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文檔簡介

相變存儲(chǔ)器電性能測試方法

CSTM標(biāo)準(zhǔn)編制說明

一、目的和意義

相變存儲(chǔ)器因具備超高速、高集成度、低功耗等特點(diǎn)而受到國內(nèi)外研究者的

廣泛關(guān)注,被認(rèn)為最有潛力成為下一代主流非易失性存儲(chǔ)器,正在以前所未有的

速度向產(chǎn)業(yè)化方向發(fā)展。

關(guān)于相變存儲(chǔ)器的有效精準(zhǔn)測試是指導(dǎo)性能優(yōu)化的基礎(chǔ),但目前國際國內(nèi)均

無統(tǒng)一的相變存儲(chǔ)器測試標(biāo)準(zhǔn)。隨著近年來相變存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加劇,亟待建

立一套明確的相變存儲(chǔ)器電性能測試標(biāo)準(zhǔn),以指導(dǎo)器件優(yōu)化設(shè)計(jì)、上下游測試設(shè)

備等產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

本文件規(guī)定了一套明確的相變存儲(chǔ)器電性能測試方法標(biāo)準(zhǔn),分為器件性能測

試和器件可靠性測試,器件性能測試包括電流-電壓特性、存儲(chǔ)窗口、置位時(shí)間、

置位電壓、復(fù)位時(shí)間、復(fù)位電壓、功耗;器件可靠性測試包括耐久和數(shù)據(jù)保持時(shí)

間,對相變存儲(chǔ)器的研究與應(yīng)用至關(guān)重要,滿足眾多相變存儲(chǔ)器生產(chǎn)與應(yīng)用的迫

切需求。

二、工作簡況

1任務(wù)來源

項(xiàng)目名稱:相變存儲(chǔ)器電性能測試方法

任務(wù)來源:2022年CSTM制修訂計(jì)劃,立項(xiàng)批準(zhǔn)號(hào):CSTMLX0000

01003-2022。

起草單位:華中科技大學(xué)、長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司、中國計(jì)量科學(xué)研究

院、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院。

歸口單位:CSTM

2編制和協(xié)作單位

華中科技大學(xué)是國家教育部直屬重點(diǎn)綜合性大學(xué),由原華中理工大學(xué)、同濟(jì)

醫(yī)科大學(xué)、武漢城市建設(shè)學(xué)院于2000年5月26日合并成立,是國家“211工程”

1

重點(diǎn)建設(shè)和“985工程”建設(shè)高校之一,是首批“雙一流”建設(shè)高校。

學(xué)校學(xué)科齊全、結(jié)構(gòu)合理,基本構(gòu)建起綜合性、研究型大學(xué)的學(xué)科體系。擁

有哲學(xué)、經(jīng)濟(jì)學(xué)、法學(xué)、教育學(xué)、文學(xué)、理學(xué)、工學(xué)、醫(yī)學(xué)、管理學(xué)、藝術(shù)學(xué)、

交叉學(xué)科等11大學(xué)科門類;設(shè)有112個(gè)本科專業(yè),48個(gè)碩士學(xué)位授權(quán)一級(jí)學(xué)科,

46個(gè)博士學(xué)位授權(quán)一級(jí)學(xué)科,39個(gè)博士后科研流動(dòng)站?,F(xiàn)有一級(jí)學(xué)科國家重點(diǎn)

學(xué)科7個(gè),二級(jí)學(xué)科國家重點(diǎn)學(xué)科15個(gè)(內(nèi)科學(xué)、外科學(xué)按三級(jí)計(jì)),國家重

點(diǎn)(培育)學(xué)科7個(gè)。在教育部第四輪學(xué)科評(píng)估中,我校44個(gè)學(xué)科參評(píng),全部

上榜,其中機(jī)械工程、光學(xué)工程、生物醫(yī)學(xué)工程、公共衛(wèi)生與預(yù)防醫(yī)學(xué)等4個(gè)學(xué)

科進(jìn)入A+,A類學(xué)科14個(gè),B+及以上學(xué)科33個(gè)。9個(gè)學(xué)科入選國家第二輪“雙

一流”建設(shè)學(xué)科名單。

學(xué)校實(shí)施“人才興校”戰(zhàn)略,師資力量雄厚。現(xiàn)有專任教師3700余人,其

中教授1400余人,副教授1400余人;教師中有院士19人,“973計(jì)劃”項(xiàng)目

首席科學(xué)家15人,重大科學(xué)研究計(jì)劃項(xiàng)目首席科學(xué)家2人,國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃

