工廠無(wú)塵室培訓(xùn)教材

無(wú)塵室培訓(xùn)教材無(wú)塵室的起源與發(fā)展十九世紀(jì)初期，各種細(xì)菌被相繼發(fā)現(xiàn)，為防止病房、手術(shù)室中細(xì)菌傳播，無(wú)菌室成為最有效的對(duì)策，這便是現(xiàn)代無(wú)塵室的前身。飛機(jī)所使用的小軸承及齒輪若至于粉末，灰塵多的環(huán)境中制造，不但故障頻發(fā)而且容易引發(fā)嚴(yán)重事故，這個(gè)事實(shí)在二戰(zhàn)前就已經(jīng)被了解。二戰(zhàn)時(shí)，美國(guó)將零件置于空氣浮塵較少處進(jìn)行加工組合，裝備的可靠性得到極大的提升。與此同時(shí)，美國(guó)的曼哈頓計(jì)劃中，為除去放射性微粒，制造了超高性能過(guò)濾器(HEPAFILTER)，對(duì)日后潔凈技術(shù)的開(kāi)發(fā)影響極大。1967年，美國(guó)進(jìn)行阿波羅計(jì)劃時(shí)，為防止細(xì)菌在大氣層和外太空傳播，制定了無(wú)塵室的相關(guān)規(guī)格。無(wú)塵室的控制要素

3無(wú)塵室的定義無(wú)塵室(CleanRoom)：指將一定空間范圍內(nèi)的空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除；并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。

亦即是不論外在的空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈等級(jí)分類(lèi)

51.不帶入適當(dāng)壓差MAU過(guò)濾器AIRSHOWER2.不發(fā)塵用人少,動(dòng)作輕人員穿著無(wú)塵衣使用CR專(zhuān)用器具3.不堆積LAYOUT無(wú)死角設(shè)備四周留空間定期保養(yǎng)與清掃4.速排除污染源直接排除換氣次數(shù)要足夠適當(dāng)?shù)幕仫L(fēng)術(shù)氣流速維持潔凈度的基本準(zhǔn)則污染物大小與對(duì)比0.5um粒徑肉眼可視粒徑-5um人類(lèi)頭發(fā)直徑-100um無(wú)塵室控制--微塵粒子的排除7減少粒塵進(jìn)入無(wú)塵室去除外器引入之塵粒控制正壓設(shè)置AirShower設(shè)置PassBox去除無(wú)塵室內(nèi)之塵粒沖淡法:以潔凈空氣沖淡無(wú)塵室內(nèi)塵粒置換法:以潔凈空氣置換無(wú)塵室內(nèi)之塵粒無(wú)塵室控制--微塵粒子的排除空調(diào)箱內(nèi)空氣過(guò)濾網(wǎng)種類(lèi)預(yù)濾網(wǎng)(Pre-filter)濾除大氣中1μm以上之粗粒子過(guò)濾效率70~90%ASHRAEARRESTANCE用來(lái)延長(zhǎng)中級(jí)過(guò)濾網(wǎng)之效率中級(jí)過(guò)濾網(wǎng)(Middlefilter)濾除大氣中1μm以下之粗粒子過(guò)濾效率35~95%DustSpot用來(lái)延長(zhǎng)最終過(guò)濾網(wǎng)之效率最終過(guò)濾網(wǎng)(Finalfilter)濾除大氣中0.5μm以下之微粒子過(guò)濾效率99.97%

以上DOP可分----HEPA及ULPA

無(wú)塵室控制--微塵粒子的排除天花板上最終空氣過(guò)濾網(wǎng)種類(lèi)HEPA—HighEfficiencyParticulateAirFilter濾除大氣中0.3μm以下之微粒子過(guò)濾效率99.97%以上DOP(即穿透率小于萬(wàn)分之三)ULPA—UltraLawPenetrationAirFilter濾除大氣中0.1μm以下之微粒子過(guò)濾效率99.999%以上DOP(即穿透率小于十萬(wàn)分之一)Note:傳統(tǒng)濾材為玻璃纖維材,隨晶圓線徑越細(xì),

