潔凈管道測(cè)試流程

QC流程及注意事項(xiàng)周科

目錄：一、外觀檢查及管路確認(rèn)二、氣密測(cè)試三、氦測(cè)漏檢驗(yàn)四、微粒子測(cè)試五、含水量測(cè)試六、含氧量測(cè)試七、機(jī)臺(tái)復(fù)歸一、外觀檢驗(yàn)及管路確認(rèn)：1、外觀檢驗(yàn)程序：a.所有管路是否依PID圖設(shè)計(jì)排列施工，并予標(biāo)示氣體種類。b.所有使用之材料是否符合規(guī)定之材料（閥件、管材等）。c.管路是否角度不正、傾斜、歪曲。d.管路是否有污物殘留。e.管路是否有凹陷、龜裂等不良缺陷，焊道是否已清潔且無破洞、砂孔？f.Gasket是否正確放置（無重復(fù)使用Gasket）？g.確定支撐管線的支架安置無誤。h.確定配管的工作不會(huì)妨礙本身維護(hù)保養(yǎng)及美觀程度。超高純氣體管路裝配完成后，須做管路之外觀檢驗(yàn)，其檢驗(yàn)項(xiàng)目為：2.對(duì)氣,管路確認(rèn)a.管路之入口（源頭）接上氣源。b.送氣測(cè)試，管路正確，管路的終點(diǎn)則有氣體流出。c.復(fù)原管路，檢查標(biāo)示是否正確。d.多管路氣體測(cè)試，逐管檢查，以免混淆。e.執(zhí)行檢查時(shí)若發(fā)現(xiàn)有不符合事項(xiàng)時(shí)，品保人員應(yīng)通知工程部監(jiān)工進(jìn)行改善。二.氣密測(cè)試使用氣體：廠內(nèi)PN2系統(tǒng)或particle小于0.1um的惰性氣體做壓力測(cè)試。測(cè)試項(xiàng)目規(guī)定氣體測(cè)試壓力測(cè)試時(shí)間壓力測(cè)試N28kg/cm212小時(shí)（或依業(yè)主規(guī)定）1、保壓測(cè)試：測(cè)試壓力及時(shí)間設(shè)計(jì)值:a.封住出氣：管路上留一道進(jìn)氣口，其余進(jìn)出氣口都封住。b.銜接管路：將管路進(jìn)氣口接氣源，出氣口接上Gauge或圓盤壓力計(jì)，c.圓盤壓力計(jì)歸零：于使用前需做歸零的動(dòng)作。d.充入氣體：進(jìn)氣口氣源或出氣口Gauge或圓盤壓力計(jì)，盤面管路上所形成封閉的空間。

有閥件必須全開。e.Snoop測(cè)試：用Snoop測(cè)試盤面管上之接頭是f.測(cè)試：用Gauge或圓盤壓力記錄器來測(cè)試盤面g.測(cè)試時(shí)間：12小時(shí)或依業(yè)主要求之測(cè)試時(shí)間。h.測(cè)試溫度：盡量維持開始測(cè)試溫度（無塵室溫否有漏氣現(xiàn)象。（若有漏的現(xiàn)象，會(huì)有起泡的狀況）。管路上壓力狀況，并隨時(shí)間的流逝，記錄下每一時(shí)刻的實(shí)時(shí)壓力值。度23°C）至測(cè)試結(jié)果（因?yàn)闇囟葧?huì)影響測(cè)試設(shè)備壓力）。i.在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)，管路的壓力應(yīng)沒有下降。如果壓力值有出入，但測(cè)試開始和完成時(shí)的溫度不同，則須再考慮溫度校正公式，以決定此壓力測(cè)試是否通過。溫度校正公式：（1）計(jì)算公式： P1：起始絕對(duì)壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2：理論最終絕對(duì)壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 P2’：最終絕對(duì)壓力值

(㎏/㎝2g＋1)。 T1：起始絕對(duì)溫度

(℃＋273＝oK) T2：最終絕對(duì)溫度

(℃＋273＝oK)P2＝P1×T2/T1

（2）判定：

｜P2’－

P1｜/P2≦3﹪j.結(jié)束/記錄：在開始記錄壓力前及完成測(cè)試后，將測(cè)試管路名稱、起始及結(jié)束的壓力值、時(shí)間日期等務(wù)必詳實(shí)紀(jì)錄。注意事項(xiàng)：a.所有測(cè)試均須以最有效率的方式進(jìn)行，譬如以幾個(gè)鄰近的管線為一組搭b.改善措施：針對(duì)有漏的地方進(jìn)行維修及重工之改善措施。c.測(cè)試時(shí)，管路充入測(cè)試氣體后10分鐘或更久，才開始做記錄，以免產(chǎn)生d.未接受試壓部份，如安全閥、控制閥、壓力計(jì)等，均應(yīng)接受氣密試驗(yàn)。配一壓力記錄儀進(jìn)行測(cè)試工作。誤差。氣密試驗(yàn)的壓力不可超過該組件的最大壓力范圍。