項(xiàng)目首席科學(xué)家163人(其中包括國際合作科學(xué)家48人),國家級(jí)教學(xué)名師13

人,國家百千萬人才工程入選者43人。國家自然科學(xué)基金創(chuàng)新研究群體11個(gè),

教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)19個(gè)。

中國計(jì)量科學(xué)研究院(以下簡稱“中國計(jì)量院”)成立于1955年,隸屬國家

市場監(jiān)督管理總局,是國家最高的計(jì)量科學(xué)研究中心和國家級(jí)法定計(jì)量技術(shù)機(jī)

構(gòu),屬社會(huì)公益型科研單位。建院以來,中國計(jì)量院瞄準(zhǔn)國際計(jì)量科學(xué)前沿,在

國家經(jīng)濟(jì)建設(shè)、社會(huì)發(fā)展和科技進(jìn)步中發(fā)揮了重要的支撐作用。中國計(jì)量院現(xiàn)有

國家計(jì)量基準(zhǔn)128項(xiàng),標(biāo)準(zhǔn)359項(xiàng),有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)1603項(xiàng),國際計(jì)量局(BIPM)

公布的國際互認(rèn)的校準(zhǔn)和測量能力1574項(xiàng),國際排名第三、亞洲排名第一。隨

著技術(shù)能力的持續(xù)提升,中國計(jì)量院的服務(wù)水平不斷增強(qiáng)。2018年,中國計(jì)量

院為社會(huì)提供30余萬臺(tái)/件儀器的量值傳遞與溯源服務(wù)。國家計(jì)量院作為國家最

高計(jì)量科學(xué)研究中心和國家級(jí)法定計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu),擔(dān)負(fù)著確保國家量值統(tǒng)一和國

際一致、保持國家最高測量能力、支撐國家發(fā)展質(zhì)量提升、應(yīng)對新技術(shù)革命挑戰(zhàn)

等重要而光榮的使命。自1955年成立以來,國家計(jì)量院在推動(dòng)我國科技創(chuàng)新、

經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和滿足國家戰(zhàn)略需求方面做出了重要貢獻(xiàn)。

2

中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院(工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院,工業(yè)

和信息化部電子第四研究院,簡稱“電子標(biāo)準(zhǔn)院”“電子四院”,又稱“中國賽

西”),創(chuàng)建于1963年,是工業(yè)和信息化部直屬事業(yè)單位,是國家從事電子信

息技術(shù)領(lǐng)域標(biāo)準(zhǔn)化的基礎(chǔ)性、公益性、綜合性研究機(jī)構(gòu)。

電子標(biāo)準(zhǔn)院以工業(yè)和電子信息技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化工作為核心,通過開展標(biāo)準(zhǔn)科研、

試驗(yàn)檢測、計(jì)量校準(zhǔn)、認(rèn)證評(píng)估、培訓(xùn)服務(wù)、產(chǎn)業(yè)研究等業(yè)務(wù),面向政府提供政

策研究、行業(yè)管理和戰(zhàn)略決策的專業(yè)支撐,面向企業(yè)和社會(huì)提供標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)服務(wù)。

電子標(biāo)準(zhǔn)院承擔(dān)58個(gè)IEC、ISO/IECJTC1的TC/SC國內(nèi)技術(shù)歸口、14個(gè)全

國標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)和24個(gè)全國標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)分技術(shù)委員會(huì)秘書處的工作,

以及IEEE智能制造標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)秘書處工作,是國家智能制造標(biāo)準(zhǔn)化總體組組長

單位、國家人工智能標(biāo)準(zhǔn)化總體組組長單位、智能制造系統(tǒng)解決方案供應(yīng)商聯(lián)盟

秘書處單位,與多個(gè)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織及國內(nèi)外知名機(jī)構(gòu)建立了合作關(guān)系,為標(biāo)準(zhǔn)

的應(yīng)用推廣、產(chǎn)業(yè)推動(dòng)和國際交流合作發(fā)揮了重要的促進(jìn)作用。

3工作過程

2021年10月,組建了標(biāo)準(zhǔn)起草工作組,由高校、檢測、計(jì)量及生產(chǎn)企業(yè)和

應(yīng)用企業(yè)的工作人員組成。標(biāo)準(zhǔn)起草工作組討論了具體的工作過程、擬定了相應(yīng)

