電子化學(xué)品工廠設(shè)計(jì)規(guī)范（征求意見(jiàn)稿）

1 2 4 11.0.3電子化學(xué)品工廠設(shè)計(jì)應(yīng)遵循國(guó)家有關(guān)方針政策，在不斷總結(jié)設(shè)計(jì)、建設(shè)和生產(chǎn)實(shí)踐的基礎(chǔ)上，采用新工藝、新材料和新設(shè)備，符合節(jié)約能源1.0.4電子化學(xué)品工廠設(shè)計(jì)除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)2電子信息行業(yè)工藝制造過(guò)程中使用的專用化學(xué)品或化工材料，主要包括濕式化學(xué)品、特種氣體、光刻膠、研磨液、膜材料、顯示材料、前驅(qū)體電子信息行業(yè)工藝制造過(guò)程中使用的，主體成分純度較高（一般純度大于99.99%對(duì)金屬、顆粒物等雜質(zhì)有含量限制的、常溫常壓下為液態(tài)電子信息行業(yè)工藝制造過(guò)程中使用的常溫常壓下為氣態(tài)的化學(xué)品，一般應(yīng)用于薄膜、刻蝕、清洗、離子注入、摻雜、外延、稀釋等工藝過(guò)程，源、金屬氮化物MO源、金屬薄膜MO源，其成分一般為高純金屬有機(jī)化32.0.10化學(xué)品裝卸柜chemicalloadingan42滿足設(shè)備搬入、安裝、調(diào)試、檢修、維護(hù)及生產(chǎn)3.0.2電子化學(xué)品工廠對(duì)生產(chǎn)、倉(cāng)儲(chǔ)、分析檢測(cè)以及特殊局部區(qū)域有潔凈環(huán)境要求的，其潔凈環(huán)境的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB500733.0.3電子化學(xué)品工廠廠房或倉(cāng)庫(kù)的防火間距，應(yīng)符合《精細(xì)化工企業(yè)工3.0.4電子化學(xué)品工廠設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用資源，保護(hù)環(huán)境，防止和減少在建設(shè)生產(chǎn)活動(dòng)中產(chǎn)生廢氣、廢水、廢液、粉塵以及噪聲等對(duì)環(huán)境的污染和危3.0.5如有使用或生產(chǎn)甲、乙、丙類液體和易溶于水的氣體的露天生產(chǎn)設(shè)54.1.1廠址選擇應(yīng)符合國(guó)家工業(yè)布局及產(chǎn)業(yè)政策、區(qū)域規(guī)劃、行業(yè)規(guī)劃及根據(jù)產(chǎn)業(yè)規(guī)劃和化工企業(yè)布局的要求，都應(yīng)在化工園區(qū)內(nèi)建設(shè)。污染和危險(xiǎn)性較小的電子化學(xué)品企業(yè)，也應(yīng)建設(shè)在專門(mén)的電子化學(xué)品供應(yīng)穩(wěn)定性都有較高的要求，廠址選擇時(shí)，考慮在下游企業(yè)聚集的區(qū)域周邊建設(shè)，有利于產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，保障下游生產(chǎn)穩(wěn)定，也有利于化學(xué)品企業(yè)的生產(chǎn)和銷售。一般可考慮距下游企業(yè)汽車運(yùn)輸一日內(nèi)可達(dá)的距離。4.1.2散發(fā)有害物質(zhì)的工廠廠址應(yīng)位于鄰近居民區(qū)或城鎮(zhèn)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，且不應(yīng)位于窩風(fēng)地段，并應(yīng)滿足有關(guān)防護(hù)距離的要求。