清凈室(Clean-Room)管理資料教學(xué)課件

ngtheCleanroom清凈室管理資料1Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNext什么是CleanRoom?清凈室(Cleanroon)浮游粒子無塵,潔凈的房間浮游粒子(AirborneParticle淸:清凈的清,淨(jìng):潔凈的凈)大小在01pm~5pm之間即灰塵的濃度(浮塵粒子),溫度在于空氣中的固體或液體物質(zhì)濕度,氣流次壓等綜合管理下的封閉空間2Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNext濕度(Humidity)濕度管理的重要性-濕度和靜電有密切的關(guān)系Fab內(nèi)濕度低時(shí),產(chǎn)生靜電的機(jī)率高Fab內(nèi)濕度高時(shí),雖然減少靜電發(fā)生率,但因濕氣發(fā)生裝備腐蝕(銹),故而粒子的發(fā)生率變高Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNext」清凈度(casy?1ft=3048cm1CF=0028m3CFM(CubicFeetMinute)1ft0028m空間內(nèi)的粒子,用1分鐘抽樣測(cè)量的數(shù)量(橫向*縱向*高度3048cm空間)1ftClass1:0.028m空間內(nèi)的粒子,1分鐘內(nèi)抽取測(cè)量結(jié)果存在1個(gè)以下粒子時(shí)叫cass1(05um以上的粒子≤1個(gè)/CFM空間)4Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNextcass表(FED-STD209cParticleSize(um)平是Class0.102030.55.0357.5ABcDEF10350758751010075087.5100100087510001000010000701000001000007005Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNextCleanroom業(yè)種別區(qū)分及清凈產(chǎn)業(yè)系列區(qū)分清凈度(Class粒子大小-半導(dǎo)體(上級(jí))0.lumWafer制造宙火箭,人工衛(wèi)星10~100-半導(dǎo)體(中級(jí)以下)垂直對(duì)流電子產(chǎn)業(yè)FM,CRT式層流式100~1,000微接觸光學(xué)儀器類C/R精密儀器組立半導(dǎo)體器件1,000~100000.5m鏡頭加工Computer組裝10000~10000005um|Bench式精明軸承,電子計(jì)算室制藥產(chǎn)業(yè)-藥品制造包裝發(fā)酵,釀造,保管醫(yī)院醫(yī)療實(shí)驗(yàn)室培養(yǎng)室5μ精密醫(yī)療器械制6Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNextcass表〔FED-STD209E)102030.5Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNextcass表〔FED-STD209E的主要修訂)內(nèi)容位主要使用Mter法,并用英國(guó)單位記錄CLAS標(biāo)際識(shí)0.5m以上的粒子數(shù)為10/mX用Cas標(biāo)識(shí)為了明確Mte法,附加了CLASSS分類|增加了清凈度大于209DClass1BgClassM1及清凈度小于as100000的ClassM7計(jì)測(cè)時(shí)可以使用cNc此時(shí)計(jì)測(cè)粒子直徑為002_m以上.此時(shí)的標(biāo)記為粒子計(jì)測(cè)ClassU(X)U=微粒子計(jì)測(cè)標(biāo)識(shí)X=最大允許粒子濃度P/m標(biāo)準(zhǔn)計(jì)測(cè)粒子01020305M(m為基準(zhǔn)但可以使用其他粒子直徑根據(jù)計(jì)測(cè)場(chǎng)所,計(jì)測(cè)時(shí)可以使用其他抽樣類型但,粒子濃度標(biāo)記為個(gè)/單位抽樣體積抽樣點(diǎn)多于10處時(shí),測(cè)量值可以取平均值清凈度高于ClassM25時(shí),為了節(jié)省計(jì)測(cè)時(shí)間可以連續(xù)抽樣附錄209D的相關(guān)規(guī)格用語被刪除,增加了等速吸引法,超微粒子濃度測(cè)量法清凈度高于Classm25時(shí)的連續(xù)抽樣法3個(gè)項(xiàng)目8Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNext大氣中粒子大0.00010.010.10.30.5110010000醇母密發(fā)GAS粒子植物胞子下記大小是與入的頭發(fā)厚度(100um)相比較時(shí)的大人能見得浩的表示色徑大小為03umHEPAFllter清除99.97%的LS1(1M)線幅大小人的頭發(fā)厚度100pm9Evaluationonly.chAsposeslidesforNET4odientPEvaluationonly.CreatedwithAsposeSlidesforNET4.0dientProfilo71Copyright2019-2019AsposePtyL1.Cleanroo基本LeadingtheNext大氣中的粒子濃度地球環(huán)境的清凈水準(zhǔn)大氣的位置Cass水準(zhǔn)備注平流層上層以上Cass1,000漢拿山頂部Class10,000高原地帶C|ass100,000大都市C|ass1000,000工地帶cas10,0000越