中國(guó)晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模、供需現(xiàn)狀及價(jià)格走勢(shì)分析

中國(guó)晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模、供需現(xiàn)狀及價(jià)格走勢(shì)分析一、晶圓的靜電卡盤行業(yè)概況在集成電路制造工藝，特別是刻蝕、物理氣相沉積及化學(xué)氣相沉積過(guò)程中，為了避免晶片出現(xiàn)移動(dòng)或者錯(cuò)位現(xiàn)象而導(dǎo)致工藝過(guò)程無(wú)法正常進(jìn)行,多采用一定的裝置對(duì)晶片進(jìn)行固定、支撐。晶片固定裝置主要包括機(jī)械卡盤、真空吸盤和靜電卡盤三類。靜電卡盤顧名思義是利用靜電吸附原理將待加工晶片吸附在其表面并且可以通過(guò)背吹氣體來(lái)控制晶片表面溫度的設(shè)備，靜電卡盤的基本結(jié)構(gòu)主要包括陶瓷基板、靜電電極、機(jī)械頂針、外設(shè)電源、背吹系統(tǒng)、水冷基體等。與傳統(tǒng)的機(jī)械卡盤和真空吸盤相比靜電卡盤具有很多的優(yōu)點(diǎn)：機(jī)械卡盤、真空吸盤與靜電卡盤的特點(diǎn)和對(duì)比機(jī)械卡盤、真空吸盤與靜電卡盤的特點(diǎn)和對(duì)比資料來(lái)源：產(chǎn)業(yè)研究院整理二、集成電路行業(yè)政策集成電路產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略地位顯著，為鼓勵(lì)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展，推進(jìn)自主可控，擺脫受制于人的情況，國(guó)家先后出臺(tái)一系列集成電路投資稅收減免、政府補(bǔ)貼相關(guān)政策，舉國(guó)之力保障供應(yīng)鏈安全，促進(jìn)行業(yè)健康發(fā)展。近年來(lái)集成電路行業(yè)一系列支持政策的推出，對(duì)晶圓的靜電卡盤行業(yè)的健康發(fā)展提供了良好的保障。2020年以來(lái)集成電路有關(guān)政策2020年以來(lái)集成電路有關(guān)政策資料來(lái)源：各政府部門，產(chǎn)業(yè)研究院整理相關(guān)報(bào)告：產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2023-2028年中國(guó)晶圓的靜電卡盤行業(yè)市場(chǎng)深度研究及投資前景展望報(bào)告》三、晶圓的靜電卡盤行業(yè)現(xiàn)狀在下游需求的刺激下，我國(guó)晶圓的靜電卡盤行業(yè)不斷發(fā)展，市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)張，2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到2.6億元，同比增速為48.82%。2017-2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤市場(chǎng)規(guī)模及增速2017-2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤市場(chǎng)規(guī)模及增速資料來(lái)源：產(chǎn)業(yè)研究院整理近年來(lái)我國(guó)晶圓的靜電卡盤產(chǎn)品呈現(xiàn)出供不應(yīng)求的趨勢(shì)。2017至2021年期間，產(chǎn)量方面，我國(guó)晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量自11臺(tái)增長(zhǎng)至42臺(tái)，CAGR為39.79%；需求量方面，晶圓的靜電卡盤需求量自197臺(tái)增長(zhǎng)至407臺(tái)，CAGR為19.89%。2017-2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量及需求量情況2017-2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤產(chǎn)量及需求量情況資料來(lái)源：產(chǎn)業(yè)研究院整理目前,國(guó)內(nèi)晶圓的靜電卡盤行業(yè)需求的地區(qū)主要分布在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集中的華北、華東地區(qū)。2021年兩大地區(qū)的合計(jì)占比達(dá)到86%。2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤消費(fèi)區(qū)域分布2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤消費(fèi)區(qū)域分布資料來(lái)源：產(chǎn)業(yè)研究院整理?yè)?jù)統(tǒng)計(jì)，2017年，我國(guó)國(guó)產(chǎn)晶圓的靜電卡盤均價(jià)為18萬(wàn)元/臺(tái)，進(jìn)口晶圓的靜電卡盤均價(jià)70萬(wàn)元/臺(tái)。2021年，我國(guó)國(guó)產(chǎn)晶圓的靜電卡盤均價(jià)增至28.5萬(wàn)元/臺(tái)，進(jìn)口晶圓的靜電卡盤均價(jià)為68萬(wàn)元/臺(tái)。2017-2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤價(jià)格走勢(shì)圖2017-2021年中國(guó)晶圓的靜電卡盤價(jià)格走勢(shì)圖資料來(lái)源：產(chǎn)業(yè)研究院整理四、晶圓的靜電卡盤行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈1、產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)疽鈭D晶圓的靜電卡盤行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈上游主要包括氧化鋁、鈦、碳化硅、聚酰亞胺薄膜及環(huán)氧樹脂等行業(yè)；下游主要集中在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域。晶圓的靜電卡盤產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)疽鈭D晶圓的靜電卡盤產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)疽鈭D資料來(lái)源：產(chǎn)業(yè)研究院整理2、下游市場(chǎng)晶圓的靜電卡盤行業(yè)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2011至2021年，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從36.5億美元增長(zhǎng)至296.2億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率高達(dá)23.29%。2011-2021年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)銷售額及增速2011-2021年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)銷售額及增速資料來(lái)源：SEMI，產(chǎn)業(yè)研究院整理五、晶圓的靜電卡盤行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)北京華卓精科科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱華卓精科）由清華大學(xué)IC裝備團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立，是一家肩負(fù)著專項(xiàng)重大科研成果產(chǎn)業(yè)化重任的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有由國(guó)內(nèi)外一流高校畢業(yè)的博士、碩士組成的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)和超精密制造經(jīng)驗(yàn)豐富的核心生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)，主要面向芯片制造廠及芯片裝備制造商，提供系列整機(jī)裝備、核心子系統(tǒng)、關(guān)鍵零部件和定制服務(wù)。是目前國(guó)內(nèi)唯一一家成功設(shè)計(jì)研制集成電路光刻機(jī)雙工件臺(tái)的企業(yè)。數(shù)據(jù)顯示，2021年華卓精科靜電卡盤銷量為26臺(tái)，靜電卡盤產(chǎn)品業(yè)務(wù)收入為74