原子層沉積培訓演示教學課件

原子層沉積培訓PPT演示教學原子層沉積培訓PPT演示教學原子層沉積培訓PPT演示教學原子層沉積培訓公共技術(shù)平臺2014-8-29培訓類容ALD技術(shù)原理介紹ALD的特點及應(yīng)用ALD的工藝流程初三化學在教學活動中占有重要地位，在教學過程中，學生接觸和學習化學方程式，是正式進入化學殿堂的敲門磚，所以，教師在課堂教學活動中要靈活運用化學方程式，合理、有效地推動教學活動的正常開展，從而提高初三化學教學水平和教學質(zhì)量。一、化學方程式應(yīng)用教學存在的問題在初三化學教學過程中，化學方程式的應(yīng)用時間和深入程度都較淺，所以，在化學方程式的應(yīng)用中存在著許多問題，其中主要表現(xiàn)在以下幾個方面：首先，重視程度不足。由于學生剛剛接觸到化學方程式，老師對于化學方程式的解釋過多，可能會導致學生理解不掉，所以，在教學中對于化學方程式的解釋就會故意減少，從而導致其重視程度不足；其次，教學方法不合理。在教學活動中，由于初三化學教學活動中，有大量的化學實驗，而化學實驗更能吸引學生的注意力，所以，對于化學用語的解釋就相對較少，而這導致學生在真正面對這些復(fù)雜的化學元素符號和化學方程式時就丈二和尚摸不著頭腦；最后，急于求成的心理嚴重。在教學過程中，教師對于化學用語不能準確分清主次順序，在教學過程中，眉毛胡子一把抓，導致學習、記憶、理解的難度較大，并且機械的記憶方法增加了學生的厭學情緒。二、初三化學教學中化學方程式的靈活運用方法1.夯實學習基礎(chǔ)――利用口訣法學習化學方程式在初三化學學習時，由于在初二學習時積累了一定的基礎(chǔ)，開始接觸更為專業(yè)的化學知識，化學方程式是學習化學知識的重要工具，并且其學習的過程是個學習方法的過程。在方程式的靈活運用上，要著重加強抓要領(lǐng)，夯實學習基礎(chǔ)。學習化學方程式時，最基礎(chǔ)的運用是書寫化學方程式，其要領(lǐng)主要是：左寫反應(yīng)物，右寫生成物；寫對化學式，系數(shù)來配平；中間等號連，條件要注；清生成沉淀，氣箭頭來標明。這是學習化學方程式基礎(chǔ)的基礎(chǔ)，所以，在學習運用時，要熟練地掌握口訣，從而為進一步的應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。但是在教學實踐過程中，我們不難發(fā)現(xiàn)許多學生還是有丟三落四的壞習慣。2.善總結(jié)，鞏固學習成果化學方程式是具有科學性、合理性的科學方程式，所以，想靈活運用就應(yīng)該善總結(jié)，通過學習、觀察和思考，鞏固學習成果，從而實現(xiàn)化學方程式的靈活運用。而在這個環(huán)節(jié)中，教師要積極引導學生對于同類型的問題和化學反應(yīng)舉一反三，提高學生對于化學方程式的理解能力和運用能力，下面在教學的過程中，簡單的舉出幾個化學方程式的例子，幫助大家積累總結(jié)經(jīng)驗。一氧化碳+金屬氧化物→金屬+二氧化碳（2NaOH+CO（少量）=Na2CO3+H2O）像此類反應(yīng)的生成物是鹽和水，在寫出鹽的化學方程式的時候，就需要注意到鹽的配平，但是由于學生在記憶時對于生成物的記憶停留在死記硬背上，所以，對于如何寫出同類的生成物就顯得非常困難，所以在教學過程中，特別在配平時，要注意到鹽里面堿金屬離子和非金屬氧化物等，再加上一個氧化原子形成了負二價的原子團，這樣的目的就是為了學生更加靈活地運用化學方程式提供的引導去作出準確的配平。教師在教學過程中，不僅僅是為了教會學生化學知識，更應(yīng)該去指導學生和教育學生如何掌握科學的學習方法，在教會學生學習化學知識的同時，幫助學生探索知識，提高學生掌握知識的能力。這對于初三化學教學具有非常重要的意義，而對于化學方程式的應(yīng)用也具有非常重要的影響。3.善應(yīng)用，提高學習效率學習化學知識，教育學生如何去配平其實主要目的是為了運用，所以說教師的重要作用是引導學生如何應(yīng)用化學方程式，從而解決實際問題。這雖然對于剛剛學習化學不久的初三學生來說有很大的難度，但是在學習和掌握化學方程式的基礎(chǔ)上，靈活地運用這些知識是現(xiàn)代素質(zhì)教育的目標。例如，在汽車上，都安裝有汽車安全氣囊，安全氣囊內(nèi)部裝硝酸銨，當汽車受到嚴重的撞擊時，硝酸銨就會分解產(chǎn)生大量的N2O，H2O，從而防止汽車內(nèi)人員受傷，學生在學習時，可以對這個事件進行簡單的描述，從而激發(fā)學生的興趣，寫出該反應(yīng)的化學方程式：NH4NO3=N2O+2H2O。