有較高潔凈度要求的工廠，當(dāng)臨近散發(fā)顆粒和有機(jī)污染源的工廠時(shí)，應(yīng)位于其4.2.1總平面布置宜根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)特點(diǎn)和火災(zāi)危險(xiǎn)性，按生產(chǎn)、倉(cāng)儲(chǔ)、4.2.2同一工廠生產(chǎn)不同種類的電子化學(xué)品時(shí)，宜條文說(shuō)明：生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝、火災(zāi)危險(xiǎn)類別、不同工藝裝置之間的聯(lián)系、危險(xiǎn)因素等確定。電子化學(xué)品種類較多，一個(gè)工廠一般會(huì)生產(chǎn)多種產(chǎn)品，不同種類的產(chǎn)品分區(qū)域集中布置，有利于生產(chǎn)管理和全廠的64.2.3動(dòng)力站宜全廠統(tǒng)一、靠近負(fù)荷中心布置；并應(yīng)位于散發(fā)可燃?xì)怏w、蒸汽的廠房（生產(chǎn)設(shè)施）全年最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。各生產(chǎn)車間內(nèi)不宜條文說(shuō)明：行業(yè)內(nèi)有部分工廠動(dòng)力設(shè)施就近設(shè)置在生產(chǎn)車間內(nèi)或者貼臨建設(shè)，有利于生產(chǎn)控制。但動(dòng)力設(shè)施故障或者動(dòng)力供應(yīng)中斷，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全都有較大影響，車間內(nèi)的動(dòng)力設(shè)施容易受工藝裝置的影響，從節(jié)能和安全角度考慮，集中建設(shè)動(dòng)力設(shè)施更有4.2.4廠區(qū)道路及綠化的設(shè)置應(yīng)符合以2電子化學(xué)品工廠廠區(qū)綠化，不應(yīng)種條文說(shuō)明：電子化學(xué)品純度較高，工廠內(nèi)一般會(huì)設(shè)置有潔凈室，減少4.2.5全廠變、配電所不應(yīng)設(shè)置在甲、乙類廠房?jī)?nèi)或貼鄰甲、乙類廠房，且不應(yīng)設(shè)置在爆炸性氣體環(huán)境、粉塵環(huán)境的危險(xiǎn)區(qū)域內(nèi)。供甲、乙類廠房專用的10kV及以下的變、配電站可與廠房一面貼鄰，貼臨面應(yīng)以無(wú)門(mén)、條文說(shuō)明：電子化學(xué)品工藝裝置規(guī)模一般較小，其設(shè)備功率多為幾千瓦到幾十千瓦。用于甲乙類廠房?jī)?nèi)的攪拌電機(jī)，泵、風(fēng)機(jī)等設(shè)備的配電設(shè)備，靠近用電設(shè)備布置，更經(jīng)濟(jì)和合理。但是考慮到甲乙類廠房?jī)?nèi)物料的爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)，配電設(shè)備及其所在房間應(yīng)該做相應(yīng)的措施，以消除配電74.2.6供全廠多個(gè)工藝裝置使用的移動(dòng)式原料槽罐車，應(yīng)在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置專門(mén)的集中停車區(qū)或槽罐堆放區(qū)，并在該區(qū)域內(nèi)設(shè)置固定式卸車設(shè)備，通過(guò)從供應(yīng)安全的角度考慮，移動(dòng)式儲(chǔ)罐也是儲(chǔ)罐，并且長(zhǎng)時(shí)間停放有泄漏或作為原料罐或者產(chǎn)品罐使用時(shí)，可以停放在車間旁專門(mén)劃定的區(qū)域，見(jiàn)本85.1.1電子化學(xué)品工廠工藝設(shè)計(jì)應(yīng)具有靈活性和適應(yīng)性，不同工序的