e.試驗(yàn)時(shí)須確定通風(fēng)良好。

f.試壓后排放管內(nèi)壓力，并保持吹凈狀態(tài)，或使管內(nèi)保持0.5㎏/㎝2以上壓力，并注意安全防止排放環(huán)境缺氧。三.氦測(cè)漏檢驗(yàn)氦氣的特點(diǎn)是分子比較小，在空氣中無毒害作用，又不易吸附到管路上以至殘留。當(dāng)封閉的管路在泵的作用下成真空狀態(tài)時(shí)，在焊道周圍和接口處噴以氦氣，如有泄漏時(shí)氦氣分子即可通過微小的縫隙進(jìn)入管路從而進(jìn)入氦測(cè)漏機(jī)。氦測(cè)漏機(jī)中的質(zhì)譜儀，它能從通過測(cè)量氦分子的數(shù)量得出漏率的相應(yīng)數(shù)值。氦測(cè)漏測(cè)試程序：a.設(shè)備抽真空：先將He測(cè)漏儀設(shè)備內(nèi)部真空值到1*10-9atm.cc/secb.檢驗(yàn)管路：檢查管路、盤面上之每個(gè)焊接點(diǎn)VCR接頭是否有組裝好。c.銜接管路：將要測(cè)試管路之所有進(jìn)氣口封起來，只留下一個(gè)測(cè)試孔，d.抽真空：測(cè)試的管路抽真空數(shù)值必須達(dá)到1*10-9atm.cc/sec,且數(shù)值與氦測(cè)漏儀設(shè)備銜接。穩(wěn)定后才可進(jìn)行測(cè)試動(dòng)作。e.測(cè)試：用氦氣噴槍噴要測(cè)試之管路、盤面上之每個(gè)焊接點(diǎn)及VCR接頭,噴氦f.結(jié)束/記錄：將測(cè)試結(jié)果數(shù)值記錄于氦測(cè)漏測(cè)試記錄表上。開、關(guān)機(jī)程序：開機(jī)：a.打開電源開關(guān),VENT燈亮,約3分鐘，Pump到達(dá)極速,面板有

b.Vent燈亮后，在測(cè)試儀控制面板上即可看出漏率顯示，此時(shí)系關(guān)機(jī)程序：a.關(guān)閉主要電源前,須將測(cè)漏儀面按到Vent處.b.待Vent燈亮后才可關(guān)機(jī)。

c.關(guān)機(jī)后因內(nèi)部Pump仍高速運(yùn)轉(zhuǎn)，必須等待3-5分鐘才可移動(dòng)。

d.關(guān)機(jī)后須將測(cè)試口封住，以保持測(cè)漏儀內(nèi)部的清潔。屬剛開機(jī)，機(jī)器內(nèi)部仍殘留氣體存在，此時(shí)須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec,等待漏率數(shù)值穩(wěn)定后，即可銜接要測(cè)試之管路、盤面。氣時(shí)要遵循由近及遠(yuǎn)，由高到低的原則，監(jiān)控氦測(cè)漏儀控制面板上數(shù)值顯示。測(cè)試數(shù)值規(guī)格：1*10-9atm.cc/sec以下。數(shù)值顯示，即表示氦測(cè)漏儀已準(zhǔn)備完成。氦測(cè)漏儀操作注意事項(xiàng)：a.氦測(cè)漏儀于開機(jī)后，應(yīng)平穩(wěn)放置，不可有傾斜。b.本機(jī)內(nèi)部抽氣系統(tǒng)屬特之渦輪分子泵，在關(guān)機(jī)3-5分鐘后，即Pump確實(shí)c.在測(cè)試工作結(jié)束后，因內(nèi)部含有大量的氦氣，故于管路盤面分離后，測(cè)d.氦測(cè)漏儀工作電壓系分為220V在送電前，須確定電壓是否正確。e.因本機(jī)器設(shè)備系屬精密電子儀器設(shè)備，故必須使用有接地式插頭。f.本機(jī)器設(shè)備長(zhǎng)期不使用時(shí)，每周必須開機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)一小時(shí)，可保持測(cè)漏儀更好停止運(yùn)轉(zhuǎn)后，始可移動(dòng)或重新開機(jī)。漏儀必須內(nèi)部抽真空數(shù)值到1*10-9atm.cc/sec待漏率數(shù)值穩(wěn)定后即可關(guān)機(jī)。的靈敏度。四.微粒子分析

Particle有一激光管，當(dāng)微粒子在氣流的作用下，通過激光管發(fā)出的激光束時(shí)發(fā)生折射作用。微粒子大小不同，折射光的強(qiáng)度也不同。不同的折射光通過光電轉(zhuǎn)換，即得到強(qiáng)度不同的電流。而電流的變化可以對(duì)微粒子大小及數(shù)量進(jìn)行測(cè)量。測(cè)試流程：1.選用氣體：

a.使用氣體必須經(jīng)過0.01um過濾器過濾之惰性氣體（氮?dú)獾龋?/p>

b.氣體來源純凈值必須小于小于0.1um2.管路吹掃：

a.將測(cè)試管路之入口或盤面進(jìn)氣口接上氣源，來Purge所要測(cè)試的管路。

b.管路盤面之氣體的出口必須單獨(dú)測(cè)試。

c.測(cè)試時(shí)如果不斷出現(xiàn)Particle時(shí)可用橡膠榔頭或手輕拍所要測(cè)試的管路；所有閥門都要做“開”“關(guān)”動(dòng)作，以使管內(nèi)微粒子隨Purge氣體排出。此