的工作計(jì)劃。經(jīng)過討論,標(biāo)準(zhǔn)的名稱為《相變存儲(chǔ)器電性能測試方法》,本標(biāo)準(zhǔn)

的制定是為了規(guī)定了一套明確的相變存儲(chǔ)器電性能測試方法標(biāo)準(zhǔn),對推進(jìn)非易失

性相變存儲(chǔ)器電性能測試方法標(biāo)準(zhǔn)化具有積極的意義。本標(biāo)準(zhǔn)的范圍包含對非易

失性相變存儲(chǔ)器性能測試和器件可靠性測試,器件性能測試包括電流-電壓特性、

存儲(chǔ)窗口、置位時(shí)間、置位電壓、復(fù)位時(shí)間、復(fù)位電壓、功耗;器件可靠性測試

包括耐久和數(shù)據(jù)保持時(shí)間。具體工作計(jì)劃如下:

2021年11月-2022年5月:標(biāo)準(zhǔn)起草單位參加由華中科技大學(xué)主導(dǎo)的相變

存儲(chǔ)器電性能測試的實(shí)驗(yàn)及草案的編制。

2022年5月,標(biāo)準(zhǔn)草案完成。

2022年7月,標(biāo)準(zhǔn)草案通過立項(xiàng)函審,CSTM標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)批準(zhǔn)立項(xiàng)。

2022年9月,開展比對,回收數(shù)據(jù),整理數(shù)據(jù),形成征求意見稿。

2022年11月,根據(jù)比對結(jié)果及征求意見,并對征求意見稿進(jìn)行修改,形成

3

標(biāo)準(zhǔn)送審稿。

2022年11月,計(jì)劃召開本標(biāo)準(zhǔn)的審查會(huì)。

2022年12月,計(jì)劃標(biāo)準(zhǔn)表決,報(bào)批,正式發(fā)布出版。

三、標(biāo)準(zhǔn)編制原則

標(biāo)準(zhǔn)中相應(yīng)的部分依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)名稱

標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)GB/T1.1–2009《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分:標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫》

國際單位ISO80000-1-2009《量和單位第1部分:總則》

“參考文獻(xiàn)”的編寫GB/T7714-2005《文后參考文獻(xiàn)著錄規(guī)則》

《半導(dǎo)體器件集成電路第2部分:數(shù)字集成電路》

GB/T17574和GB/T

術(shù)語《納米技術(shù)晶圓級(jí)納米尺度相變存儲(chǔ)單元電學(xué)操作參數(shù)

33657

測試規(guī)范》

四、確定標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的論據(jù)

本方法是非易失性相變存儲(chǔ)器電性能測試方法。具體原理如下:

用于相變存儲(chǔ)單元電性能測試的儀器與組網(wǎng)主要儀器包括源測量單元、信號(hào)

發(fā)生器、探針臺(tái)或者測試夾具、變溫探針臺(tái)或者加熱臺(tái)。

源測量單元是本測試系統(tǒng)的核心部分,其主要用途是對存儲(chǔ)單元進(jìn)行直流掃

描、電阻讀出及其他操作。它能夠?yàn)橄嘧兇鎯?chǔ)單元提供I-V及脈沖相關(guān)的電特性

測試。用戶可通過操作界面對測試項(xiàng)目進(jìn)行全面的控制和參數(shù)設(shè)定,具有很高的

靈活性和實(shí)用性。

測試相變存儲(chǔ)器所使用的源測量單元,其電壓源輸出范圍應(yīng)不小于±10V,

電壓測量分辨率0.5μV;電流源輸出范圍不小于±100mA,測量分辨率1nA,具

備定制化編程功能。脈沖發(fā)生器須具備脈沖信號(hào)輸出能力,其主要用途是對相變

存儲(chǔ)單元施加讀、寫、擦操作脈沖。輸出電壓范圍在開路負(fù)載時(shí)不小于±10V,

輸出脈沖最小寬度10ns,上升/下降沿不大于10ns,支持自定義波形輸出功能。

也可通過綜合性的半導(dǎo)體特性測試儀等設(shè)備提供上述信號(hào)發(fā)生器與源測量

單元的測試功能。

4

五、實(shí)驗(yàn)方法及結(jié)果分析

名稱內(nèi)容

試驗(yàn)?zāi)康南嘧兇鎯?chǔ)器電性能測試

試驗(yàn)對象相變存儲(chǔ)器

試驗(yàn)方法脈沖電測試

試驗(yàn)儀器脈沖電測量系統(tǒng)

