是出于生產(chǎn)的需要，潔凈室技術(shù)也不例外。在第二次世界大戰(zhàn)期間，美國生產(chǎn)的飛機(jī)導(dǎo)航用氣浮陀羅儀，由于質(zhì)量不穩(wěn)定，每10個(gè)陀羅儀平均要返工120次。50年代初朝鮮半島戰(zhàn)爭期間，美國的16萬臺電子通訊設(shè)備，更換了百萬個(gè)以上的電子部件，雷達(dá)出故障的時(shí)間占84%，潛水艇聲納出故障的時(shí)間占48%。原因都是電子器件、零部件的可靠性差，質(zhì)量不穩(wěn)定。軍方與廠商究其原因，最終從多方面判定與生產(chǎn)環(huán)境不潔凈有關(guān)。到50年代初，美國原子能委員會為解決對人體有害的放射性塵埃的捕集問題，于1951年研制成功的高效空氣過濾器（HEPA—HighEfficiencyParticulateAirFilter）應(yīng)用于生產(chǎn)車間的送風(fēng)過濾，才真正誕生了具有現(xiàn)代意義的潔凈室。第11頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三124、相關(guān)術(shù)語懸浮微粒：一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒，其粒徑尺寸范圍約在0.1～5μm之間。潔凈度：用以表示單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量的多少，是區(qū)分空間潔凈程度的標(biāo)準(zhǔn)。氣閘室：設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。第12頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三13風(fēng)淋室：氣閘室的一種，通過安裝風(fēng)機(jī)、過濾網(wǎng)及控制系統(tǒng)等對入室人員進(jìn)行周身吹掃通道，它是減少外來污染的有效途徑之一。潔凈工作服：為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。高效空氣過濾器HEPA

：在額定風(fēng)量下，對粒徑大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.99%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。超高效空氣過濾器：在額定風(fēng)量下，對粒徑0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及氣流阻力在280Pa以下的空氣過濾器。第13頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三14換氣次數(shù)：換氣次數(shù)=房間送風(fēng)量/房間體積，單位是次/小時(shí)。作為設(shè)計(jì)潔凈室送風(fēng)量的估算值：靜壓差：為避免潔凈室內(nèi)的潔凈度受鄰室的污染，或污染鄰室，潔凈度不同的潔凈室之間，潔凈室與一般房間之間要保持適當(dāng)?shù)撵o壓差，靜壓差不得小于5Pa。與室外的壓差應(yīng)不小于10Pa。第14頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三

潔凈度與換氣次數(shù)的關(guān)系

潔凈度換氣次數(shù)（次/小時(shí)）100000≥25

10000≥35

1000≥40100級按送風(fēng)截面風(fēng)速0.2--0.45m/s計(jì)算送風(fēng)量第15頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三16通常無塵室均需維持正壓以防止外部污染流入,并有利于內(nèi)部微塵的排出。正壓值一般遵循以下兩條設(shè)計(jì)：1、不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差，應(yīng)不小于5Pa；2、潔凈廠房室內(nèi)與室外的壓差應(yīng)不小于10Pa，一般為10~20Pa。(1Pa=1N/m2)

正壓Class1KP1+10PaClass10KP1+5Pa+++P1=P+10~20PaPCR外界第16頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三新風(fēng)量：是指不從空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)入的，而是從門窗進(jìn)入的空氣總量。新風(fēng)量是衡量室內(nèi)空氣質(zhì)量的一個(gè)重要標(biāo)準(zhǔn)。新風(fēng)量不足的危害：長期處于新風(fēng)量不足的室內(nèi)易患“室內(nèi)綜合癥”，出現(xiàn)頭痛、胸悶、易疲勞的癥狀，還容易引發(fā)呼吸系統(tǒng)和神經(jīng)系統(tǒng)等疾病。我國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18883-2002規(guī)定，新風(fēng)量不應(yīng)小于30m3/h.人。中國是在2003年發(fā)生非典時(shí)才開始真正關(guān)注新風(fēng)量的。北京市衛(wèi)生局對北京80家公共場所的空氣質(zhì)量進(jìn)行抽查，檢查結(jié)果90%屬于嚴(yán)重污染。第17頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三18

潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)取以下兩項(xiàng)中的最大值:

a.補(bǔ)償室內(nèi)排氣量和保證室內(nèi)正壓值所需空氣量之和。b.保證潔凈室工作人員所需的新鮮空氣。依據(jù)<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范>每人每小時(shí)新風(fēng)量不小于40m3。第18頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三民用建筑新風(fēng)量標(biāo)準(zhǔn)第19頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三5、空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)第20頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三以直徑0.5微米的塵粒作為比較標(biāo)準(zhǔn)，在1立方英尺的空間中：大于0.5微米的塵粒少于一個(gè)，就稱為Class1。大于0.5微米的塵粒少于十個(gè)，就稱為Class10。大于0.5微米的塵粒少于1000個(gè)，就稱為Class1000。依次類推，10000，100000，一般區(qū)。1米=3.28英尺

1米3=35.29英尺35-1、潔凈度等級概念1立方英尺(0.0283立方米)1英尺(0.3048米)

直徑≥0.5um的塵粒最大不超過10000個(gè).第21頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三5-2、潔凈室分級的意義Class1：主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對集成電路的的精度要求為亞微米。Class10：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。Class100：可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝；外科手術(shù)，包括植入手術(shù)；集成電路的制造；對細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。第22頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三Class1000：主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測試、裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等。Class10000：主要用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配；食品飲料工業(yè)；醫(yī)藥工業(yè)；電子工業(yè)。Class100000：適用于很多工業(yè)部門，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造用較小元器件制造大型的電子系統(tǒng)；液壓或氣壓系統(tǒng)的制造、食品飲料的生產(chǎn)；醫(yī)藥工業(yè)也常使用這一級別的潔凈室。第23頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三5-3、

潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)1、美國空軍技術(shù)條令世界上第一個(gè)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。1961年3月問世。美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)的基石。2、美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)2091963年12月問世。

0.5μm5.0μm3、現(xiàn)在標(biāo)準(zhǔn)美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209E第24頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三潔凈度級別Cleanclass粒徑ParticlesSize(um)0.10.20.30.55.0135.07.503.001.00—1035075.030.010.0—100—750300100—1000———10007.010000———1000070.3100000———100000700美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)

209E（1992年）第25頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三5-4、中國潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)中國國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001（等同采用國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1）特點(diǎn)：與舊規(guī)范相比，控制粒徑2種增加到6種；4個(gè)級別增加到9個(gè)級別。另，允許采用整數(shù)間的中間級別。第26頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三

中國潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級空氣潔凈度等級(N)大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um1102

210024104

31000237102358

4100002370102035283

51000002370010200352083229610000002370001020003520083202937

3520008320029308

3520000832000293009

352000008320000293000第27頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三個(gè)/M3≥0.5umISO

14644-1(1999)US

209E(1992)US

209D(1988)FRANCE

AFNOR(1981)GERMANY

VDI2083(1990)JAPAN

JAOA(1989)1------3.52---0210.0-M1----35.33M1.51-13100-M2----3534M2.510-241,000-M3----3,5305M3.51004,0003510,000-M4----35,3006M4.51,000-46100,000-M5----353,0007M5.510,000400,000571,000,000-M6----3,530,0008M6.5100,0004,000,0006810,000,000-M7----5-5、基于≥0.5um粒徑的各國潔凈度等級近似對照表第28頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三二、微粒剖析

本節(jié)重點(diǎn)：1、人類生活方面的背景2、PM2.5相關(guān)知識3、微粒剖析第29頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三1、人類生活方面的背景人類發(fā)展至今，技術(shù)進(jìn)步、設(shè)備進(jìn)步、知識水平提高，但空氣質(zhì)量卻退步了。人一生約吸入27萬M3空氣，70%～90%時(shí)間在室內(nèi)度過。微小顆粒被人體吸入，沉積于呼吸系統(tǒng)。5～30um的顆粒沉積于鼻咽部位，1～5um的顆粒沉積于氣管及支氣管，1um以下沉積于肺泡壁。第30頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2、什么是PM2.5？PM2.5：也稱為可入肺顆粒物。是指大氣中直徑小于或等于2.5微米的顆粒物，英文全稱為particulatematter(顆粒物)?？茖W(xué)家用PM2.5表示每立方米空氣中這種顆粒的含量，這個(gè)值越高，就代表空氣污染越嚴(yán)重。在城市空氣質(zhì)量日報(bào)或周報(bào)中的可吸入顆粒物和總懸浮顆粒物是人們較為熟悉的兩種大氣污染物。PM10：可吸入顆粒物，指直徑大于2.5微米、等于或小于10微米，可以進(jìn)入人的呼吸系統(tǒng)的顆粒物。PM100：總懸浮顆粒物，即直徑小于或等于100微米的顆粒物。第31頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2-1、PM2.5顆粒大小