在學習的過程中要引導學生克服學習困難，防止機械記憶，提高學生掌握知識的能力和創(chuàng)新探索的能力。一、創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)是室內(nèi)設(shè)計發(fā)展的新動力在全球經(jīng)濟一體化的世界潮流中，于20世紀90年代末在發(fā)達國家興起的創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)，在新世紀的中國迅速傳播開來。創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)涵蓋的行業(yè)主要包括文化、表演、出版、軟件、電視廣播、藝術(shù)設(shè)計、建筑等。創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)正作為經(jīng)濟增長的新動力，影響著中國人的設(shè)計思維和中國各地的經(jīng)濟發(fā)展方式。在設(shè)計領(lǐng)域，廣告行業(yè)改變傳統(tǒng)內(nèi)容和形式，采納和利用現(xiàn)代尖端技術(shù)，實現(xiàn)了廣告產(chǎn)品的專業(yè)化和現(xiàn)代化，不斷拓展創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)的需求空間；動漫行業(yè)以高新技術(shù)為依托，與市場緊密結(jié)合，形成一個個衍生、配套產(chǎn)業(yè)，成功實現(xiàn)了科技與創(chuàng)意的商業(yè)化運作；建筑行業(yè)從北京申奧開始，以開放的心態(tài)為中國增添了幾大備受世界關(guān)注的建筑，如鳥巢、水立方等，以新穎的外觀造型和高科技的結(jié)構(gòu)構(gòu)造吸引了無數(shù)觀光客，帶動了旅游和工藝品等相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展……在北京、上海、廣州等經(jīng)濟發(fā)達城市，創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)園區(qū)的發(fā)展引起國內(nèi)外關(guān)注，比如北京的798藝術(shù)區(qū)、上海的2577創(chuàng)意大院、杭州的西湖創(chuàng)意谷等等。創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)的發(fā)展同樣大大刺激了環(huán)境藝術(shù)設(shè)計行業(yè)，作為環(huán)境藝術(shù)設(shè)計的一個分支，室內(nèi)設(shè)計也面臨著新的發(fā)展機遇。如何適應(yīng)創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為室內(nèi)設(shè)計行業(yè)源源不斷的輸送創(chuàng)意人才，是室內(nèi)設(shè)計專業(yè)教育要重點思考的課題。二、室內(nèi)設(shè)計教育發(fā)展現(xiàn)狀我國的室內(nèi)設(shè)計教育于20世紀80年代從建筑裝飾教育中劃分出來，基本上是引進、模仿、吸收國外教育模式發(fā)展起來的。盡管二十多年的反復(fù)實踐和教學改革使室內(nèi)設(shè)計教育逐步科學化，但是就現(xiàn)階段情況看普遍還存在以下問題：重視專業(yè)技能課程，缺少創(chuàng)意思維訓練課程專業(yè)技能課程內(nèi)容主要是識圖、手繪表現(xiàn)、計算機繪圖等，技能訓練能培養(yǎng)學生的實際操作能力，表達設(shè)計的理念和意圖。很多教師和學生都特別重視技能訓練，在設(shè)計思維訓練方面反而不夠重視。一些學生在專業(yè)學習的過程中只注重圖面效果，設(shè)計則投機取巧，以“借鑒”之名盲目抄襲別人的設(shè)計作品，而不去分析別人的設(shè)計作品中好的設(shè)計思想、設(shè)計理念、處理手法，從而出現(xiàn)“天下設(shè)計一大抄”的說法。三、實踐教學環(huán)節(jié)缺乏配套硬件設(shè)施實踐教學環(huán)節(jié)有利于讓學生理論聯(lián)系實際，并在設(shè)計實踐中提高發(fā)現(xiàn)問題和解決問題的能力。室內(nèi)設(shè)計實踐教學環(huán)節(jié)主要有校內(nèi)實踐和校外實踐兩種形式。