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、設(shè)備選型應(yīng)根據(jù)每個(gè)工序和單體設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)效率及中間產(chǎn)品的操作5.1.2廠房的工藝區(qū)劃宜按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程布置，廠房?jī)?nèi)合成、提純、條文說(shuō)明：電子化學(xué)品生產(chǎn)過(guò)程包括不同工序，各個(gè)工序?qū)S房環(huán)境的要求不同，分工序集中布置，可將要求相近的設(shè)備布置在同一環(huán)境中，5.1.3工藝生產(chǎn)裝置內(nèi)的設(shè)備、管道的材質(zhì)以及管件應(yīng)根據(jù)物料性質(zhì)、工5.1.4工藝系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)滿足化學(xué)品純度控制要求。超高純電子化學(xué)品工藝條文說(shuō)明：超高純產(chǎn)品由于其純度極高，取樣過(guò)程中容易造成樣品的5.2.1有純度要求的原料從槽罐車、桶、瓶中加入工藝裝置中時(shí)，應(yīng)使用帶局部潔凈措施的卸車柜或化學(xué)品供應(yīng)柜進(jìn)行輸送。有火災(zāi)和爆炸危險(xiǎn)、條文說(shuō)明：原料從包裝中加入工藝系統(tǒng)時(shí)極易受到污染，通過(guò)卸車或者加料設(shè)備進(jìn)行輸送，可以避免物料的污染，保證生產(chǎn)品質(zhì)，同時(shí)也可以95.2.2潔凈環(huán)境中不宜使用敞開(kāi)式原料添加系統(tǒng)，因工藝特殊需求必須敞工藝設(shè)備組合一體的密封罩，裝料或卸料過(guò)程收集的有機(jī)廢氣應(yīng)集中收集2敞開(kāi)加料時(shí)，加料斗應(yīng)做好防止物料溢散條文說(shuō)明：敞開(kāi)加料容易產(chǎn)生物料揮發(fā)，造成潔凈環(huán)境的污染，并產(chǎn)生安全風(fēng)險(xiǎn)，因此應(yīng)盡量不使用敞開(kāi)加料的系統(tǒng)，必須敞開(kāi)時(shí)，需要設(shè)置局部排風(fēng)，局部排風(fēng)罩罩口應(yīng)減小吸氣范圍，以減少空調(diào)和廢氣系統(tǒng)的符因工藝特殊需求必須采用間歇操作時(shí)，應(yīng)根據(jù)反應(yīng)安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估等級(jí)設(shè)置5.2.4提純系統(tǒng)工藝設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)物料原料組分、提純難易程度及產(chǎn)品要求確定；精餾、萃取、吸收、吸附等提純工藝宜采用連續(xù)生產(chǎn)工藝，結(jié)晶、升華、凝華等提純工藝可采用間歇生產(chǎn)工藝。提純系統(tǒng)應(yīng)配套設(shè)置不合格5.2.5桶裝、瓶裝、袋裝等小包裝原料應(yīng)為敞口容器配置密閉通風(fēng)柜，并將容器布置在通風(fēng)柜內(nèi)，且通風(fēng)柜內(nèi)應(yīng)條文說(shuō)明：可燃性物料如果在敞口容器中，容易揮發(fā)至環(huán)境中，造成環(huán)境空氣污染，并產(chǎn)生安全隱患。因此應(yīng)盡量使用密閉容器進(jìn)行物料混合配比。如果必須在敞開(kāi)情況下操作，要將揮發(fā)性的物料限制在有限的密閉已有的光刻膠和部分小批量的化學(xué)品生產(chǎn)過(guò)程中，一些有機(jī)溶劑會(huì)使用直接從小包裝容器中倒入混配設(shè)備中的方法，發(fā)生過(guò)事故。