第32頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2-2、PM2.5的來源PM2.5產(chǎn)生的主要來源，是日常發(fā)電、工業(yè)生產(chǎn)、汽車尾氣排放等過程中經(jīng)過燃燒而排放的殘留物，大多含有重金屬等有毒物質(zhì)。一般而言，粒徑2.5微米至10微米的粗顆粒物主要來自道路揚(yáng)塵等;2.5微米以下的細(xì)顆粒物(PM2.5)則主要來自化石燃料的燃燒(如機(jī)動車尾氣、燃煤)、揮發(fā)性有機(jī)物等。第33頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2-3、PM2.5的危害1、氣象專家和醫(yī)學(xué)專家認(rèn)為，由細(xì)顆粒物造成的灰霾天氣對人體健康的危害甚至要比沙塵暴更大。2、粒徑在2.5微米以下的細(xì)顆粒物，被吸入人體后會直接進(jìn)入支氣管，干擾肺部的氣體交換，引發(fā)包括哮喘、支氣管炎和心血管病等方面的疾病。第34頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2-4、PM2.5在國內(nèi)的發(fā)展第35頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2-5、PM2.5的防治措施

pm2.5的主要來源為機(jī)動車尾氣的排放，對個(gè)人來說主要以佩戴真正防pm2.5的口罩為有效手段。盡量減少吸煙甚至不吸煙，煙霧中有大量的pm2.5，會對人體有著直接和間接的危害。大霧天不能晨練。第36頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三第37頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三第38頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2、微粒剖析第39頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三1、

按來源分類無機(jī)性微粒、有機(jī)性微粒、有生命微粒

2、

微粒的危害對人體，易引起呼吸道和肺部的疾病，同時(shí)也會使人過敏，病毒感染；對硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運(yùn)作功能，因此微污染源的控制已成為無塵室管理的重要環(huán)節(jié)。

2-1、微粒剖析第40頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三41一般微粒粒徑對比0.3μm微塵粒徑人類頭發(fā)

(25～100μm)肉眼可視

(5μm)感性認(rèn)知第41頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三大于0um小于0.1um做擴(kuò)散運(yùn)動微粒大小不同運(yùn)動行為不同第42頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2-1、顆粒大小的概念頭發(fā)直徑

25~100μm

酵母菌

5~10μm

水蒸氣

0.1~1μm

細(xì)菌

0.05~1μm

濾過性病毒

0.001~0.01μm第43頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三活動狀態(tài)產(chǎn)生微粒大小(um)磨擦普通之涂裝表面時(shí)沒有潤滑之兩種金屬互相磨擦?xí)r將紙弄皺或折疊時(shí)摩擦環(huán)氧樹脂表面時(shí)鎖螺絲時(shí)皮帶驅(qū)動時(shí)用原子筆在普通紙上寫字時(shí)操作金屬板時(shí)摩擦皮膚時(shí)90756540302010430第44頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三動作衣著一般作業(yè)服兩載式無塵服全覆蓋型無塵服粒徑﹥0.3μm﹥0.5μm﹥0.3μm﹥0.5μm﹥0.3μm﹥0.5μm靜止?fàn)顟B(tài)立姿543339151113196坐次448302142112157動作狀態(tài)手腕上下運(yùn)動445029804623004919手自由運(yùn)動347022405702895221上體前屈392022407755403924頭上下左右12306311871512211脫帽26201310轉(zhuǎn)身22408503902673215蹲姿4160312011106056437踏步42402300120086011545步行5360292012851010157562-4、一個(gè)人一分鐘產(chǎn)生之粒子數(shù)(1000個(gè)/分/人)

第45頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三461,00010,000外大氣層大氣層田園地帶街市區(qū)10,000,0001,000,000100,000工業(yè)地帶2-5、一般自然界氣體等級第46頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三3、無塵室常見形式

