一種MEMS平面線(xiàn)圈電鍍方法_第1頁(yè)
一種MEMS平面線(xiàn)圈電鍍方法_第2頁(yè)
一種MEMS平面線(xiàn)圈電鍍方法_第3頁(yè)
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一種MEMSME（微電子機(jī)械系統(tǒng)）常廣泛。其中，平面線(xiàn)圈是其中一個(gè)重要的組件。本論文介紹了一種基于電沉積的平面線(xiàn)圈制備方法，該方法使用化學(xué)藥品和電解質(zhì)進(jìn)行電沉積，可以在基板上制造具有高性能的平面線(xiàn)圈，從而有效地解決了傳統(tǒng)的平面線(xiàn)圈制造方法存在的一些問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，使用該方法可以MES應(yīng)用的進(jìn)一步發(fā)展提供了重要的技術(shù)支持。在微電子機(jī)械系統(tǒng)（ME）中，平面線(xiàn)圈是非常重要的組件，常用于傳感器、控制器和執(zhí)行器等方面。傳統(tǒng)的平面線(xiàn)圈制造方法包括光刻、電子束光刻和微影技術(shù)等，雖然這些方法可以實(shí)現(xiàn)高精度的制造，但制ECF過(guò)程中，基板通過(guò)電解液接地，作為陽(yáng)極。此外，涂有銅的ECF過(guò)程中，電解液中的銅離子會(huì)逐漸沉MEMS中，電沉積技術(shù)被用于增強(qiáng)微機(jī)電系統(tǒng)的電電解液：銅離子通過(guò)實(shí)驗(yàn)，我們制造了一系列電沉積平面線(xiàn)圈樣品。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，使用該方法可以制造出具有高精度、高靈敏度和高穩(wěn)定性的平面線(xiàn)圈。MEMS應(yīng)用的進(jìn)一步發(fā)展提供了重要的技

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