多年來，校內(nèi)實踐的主要是采取真題假做、假提假做、真題重做等課程作業(yè)形式讓學生繪制圖紙或動手制作簡單模型。很多高校缺乏實踐教學需要的模型車間、材料工作室等，模型制作全靠學生手工制作，不能達到理想的實踐教學效果，使實踐訓練流于形式化。而校外實踐更是缺乏實踐基地，學生只能在寒暑假以打工的形式自己找裝飾公司實習。四、跨專業(yè)、跨學科的交流少，學生知識結(jié)構(gòu)單一當今的專業(yè)分科越來越細，越來越專，各學科相互滲透，縱橫交錯，形成網(wǎng)絡(luò)。室內(nèi)設(shè)計面對不同的設(shè)計人群，要求設(shè)計人員是知識面廣的復(fù)合型人才。不同專業(yè)分科和課程設(shè)置使學生跨專業(yè)、跨學科的交流少，學生知識結(jié)構(gòu)單一，一定程度上導致學生的視野、設(shè)計思路狹窄，缺乏創(chuàng)意的源泉。五、教師整體素質(zhì)的提高跟不上新時代發(fā)展節(jié)奏在多元的科技信息時代，材料、技術(shù)、工藝等日新月異，專業(yè)教師在教學工作之余應(yīng)密切關(guān)注國內(nèi)外最新的藝術(shù)思想、設(shè)計理念、設(shè)計教育的發(fā)展動態(tài)，不斷更新自己的知識體系并改革傳統(tǒng)的教學方法，提高教學能力。由于地域經(jīng)濟文化發(fā)展水平存在差異、高校各個專業(yè)的師資投入不平衡等原因，導致專業(yè)教師素質(zhì)參差不齊。例如在北京、上海等經(jīng)濟文化發(fā)達地區(qū)，教師能快速獲得國際國內(nèi)前沿文化、教育信息；而在經(jīng)濟文化欠發(fā)達的地區(qū)，教師自身素質(zhì)的提高缺少時間、空間和機會，文化圈子狹小，教師間的交流、溝通有限，教師自身知識的新陳代謝慢，從而導致教師整體素質(zhì)的提高跟不上時代發(fā)展節(jié)奏。六、新形勢下室內(nèi)設(shè)計教育的重點在創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展的新形勢下，室內(nèi)設(shè)計教育在適應(yīng)形勢的教育探索過程中應(yīng)抓住以下幾個重點：1、創(chuàng)新意識的培養(yǎng)創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)發(fā)展的動力在源源不斷的創(chuàng)造性思維和創(chuàng)造力，而創(chuàng)新意識是人們進行創(chuàng)造活動的出發(fā)點和內(nèi)在動力，是創(chuàng)造性思維和創(chuàng)造力的前提。所謂創(chuàng)新意識是人們對創(chuàng)新與創(chuàng)新的價值性、重要性的一種認識水平、認識程度以及由此形成的對待創(chuàng)新的態(tài)度，并以這種態(tài)度來規(guī)范和調(diào)整自己的活動方向的一種穩(wěn)定的精神態(tài)勢。創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)背景下的室內(nèi)設(shè)計教育應(yīng)從學生入學教育開始，把創(chuàng)新意識貫穿于四年的本科教學當中，培養(yǎng)學生能創(chuàng)作出容易被人感知并產(chǎn)生共鳴、適應(yīng)創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)市場需求的室內(nèi)設(shè)計作品。2、多學科的交流滲透室內(nèi)設(shè)計專業(yè)與很多學科存在交叉點，諸如建筑學、工業(yè)設(shè)計、心理學、植物學等。在綜合性大學里，學科門類齊全，普遍采用必修課、選修課、勞動技術(shù)課相結(jié)合的課程結(jié)構(gòu)模式。選修課當中應(yīng)適當增加這些交叉學科的課程比例，讓學生充分利用學校教學資源，開闊視野、豐富知識結(jié)構(gòu)、提高自身文化修養(yǎng)。3、“人本”觀念的塑造創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)時代的“人本”觀念，不僅要對人機工學、生活方式、行為方式、生活習慣進行研究，更要考慮到人的感性層面如情緒、個性化等需求。在新形勢下將更加注重人的個性釋放所創(chuàng)造的能量，設(shè)計消費者的需求在變，設(shè)計人員的設(shè)計思維也要更新，因此在室內(nèi)設(shè)計教育中“人本”觀念的塑造也應(yīng)當與時俱進。