這種操作也不利于產(chǎn)品質(zhì)量控制，因此可燃性原料應(yīng)使用加料設(shè)備通過(guò)管道輸送至相5.2.6氣體混配系統(tǒng)，宜設(shè)置稱重儀計(jì)量氣體質(zhì)量。當(dāng)混配精度要求不高條文說(shuō)明：特氣最終產(chǎn)品大多是一種或多種氣體的混合物，并且有明確的比例要求，由于氣體的體積計(jì)量受到溫度、壓力的影響較大，因此采稱量時(shí)應(yīng)根據(jù)混配的精度，選取合適精度的秤，由于容器本身重量不同，5.2.7原料預(yù)處理設(shè)備、提純?cè)O(shè)備及灌（充）裝裝置進(jìn)入最終包裝容器前的管道上，均宜設(shè)置過(guò)濾設(shè)備，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品質(zhì)量要求選擇合適的濾殼材質(zhì)條文說(shuō)明：顆粒物是電子化學(xué)品中一種主要的雜質(zhì)，顆粒物一般是原料中帶入或生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生，在原料、提純及最終包裝前設(shè)置不同精度的過(guò)濾器，可以保證顆粒物的有效去除。僅在原料端設(shè)置過(guò)濾器，無(wú)法去除5.2.8工藝設(shè)備及管道材料應(yīng)選用防腐蝕、防滲析，防止金屬離子及顆粒條文說(shuō)明：根據(jù)生產(chǎn)實(shí)踐，電子化學(xué)品中的金屬離子和顆粒物，有部分是從不潔凈的設(shè)備、管道、管件中析出的，這種析出的顆粒物在生產(chǎn)過(guò)程匯總不易檢測(cè)到，因此相關(guān)設(shè)備材料的選擇，應(yīng)當(dāng)考慮防止離子和顆粒物析出，優(yōu)先選用已有使用經(jīng)驗(yàn)的材料。選用新材料的，應(yīng)先對(duì)材料做析5.2.9含有易燃、有毒介質(zhì)的生產(chǎn)裝置應(yīng)設(shè)有事故緊急排放設(shè)施。排放的廢氣、廢液應(yīng)根據(jù)介質(zhì)種類及其危險(xiǎn)性單獨(dú)其內(nèi)部進(jìn)行清洗。對(duì)不能含有水份的產(chǎn)品，宜設(shè)置烘干或除水設(shè)備對(duì)包裝條文說(shuō)明：氣體混配后，將氣瓶靜置，僅靠氣瓶?jī)?nèi)氣體擴(kuò)散，很難達(dá)到各組分混合均勻的狀態(tài)，因此一般設(shè)置氣瓶混勻機(jī)，混勻機(jī)可設(shè)置滾動(dòng)式或者搖動(dòng)式，但都應(yīng)設(shè)置相應(yīng)的防護(hù)和氣瓶固定，防止氣瓶從混勻機(jī)跌蝕性物料管線的吹掃時(shí)，宜使用獨(dú)立的氣瓶系統(tǒng)供氣。使用公用系統(tǒng)的惰性氣體吹掃時(shí)，吹掃氣源管路與公用系統(tǒng)接口的根部應(yīng)設(shè)置止回閥和切斷條文說(shuō)明：更換濾芯時(shí)過(guò)濾器內(nèi)壁及新的濾芯會(huì)與環(huán)境空氣接觸，非潔凈環(huán)境會(huì)污染過(guò)濾器內(nèi)部和濾芯。過(guò)濾的潔凈環(huán)境不一定要是永久的，條文說(shuō)明：物料會(huì)在同一套真空系統(tǒng)和排氣管路匯合，從而有可能發(fā)5.3.2在灌（充）裝場(chǎng)地內(nèi)外醒目處，應(yīng)根據(jù)灌（充）裝物料特性設(shè)置符條文說(shuō)明：灌充裝系統(tǒng)大多會(huì)涉及包裝容器和生產(chǎn)系統(tǒng)的人工連接，此區(qū)域的人工操作較多，人員進(jìn)出該區(qū)域頻繁，容易產(chǎn)生誤操作，應(yīng)在相5.3.3灌（充）裝設(shè)施的管道、閥門(mén)、連5.