Purge程序需維持30分鐘以上。3.測(cè)試：

a.將管路之氣體出口接到ParticleCounter取樣口。

b.若管路為多氣體出口時(shí)，每支管路氣體出口必須做單獨(dú)測(cè)試。

c.測(cè)試壓力：45~150psi。

d.測(cè)試時(shí)間：測(cè)試十分鐘取樣一次并記錄，連續(xù)測(cè)試三次。

e.測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：小于等于0.1um。測(cè)試儀器使用注意事項(xiàng)：a.電源啟動(dòng)前，必須確定使用電源為220V，頻率為60Hz。b.開機(jī)后，不可移開進(jìn)氣端，以免鐳射管損壞。c.本測(cè)試機(jī)臺(tái)為非防爆型，故測(cè)試氣體僅可使用Air、Ar、CO2、He、Ne、N2。4.結(jié)束需將測(cè)試結(jié)果記錄于微粒子分析測(cè)試記錄表，以作日后追溯與識(shí)別使用。五、含水量測(cè)試

TRACER水分分析儀的基本原理：CELL是一特殊電元件，其內(nèi)部表面有P2O5層，當(dāng)含有水分的氣體通過CELL時(shí)，CELL表面的P2O5層吸收水分并電解。水電解后形成帶電的離子，帶電離子形成電流，通過測(cè)量電流變化可以得知水分多少。

測(cè)試程序：1.選用氣體：使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮?dú)饣蚋呒兌鹊亩栊詺怏w。2.管路吹掃：

a.將測(cè)試管路或盤面進(jìn)氣孔接上氣源。

b.將測(cè)試管路盤面上所有閥件全部打開。

c.使用設(shè)計(jì)壓力氣源來Purge所要測(cè)試之管路,此Purge程序需維持30分鐘以上。3.測(cè)試：

a.氣體管路于銜接水分分析儀前，必須將銜接測(cè)試管路Purge5分鐘，讓銜接管

b.并聯(lián)氣體管路之出氣口至水份分析進(jìn)氣口。

c.測(cè)試時(shí)依水份分析儀測(cè)試數(shù)據(jù)值的狀況，同時(shí)進(jìn)行測(cè)試與Purge直到水份分析

d.測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)值為：20ppb以下或依業(yè)主要求。路內(nèi)之水份隨Purge氣體流出。儀測(cè)試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值以下。4.結(jié)束：將測(cè)試結(jié)果記錄于水份分析測(cè)試記錄表，以作日后追溯與識(shí)別使用。六、含氧量測(cè)試

CELL電流元件結(jié)合了一個(gè)包含在多孔管里的銀電極與鎘電極和鉑電極共同包含在氫氧化鉀溶液中。當(dāng)含有氧分的氣體通過氫氧化鉀溶液時(shí)，氧在銀電極上還愿為氫氧根離子，通過溶液的移動(dòng)，在鎘陽極產(chǎn)生負(fù)電荷形成電流，電流在微處理器控制下測(cè)量出相對(duì)應(yīng)的樣品氧濃度。測(cè)試程序：選用氣體：使用氣體必須經(jīng)過純化器濾過的氮?dú)饣蛲燃兌鹊亩栊詺怏w。1.管路吹掃：

a.將測(cè)試管路或接上氣源。

b.將測(cè)試管路盤面上所有閥件全部打開。

c.使用設(shè)計(jì)壓力之氣源來Purge所要測(cè)試之管路。

d.此Purge程序需維持30分鐘以上。2.測(cè)試：

a.氣體于接上設(shè)備前必須先將銜接測(cè)試管Purge5分鐘以上。

b.經(jīng)過Purge的銜接測(cè)試管路，銜接上微氧分析儀后，打開微氧分析儀電源進(jìn)行測(cè)試。

c.測(cè)試時(shí)依微氧分析儀測(cè)試數(shù)據(jù)的狀況，同時(shí)進(jìn)行測(cè)試與Purge直到測(cè)試值達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值以下才合格。3.結(jié)束：將測(cè)試結(jié)果記錄于微氧分析測(cè)試記錄表，以作日后追溯與識(shí)別用。注意事項(xiàng)：

a.所有測(cè)試銜接管必須使用不銹鋼316L以上之材質(zhì)。

b.氣體于接上設(shè)備前必須先將銜接測(cè)試管Purge5分鐘以上。

c.測(cè)試規(guī)格：50PPB以下（或依客戶要求之規(guī)格）。七、機(jī)臺(tái)復(fù)歸1.復(fù)歸程序：

a.準(zhǔn)備相應(yīng)的工具：扳手，