4、團體協(xié)作精神、設(shè)計交流能力的培養(yǎng)在創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)中非常強調(diào)團隊協(xié)作精神，一個好的創(chuàng)意最后得到實現(xiàn)并衍生出其他產(chǎn)品，這個過程需要團隊成員的共同努力才能完成，團隊協(xié)作需要團隊成員之間有良好的交流和溝通。當今的交流、協(xié)作已經(jīng)不僅僅局限于人與人之間的交流、協(xié)作，還包括人與技術(shù)、人與機器、人與信息、人與政策、人與市場等的交流和協(xié)作。因此，新形勢下的室內(nèi)設(shè)計教育應(yīng)注重各種交流、協(xié)作能力的培養(yǎng)。原子層沉積培訓公共技術(shù)平臺2014-8-29培訓類容ALD技術(shù)原理介紹ALD的特點及應(yīng)用ALD的工藝流程單原子層沉積(atomiclayerdeposition,ALD),起初稱為原子層外延(AtomicLayerEpitaxy);最初是由芬蘭科學家提出并用于多晶熒光材料ZnS:Mn以及非晶A2o3絕緣膜的研制,這些材料是用于平板顯示器由于這一工藝涉及復(fù)雜的表面化學過程和低的沉積速度,直至上世紀80年代中后期該技術(shù)并沒有取得實質(zhì)性的突破。但是到了20世紀90年代中期,人們對這一技術(shù)的興趣在不斷加強,這主要是由于微電子和深亞微米芯片技術(shù)的發(fā)展要求器件和材料的尺寸不斷降低,而器件中的高寬比不斷增加,這樣所使用材料的厚度降低至幾個納米數(shù)量級。因此原子層沉積技術(shù)的優(yōu)勢就體現(xiàn)出來,如單原子層逐次沉積,沉積層極均勻的厚度和優(yōu)異的一致性等就體現(xiàn)出來,而沉積速度慢的問題就不重要了典型的ALD沉積過程一A2O沉積過程"●●1.tMAlchemisorbto2.ReactionofTMAlechingCHaexcessmoreTMALKH●-c4●-。5.RepeatedAldCyclesresuitinAlO3film典型的ALD沉積過程一TO2沉積過程substrateTIClALD設(shè)備示意圖HeatersVaporpulse2HeatersHighspeedvalveWaferPrecursor2mperaturecontrolledbathvaporpulse1VacuumHighspeedvalvepumpingPrecursor1TemperaturecontrolledbathALD技術(shù)的主要優(yōu)勢前驅(qū)體是飽和化學吸附,保證生成大面積均勻性的薄膜·可生成極好的三維保形性化學計量薄膜,作為臺階覆蓋和納米孔材料的涂層·可輕易進行摻雜和界面修正·可以沉積多組份納米薄片和混合氧化物薄膜生長可在低溫(室溫~400°C)下進行·固有的沉積均勻性,易于縮放,可直接按比例放大·可以通過控制反應(yīng)周期數(shù)簡單精確地控制薄膜的厚度,形成達到原子層厚度精度的溥膜·對塵埃相對不敏感,薄膜可在塵埃顆粒下生長·可廣泛適用于各種形狀的基底不需要控制反應(yīng)物流量的均一性ALD技術(shù)的優(yōu)勢示意圖LiquidphaseSourceSemi-surfaceSurfaceocesscontrolledcontrolledcontrolled(sol-gel)asphasegasphasehaseprocessprocess(PVD)(CVD)(ALD)NanglaminatesMixedlaye∴:各種薄膜沉積方法比較:ALDMBECVDSputterEvaporPLD厚度的均勻性較好好較好較好薄膜密度不好好臺階覆蓋好不好多變不好不好不好界面質(zhì)量好多變不好好多變原料的數(shù)目不好好好好不好較好不好低溫沉積好多變好好好好好沉積速率不好不好好好好工業(yè)適用性較好好好ALD應(yīng)用·原子層沉積技術(shù)由于其沉積參數(shù)的高度可控性(厚度,成份和結(jié)構(gòu)),優(yōu)異的沉積均勻性和致性使得其在微納電子和納米材料等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用潛力。而且隨著科技的發(fā)展在不遠的將來將會發(fā)現(xiàn)其越來越多的應(yīng)用。根據(jù)該技術(shù)的反應(yīng)原理特征各類不同的