試驗(yàn)中應(yīng)注意的事項(xiàng)儀器的校準(zhǔn)及精度

具體實(shí)驗(yàn)部分見“相變存儲(chǔ)器電性能測試”正文部分。

比對樣品:參比樣品屬于trench型相變存儲(chǔ)器單元,特征尺寸為1250nm。比

對樣品共5組,每個(gè)比對實(shí)驗(yàn)室分別測試1組,分別編號(hào)為A1、A2、A3、A4和

A5。比對樣品由主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室華中科技大學(xué)提供。

比對驗(yàn)證:標(biāo)準(zhǔn)編制工作組所在實(shí)驗(yàn)室作為主導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室,組織了5家實(shí)驗(yàn)室

進(jìn)行比對試驗(yàn)。比對實(shí)驗(yàn)室測試和處理的性能參數(shù)包括樣品的電流-電壓特性、

存儲(chǔ)窗口、置位時(shí)間、置位電壓、復(fù)位時(shí)間、復(fù)位電壓、功耗、疲勞壽命、數(shù)據(jù)

保持時(shí)間等。樣品重復(fù)測試5次,最終結(jié)果取5次測量結(jié)果的算術(shù)平均值。

比對結(jié)果分析:

比對參加單位的比對實(shí)驗(yàn)結(jié)果如表1-表5所示。

經(jīng)計(jì)算,各家實(shí)驗(yàn)室測量結(jié)果的電學(xué)性能水平相近,各比對參加實(shí)驗(yàn)室的結(jié)

果均可接受。計(jì)算結(jié)果說明測量方法可靠、可操作,且普適性好,能保證測量方

法的一致性。

表1比對單位1(樣品A1)實(shí)驗(yàn)結(jié)果

測試次數(shù)

測試項(xiàng)目測試參數(shù)12345平均值

Vth/V1.230.770.920.790.740.89

直流電流-電壓測

Ith/μA2.10.51.10.90.30.98

5

RH/kΩ150.83152.63157.11157.36150.98153.782

存儲(chǔ)窗口測試RL/kΩ4.433.994.344.442.864.012

W34.04738.25336.235.44152.7938.3305

復(fù)位電壓測試VRESET/V2.252.252.252.302.302.27

復(fù)位時(shí)間測試tRESET/ns181818181818

置位電壓測試VSET/V1.01.01.01.01.051.01

置位時(shí)間測試tSET/ns504304404204204324

PSET/pJ3.341.992.571.291.482.13

功耗測試

PRESET/pJ20.5622.8320.9921.4433.2923.82

疲勞壽命測試N1E51E61E51E51E52.8E5

數(shù)據(jù)保持時(shí)間測

tretention85/s2.4E43.4E44.6E42.1E43.4E43.2E4

表2比對單位2(樣品A2)實(shí)驗(yàn)結(jié)果

測試次數(shù)

測試項(xiàng)目測試參數(shù)12345平均值

Vth/V0.630.480.560.361.10.626

直流電流-電壓測

Ith/μA0.50.40.50.30.90.52

6

143.1142.15150.72162.38138.7

RH/kΩ147.41

2.991.952.71.940.45

存儲(chǔ)窗口測試RL/kΩ2.006

W47.8672.89755.82283.701308.2273.485

復(fù)位電壓測試VRESET/V2.01.952.02.02.152.02

復(fù)位時(shí)間測試tRESET/ns181818181818

置位電壓測試VSET/V1.01.01.050.950.70.94

置位時(shí)間測試tSET/ns254354204354204274

PSET/pJ1.772.491.491.960.721.64

功耗測試

PRESET/pJ24.0835.126.6637.11184.936.61

疲勞壽命測試N1.3E51E61E55E41E52.76E5

數(shù)據(jù)保持時(shí)間測

tretention85/s5.4E42.7E42.4E42.9E44.6E43.6E4

表3比對單位3(樣品A3)實(shí)驗(yàn)結(jié)果

測試次數(shù)