本節(jié)重點(diǎn)：1、介紹無塵室常見形式2、結(jié)合實(shí)物圖片說明，加深印象。第47頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三無塵室常見形式之一空調(diào)機(jī)高效過濾器無塵室空調(diào)機(jī)房通道上夾層1、上送側(cè)回、無架空地板、溫濕度控制通過空調(diào)機(jī)實(shí)現(xiàn)；造價(jià)低、噪音小但靈活性差第48頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三無塵室常見形式之二空調(diào)機(jī)高效過濾器無塵室空調(diào)機(jī)房通道上夾層在方式一的基礎(chǔ)上增加了下夾層，主要考慮設(shè)備配管配線的便利性和整體美觀。第49頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三無塵室常見形式之三空調(diào)機(jī)高效過濾器無塵室空調(diào)機(jī)房通道上夾層上送上回，節(jié)約了回風(fēng)夾道所占面積，主要實(shí)用于低級別的潔凈室，自凈時(shí)間會延長第50頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三無塵室常見形式之四管道層輔助層無塵室FFU層屋頂干盤管OAC設(shè)備設(shè)備特點(diǎn)：1、雙技術(shù)下夾層；FFU+CLEANBOOTH+SMIF方式2、設(shè)備主體與輔助設(shè)備垂直放置3、作業(yè)層是大開間、增加設(shè)備布局變化的靈活性第51頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三無塵室-100級無塵室第52頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三送風(fēng)過濾單元FFU第53頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三第54頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三1000級無塵室第55頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三高架地板第56頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三無塵室—10000級第57頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三風(fēng)淋室（AirShower）第58頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三風(fēng)淋室內(nèi)部第59頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三傳遞窗第60頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三潔凈棚第61頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三無塵室天花上部第62頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三溫濕度計(jì)和粒子計(jì)數(shù)器第63頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三壓差表1.對車間或房間加正微壓(5-10Pa)，選用0-60Pa微差壓計(jì)。2.檢查粗、中、高效空氣過濾器的過濾效果，選用2000-125、250Pa、500Pa或1Kpa等差壓計(jì)，隨時(shí)觀測過濾網(wǎng)的壓差，以便更換過濾器。常用量程：0～60Pa0～250Pa0～500Pa0～750Pa-60～0～60Pa-125～0～125Pa0～1kPa0～2kPa第64頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三泄壓風(fēng)門第65頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三檢漏實(shí)驗(yàn)第66頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三靜電測試第67頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三風(fēng)速測試風(fēng)罩頂棚測口儀器：熱球風(fēng)速儀精度0.01m/s±3%,量程0~30m/s，集風(fēng)罩。方法用集風(fēng)罩住送風(fēng)口，測出風(fēng)口平均風(fēng)速第68頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三潔凈室噪音標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)噪聲應(yīng)符合下列要求：一、動態(tài)測試時(shí)，潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝。二、空態(tài)測試時(shí)，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝；層流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于65分貝A。第69頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三①取15分鐘內(nèi)測量的風(fēng)速平均值，

②按不同位置編記錄測定值，計(jì)算平均風(fēng)速。評估標(biāo)準(zhǔn)①垂直單向流面風(fēng)速v>0.35m/s②水平單向流面風(fēng)速v>0.45m/s注:僅當(dāng)單向空氣流微粒數(shù)目符合100級的潔凈度要求，同時(shí)風(fēng)速達(dá)到上述數(shù)值，才可判斷該裝置達(dá)到100級。數(shù)據(jù)處理第70頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三四、空調(diào)送風(fēng)箱（AHU)

本節(jié)重點(diǎn)：1、介紹空調(diào)箱內(nèi)部構(gòu)造2、空氣過濾器的分類。第71頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三第72頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三4-1、空調(diào)箱內(nèi)部構(gòu)造（AirHandingUnit）第73頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三744-2、無塵室各種空氣過濾器的分類類別過濾灰塵直徑(μm)過濾網(wǎng)材質(zhì)用途初效過濾網(wǎng)≧5合成纖維

玻璃纖維外氣處理，空調(diào)箱前段處理中效過濾網(wǎng)≧1合成纖維

玻璃纖維循環(huán)空氣前端處理高效HEPA≧0.3玻璃紙Class100~1000潔凈室最終過濾網(wǎng)ULPA0.1~0.3特殊玻璃紙潔凈度1~100級超ULPA0.1~0.05特殊玻璃紙潔凈度1級第74頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三高效過濾器袋式中效過濾器紙框處效過濾器第75頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三高效過濾器送風(fēng)口第76頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三五、無塵室管理