濾材逐漸為PTFE

無(wú)塵室控制--微塵粒子的排除AirFlowFanFilterUnit外氣空調(diào)箱DCToolsDCHumidifierTools無(wú)塵室控制--微塵粒子的排除11每立方呎屋外空氣塵粒(≧0.3μm)數(shù)量大約7,143,000個(gè)經(jīng)初級(jí)濾網(wǎng)去除數(shù)量1%(重量去除85%)通過(guò)7,072,000個(gè)/ft3經(jīng)中級(jí)濾網(wǎng)去除數(shù)量55%通過(guò)3,182,400個(gè)/ft3經(jīng)最終濾網(wǎng)去除數(shù)量99.97%通過(guò)955個(gè)/ft3進(jìn)無(wú)塵室假設(shè)送風(fēng)量350ft3/sec潔凈度控制舉例無(wú)塵室初級(jí)濾網(wǎng)預(yù)冷盤(pán)管預(yù)熱盤(pán)管加濕器截水器冷卻盤(pán)管加熱盤(pán)管初級(jí)濾網(wǎng)送風(fēng)機(jī)組中級(jí)濾網(wǎng)ＨＥＰＡ逆止風(fēng)門(mén)外氣空調(diào)箱無(wú)塵室控制--微塵粒子的排除AirFlowFanFilterUnit外氣空調(diào)箱DC來(lái)自空調(diào)箱供應(yīng)955個(gè)/ft3x350ft3/s=334,250個(gè)/s機(jī)臺(tái)人員建筑發(fā)塵30,000個(gè)/s滯留系數(shù)0.13,000個(gè)/s未帶走27,000個(gè)/s被氣流帶走334,250+27,000=361,250個(gè)/sHEPA去除效率99.99%每秒約通過(guò)36.1個(gè)(3,000+37)/3,500=0.87個(gè)/ft3符合潔凈度控制舉例

(符合Class1@0.3μm范例)假設(shè)換氣量每秒3,500ft3制造區(qū)無(wú)塵室控制--微塵粒子的排除無(wú)塵室控制—人員的進(jìn)出管控經(jīng)預(yù)冷盤(pán)管后冷卻為16.6oCRH100%假設(shè)送風(fēng)量10m3/sec無(wú)塵室初級(jí)濾網(wǎng)預(yù)冷盤(pán)管預(yù)熱盤(pán)管加濕器截水器冷卻盤(pán)管加熱盤(pán)管初級(jí)濾網(wǎng)送風(fēng)機(jī)組中級(jí)濾網(wǎng)ＨＥＰＡ逆止風(fēng)門(mén)夏天外氣條件DB35oC，RH80%(氣象統(tǒng)計(jì)1%)無(wú)塵室運(yùn)轉(zhuǎn)條件22±2oC，RH45±5%(依產(chǎn)品制造要求)經(jīng)冷卻盤(pán)管后除濕為9.5oCRH100%經(jīng)加熱盤(pán)管后改變濕度11.2oCRH90%外氣空調(diào)箱控制溫度、濕度無(wú)塵室控制—溫濕度的控制AirFlowFanFilterUnit外氣空調(diào)箱DC空調(diào)箱供應(yīng)11.2oC90%10m3/s機(jī)臺(tái)人員建筑4F發(fā)熱量：180KJ/秒3F發(fā)熱量：100KJ/秒100=1.17x(100-10)x(T3f-22)T3f→22.95oC(符合22±2oC相對(duì)濕度45±5%范例)假設(shè)每秒換氣量100m3(比容1.17)制造區(qū)180=1.17x100x(T4f-20.5)T4f→22oC冷盤(pán)管容量=1.17x90x(22.95-20.5)1.17x10x(20.5-11.2)=257.99-108.81=149.18→選160KJ/s制程排氣10m3/s設(shè)定溫度20.5oCTools無(wú)塵室控制—溫濕度的控制無(wú)塵室控制—?dú)饬餍?/p>