測試項(xiàng)目測試參數(shù)12345平均值

Vth/V0.690.590.690.420.500.578

直流電流-電壓

測試

Ith/μA0.60.20.70.40.40.46

7

130.83137.33138.82131.78160.94

RH/kΩ139.94

3.113.443.513.182.82

存儲(chǔ)窗口測試RL/kΩ3.212

W42.06839.92239.5541.4457.07144.010013

復(fù)位電壓測試VRESET/V2.052.052.052.12.12.07

復(fù)位時(shí)間測試tRESET/ns181818181818

置位電壓測試VSET/V1.01.11.11.051.151.08

置位時(shí)間測試tSET/ns204154454154504294

PSET/pJ1.551.353.951.284.142.45

功耗測試

PRESET/pJ24.3221.9821.5524.9628.1424.01

疲勞壽命測試N3E52E51E52E42E41.28E5

數(shù)據(jù)保持時(shí)間

tretention851.6E43.5E45.1E41.4E43.1E42.9E4

測試

表4比對單位4(樣品A4)實(shí)驗(yàn)結(jié)果

測試次數(shù)

測試項(xiàng)目測試參數(shù)12345平均值

Vth/V0.570.481.160.820.480.702

直流電流-電壓

測試

Ith/μA0.50.410.40.50.56

8

142.59145.81157.69140.19130.26

RH/kΩ143.308

3.282.52.673.151.9

存儲(chǔ)窗口測試RL/kΩ2.7

W43.4758.3259.0644.5068.5553.07

復(fù)位電壓測試VRESET/V1.952.052.052.12.12.05

復(fù)位時(shí)間測試tRESET/ns181818181818

置位電壓測試VSET/V1.01.11.11.051.151.08

置位時(shí)間測試tSET/ns154154154154154154

PSET/pJ1.081.271.181.211.561.25

功耗測試

PRESET/pJ20.8630.2528.3325.241.7728.01

疲勞壽命測試N2E42E43E43E47E43.4E4

數(shù)據(jù)保持時(shí)間

tretention85/s3.4E43.6E44.6E43.3E45.6E44.1E4

測試

表5比對單位5(樣品A5)實(shí)驗(yàn)結(jié)果

測試次數(shù)

測試項(xiàng)目測試參數(shù)12345平均值

Vth/V0.550.670.410.560.790.596

直流電流-電壓

測試

Ith/μA0.60.70.30.50.80.58

9

RH/kΩ110.2198.75132.22128.84133.9120.78

存儲(chǔ)窗口測試RL/kΩ1.042.143.442.3322.19

W105.9746.1438.4355.2966.9562.55

復(fù)位電壓測試VRESET/V2.12.12.152.152.22.14

復(fù)位時(shí)間測試tRESET/ns181818181818

置位電壓測試VSET/V0.951.11.051.111.04

置位時(shí)間測試tSET/ns154154304154204194

PSET/pJ1.261.882.531.441.521.73

功耗測試

PRESET/pJ76.3237.0924.1835.7143.5637.64

疲勞壽命測試N4E55E53E53E51E53.2E5

數(shù)據(jù)保持時(shí)間

tretention85/s4.7E43.4E45.3E43.1E43.5E44E4

測試

比對單位與對應(yīng)編號(hào)

比對單位編號(hào)比對單位

1華中科技大學(xué)

2華為技術(shù)有限公司

3長江先進(jìn)存儲(chǔ)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心有限責(zé)任公司

4武漢精測電子集團(tuán)股份有限公司

5武漢嘉儀通科技有限公司

10

六、與國內(nèi)、外同類標(biāo)準(zhǔn)水平對比情況

目前,國際/國內(nèi)尚未發(fā)布有關(guān)測試相變存儲(chǔ)器電性能的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

七、與有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系

本部分編制原則符合國家的有關(guān)法規(guī)法律,與強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)一致。

八、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

暫無。

九、貫徹標(biāo)準(zhǔn)的要求和措施建議

暫無。

十、廢止現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的建議

暫無。

十一、其他應(yīng)予說明的事項(xiàng)

暫無。

11

相變存儲(chǔ)器電性能測試方法

Measurementofphasechangememoryelectricalperformance

編制說明

相變存儲(chǔ)器電性能測試方法

CSTM標(biāo)準(zhǔn)編制工作組

2022年10月30日

編制說明

相變存儲(chǔ)器電性能測試方法

CSTM標(biāo)準(zhǔn)編制說明

一、目的和意義

相變存儲(chǔ)器因具備超高速、高集成度、低功耗等特點(diǎn)而受到國內(nèi)外研究者的

廣泛關(guān)注,被認(rèn)為最有潛力成為下一代主流非易失性存儲(chǔ)器,正在以前所未有的

速度向產(chǎn)業(yè)化方向發(fā)展。

關(guān)于相變存儲(chǔ)器的有效精準(zhǔn)測試是指導(dǎo)性能優(yōu)化的基礎(chǔ),但目前國際國內(nèi)均

無統(tǒng)一的相變存儲(chǔ)器測試標(biāo)準(zhǔn)。隨著近年來相變存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程加劇,亟待建