3.4灌（充）裝系統(tǒng)可與生產(chǎn)裝置布置在同一建筑物內(nèi)，靠近前序生產(chǎn)5.3.5灌（充）裝系統(tǒng)可在系統(tǒng)旁就地設(shè)置裝置控制柜及控制面板，當(dāng)系統(tǒng)處于爆炸危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其控制柜和操作面板應(yīng)采用正壓通風(fēng)防護(hù)或采取條文說(shuō)明：根據(jù)行業(yè)生產(chǎn)需求，濕化學(xué)品的灌裝系統(tǒng)和氣體的充裝系統(tǒng)涉及到大量的更換包裝的人工操作，當(dāng)人工更換好包裝容器時(shí)，會(huì)按控制系統(tǒng)的預(yù)設(shè)程序進(jìn)行自動(dòng)的灌（充）裝操作，當(dāng)自控系統(tǒng)的操作面板位于現(xiàn)場(chǎng)時(shí)，便于人員在做完準(zhǔn)備工作后，及時(shí)進(jìn)行后續(xù)操作處理，因此可以就地設(shè)置控制系統(tǒng)的操作面板，操作盤(pán)等。但如果操作盤(pán)位于爆炸危險(xiǎn)5.3.7灌（充）裝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置流量或重量計(jì)量?jī)x表，并與容器前進(jìn)料閥連條文說(shuō)明：生產(chǎn)實(shí)踐中，非自動(dòng)的充裝設(shè)備經(jīng)常發(fā)生過(guò)充或者溢出的5.3.8可燃、有毒或腐蝕性物料的灌（充）裝系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置泄漏應(yīng)急處理5.3.10氣體充裝系統(tǒng)應(yīng)包括減壓、過(guò)濾、吹掃、抽真空、排氣、安全泄放功能。特種氣體宜使用自動(dòng)充裝系統(tǒng)，使用非自動(dòng)充裝系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)設(shè)置防2按工藝流程順序和同類型設(shè)備集中的葫蘆或設(shè)置固定吊點(diǎn)等措施，并按最大起重件尺寸預(yù)留吊裝通道或臨時(shí)放5.4.2設(shè)備操作平臺(tái)，宜多臺(tái)設(shè)備共用或使用聯(lián)合平臺(tái)，并合理利用建筑5.4.3生產(chǎn)操作、設(shè)備檢修過(guò)程中可能出現(xiàn)可燃、腐蝕性液體介質(zhì)的區(qū)域5.4.4有爆炸危險(xiǎn)的工藝設(shè)備宜布置在廠房或生產(chǎn)裝置區(qū)的一端或一側(cè)，5.4.5有空間高度要求的設(shè)備條文說(shuō)明：如帶攪拌器的儲(chǔ)罐、反應(yīng)器等。帶攪拌器的設(shè)備一般凈高比較高，為防止個(gè)別設(shè)備過(guò)高導(dǎo)致潔凈區(qū)層高加大，潔凈區(qū)能耗加大，應(yīng)盡量將凈高比較高的設(shè)備集中布置，局部加高潔凈區(qū)層高，其余空間內(nèi)層高保持正常。5.4.6同一產(chǎn)品的原料加料設(shè)備，反應(yīng)、混配設(shè)備，提純?cè)O(shè)備及灌（充）裝設(shè)備，宜布置在同一建筑的不同房間內(nèi)。同一類產(chǎn)品，可按前述設(shè)備分條文說(shuō)明：便于分別控制潔凈度，以控制產(chǎn)品質(zhì)量，并減少能耗。也5.4.7車間內(nèi)應(yīng)設(shè)計(jì)桶裝、瓶裝、袋裝等小包裝原料的暫存區(qū)域，暫存量條文說(shuō)明：小包裝物料由于容量較小，加料頻繁，需考慮物料在車間設(shè)置固定的暫存區(qū)，便于隨時(shí)取用生產(chǎn)。同時(shí)也應(yīng)控制暫存的總量，以減裝口區(qū)域設(shè)置局部高等級(jí)潔凈區(qū)。