本節(jié)重點(diǎn)：1、無塵室運(yùn)行階段管理2、無塵室施工階段管理3、無塵室檢測項(xiàng)目4、無塵室異常原因分析第77頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三維持無塵室清凈度四大原則不產(chǎn)生立刻排除不能堆積不可帶入1、無塵室運(yùn)行管理四大原則

第78頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三1-1.不可帶入HEPA過濾器的骨架不能漏氣。室內(nèi)必須維持設(shè)計(jì)之壓力。作業(yè)人員必須更衣，經(jīng)過AirShower后進(jìn)入無塵室。所有使用材料、設(shè)備、工具必須清掃干凈后始可帶進(jìn)。第79頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三高效濾網(wǎng)口密封SILICON膠老化，需定期檢查修補(bǔ)。無塵室正壓標(biāo)識第80頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三

無塵室及更衣室內(nèi)不得使用紙箱、鉛筆、擦膠、涂改液、砂紙、被剪開或撕開的無塵紙等物品。紙箱鉛筆擦膠涂改液砂紙被剪開或撕開的無塵紙第81頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三進(jìn)入AIRSHOWER動作規(guī)范化AIRSHOWER底部所設(shè)粘粘紙要及時(shí)更換第82頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三人員必須穿著無塵服。減少不必要之動作。不可使用容易發(fā)塵的材料。沒有必要的物品不可帶入。

1-2.不產(chǎn)生第83頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三1、對于高科技工業(yè)，比如半導(dǎo)體，電子及生化工廠來說，飛揚(yáng)在車間里的浮塵（肉眼所看不到的）對生產(chǎn)效率和產(chǎn)品品質(zhì)都產(chǎn)生了重大的影響。2、當(dāng)一個(gè)穿著常服的員工站立不動時(shí)，每分鐘他將產(chǎn)生大約34萬粒0.5μm的微塵；如果他在走動的話那么他將產(chǎn)生大約280萬粒。3、微塵污染嚴(yán)重影響了潔凈室的凈化，而人體又是對潔凈室產(chǎn)生影響的重要污染來源。因此，人體防護(hù)對潔凈室是相當(dāng)重要的。人體防護(hù)對潔凈室的重要性

第84頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三

大褂衣

大褂：大褂衣單獨(dú)使用，可與帽子、靴套配合使用。適合用于CLASS10000－100000的潔凈室，適合潔凈要求.第85頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三

分體服上下裝分開的設(shè)計(jì)使穿著更舒適，工效更高。適用于的潔凈室：CLASS1000-10000第86頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三

防靜電連體服

有更好的防塵效果，可防止微塵從身體部位逸出。連帽帶鞋型的連體服可用于更高的潔凈等級，可配合口罩使用。適合用于CLASS10－1000的潔凈室，適合潔凈要求。第87頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三不能有不易清潔、清掃之角落及機(jī)器周邊。盡量減少外露在室內(nèi)之風(fēng)管、水管等。必須按照標(biāo)準(zhǔn)方法與規(guī)定時(shí)間實(shí)施清潔。1-3.不能堆積第88頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三紙箱不能進(jìn)入防塵室普通棉手工藝拖把不能進(jìn)入防塵室使用，當(dāng)然也不能存搭防塵室。第89頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三AIRSHOWER維護(hù)人員用AIRSHOWER：為防止塵埃進(jìn)入應(yīng)確實(shí)維護(hù)，每周應(yīng)做外部的擦拭，與內(nèi)部的擦拭除塵，并且于半年后每月打開下面回風(fēng)處檢查濾網(wǎng)，并于一年后視檢查狀況更換初級濾網(wǎng)或HEPA(如果需要的話)。第90頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三增加換氣次數(shù)。在發(fā)塵部位附近排氣。改善氣流形狀以免塵埃附著于產(chǎn)品上。1-4.立刻排除第91頁，講稿共95頁，2023年5月2日，星期三2、施工階段的5級管控：階段操作過程時(shí)間凈化程序規(guī)范要求1級不清潔階段工程施工和初期環(huán)境準(zhǔn)