立一套明確的相變存儲(chǔ)器電性能測試標(biāo)準(zhǔn),以指導(dǎo)器件優(yōu)化設(shè)計(jì)、上下游測試設(shè)

備等產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

本文件規(guī)定了一套明確的相變存儲(chǔ)器電性能測試方法標(biāo)準(zhǔn),分為器件性能測

試和器件可靠性測試,器件性能測試包括電流-電壓特性、存儲(chǔ)窗口、置位時(shí)間、

置位電壓、復(fù)位時(shí)間、復(fù)位電壓、功耗;器件可靠性測試包括耐久和數(shù)據(jù)保持時(shí)

間,對相變存儲(chǔ)器的研究與應(yīng)用至關(guān)重要,滿足眾多相變存儲(chǔ)器生產(chǎn)與應(yīng)用的迫

切需求。

二、工作簡況

1任務(wù)來源

項(xiàng)目名稱:相變存儲(chǔ)器電性能測試方法

任務(wù)來源:2022年CSTM制修訂計(jì)劃,立項(xiàng)批準(zhǔn)號(hào):CSTMLX0000

01003-2022。

起草單位:華中科技大學(xué)、長江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司、中國計(jì)量科學(xué)研究

院、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院。

歸口單位:CSTM

2編制和協(xié)作單位

華中科技大學(xué)是國家教育部直屬重點(diǎn)綜合性大學(xué),由原華中理工大學(xué)、同濟(jì)

醫(yī)科大學(xué)、武漢城市建設(shè)學(xué)院于2000年5月26日合并成立,是國家“211工程”

1

重點(diǎn)建設(shè)和“985工程”建設(shè)高校之一,是首批“雙一流”建設(shè)高校。

學(xué)校學(xué)科齊全、結(jié)構(gòu)合理,基本構(gòu)建起綜合性、研究型大學(xué)的學(xué)科體系。擁

有哲學(xué)、經(jīng)濟(jì)學(xué)、法學(xué)、教育學(xué)、文學(xué)、理學(xué)、工學(xué)、醫(yī)學(xué)、管理學(xué)、藝術(shù)學(xué)、

交叉學(xué)科等11大學(xué)科門類;設(shè)有112個(gè)本科專業(yè),48個(gè)碩士學(xué)位授權(quán)一級(jí)學(xué)科,

46個(gè)博士學(xué)位授權(quán)一級(jí)學(xué)科,39個(gè)博士后科研流動(dòng)站。現(xiàn)有一級(jí)學(xué)科國家重點(diǎn)

學(xué)科7個(gè),二級(jí)學(xué)科國家重點(diǎn)學(xué)科15個(gè)(內(nèi)科學(xué)、外科學(xué)按三級(jí)計(jì)),國家重

點(diǎn)(培育)學(xué)科7個(gè)。在教育部第四輪學(xué)科評(píng)估中,我校44個(gè)學(xué)科參評(píng),全部

上榜,其中機(jī)械工程、光學(xué)工程、生物醫(yī)學(xué)工程、公共衛(wèi)生與預(yù)防醫(yī)學(xué)等4個(gè)學(xué)

科進(jìn)入A+,A類學(xué)科14個(gè),B+及以上學(xué)科33個(gè)。9個(gè)學(xué)科入選國家第二輪“雙

一流”建設(shè)學(xué)科名單。

學(xué)校實(shí)施“人才興?!睉?zhàn)略,師資力量雄厚。現(xiàn)有專任教師3700余人,其

中教授1400余人,副教授1400余人;教師中有院士19人,“973計(jì)劃”項(xiàng)目

首席科學(xué)家15人,重大科學(xué)研究計(jì)劃項(xiàng)目首席科學(xué)家2人,國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃

項(xiàng)目首席科學(xué)家163人(其中包括國際合作科學(xué)家48人),國家級(jí)教學(xué)名師13

人,國家百千萬人才工程入選者43人。國家自然科學(xué)基金創(chuàng)新研究群體11個(gè),

教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)19個(gè)。

中國計(jì)量科學(xué)研究院(以下簡稱“中國計(jì)量院”)成立于1955年,隸屬國家

市場監(jiān)

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