灌（充）裝設(shè)備傳輸線穿越不同潔凈等間內(nèi)應(yīng)設(shè)置排氣設(shè)施，排氣應(yīng)進(jìn)行收集和處理?？臻g內(nèi)氣壓應(yīng)小于周邊環(huán)條文說(shuō)明：運(yùn)輸一般使用叉車，人工液壓拖車搬運(yùn)，一般使用托盤(pán)堆放，由于托盤(pán)寬度和叉車轉(zhuǎn)彎的需要，保證2m的運(yùn)輸通道環(huán)境內(nèi)可能散發(fā)比空氣中的可燃?xì)怏w或蒸汽時(shí)，應(yīng)在秤坑內(nèi)或邊沿設(shè)置可5.4.12有防微振要求的生產(chǎn)或檢5.4.13內(nèi)部物料可能發(fā)生反應(yīng)的不同設(shè)備不應(yīng)布置在同一潔凈間內(nèi)或共用5.5.1管道布置應(yīng)滿足工藝流程、安全生產(chǎn)、施工、操作、檢修等方面的要求；應(yīng)統(tǒng)籌規(guī)劃，集中布置，整齊美觀，并合理利用建、構(gòu)筑物設(shè)置管5.5.2可燃?xì)怏w、可燃或腐蝕性液1應(yīng)地上敷設(shè)。必須采用管溝敷設(shè)時(shí)，管溝內(nèi)應(yīng)采取防止介質(zhì)積聚2跨越道路的管道，在道路上方段不應(yīng)設(shè)置閥門(mén)及易發(fā)生泄漏的管3永久性的地上、地下管道，不得穿越與其無(wú)關(guān)的生產(chǎn)設(shè)施、生產(chǎn)5.5.3輸送易燃、助燃介質(zhì)的管道在室2不應(yīng)穿越不使用該類介質(zhì)的房間，必須穿越時(shí)，應(yīng)對(duì)該段管道加4管道的豎井或管溝應(yīng)為不燃燒體。與在安全、防火、防爆等方面5不應(yīng)設(shè)置在房間吊頂內(nèi)以及管溝內(nèi)，必須布置在管溝內(nèi)時(shí)，管溝5.5.4用于電子化學(xué)品生產(chǎn)、存儲(chǔ)、輸送過(guò)程中所使用設(shè)備及管道材質(zhì)不5.5.6有毒電子化學(xué)品管道宜選用金屬管道或套管，采用套管的，應(yīng)在套5.5.7高純物料金屬管道宜采用卡套1自燃、有劇毒的特種氣體，宜采用VCR連接或套管輸送，使用套管時(shí)，外管可抽負(fù)壓或充氮?dú)饩S持正壓，外管應(yīng)接壓力表或壓力報(bào)警器和2特種氣體管道和吹掃氣體管道和管件應(yīng)采用奧氏體不銹鋼無(wú)縫鋼5.5.9高純氣體輸送系統(tǒng)的管道，應(yīng)選用滲透性小、吸附性差的材料。宜5.6.1根據(jù)工藝操作的需求，電子化學(xué)品裝置可采用就地PLC控制和控制5.6.2電子化學(xué)品生產(chǎn)裝置就地自動(dòng)控制，對(duì)于生產(chǎn)車間內(nèi)的非爆炸危險(xiǎn)區(qū)域，可就地設(shè)置PLC控制柜和操作面板，對(duì)布置在爆炸危險(xiǎn)的區(qū)域的就地控制柜和操作面板，應(yīng)采取防爆措施，且滿足爆炸危險(xiǎn)區(qū)域內(nèi)電氣防爆5.6.3工藝系統(tǒng)應(yīng)采用DCS或PLC系統(tǒng)控制。欠氧、充氮的，使用甲、乙類可燃液體的場(chǎng)合，應(yīng)設(shè)置獨(dú)立于過(guò)程控制系5.6.6可燃?xì)怏w或有毒氣體檢測(cè)信號(hào)作為安全儀表系統(tǒng)的輸入時(shí)，探測(cè)器宜獨(dú)立設(shè)置，探測(cè)器輸出信號(hào)應(yīng)送至相應(yīng)的安全儀表系統(tǒng)，探測(cè)器的硬件配置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工安全儀表系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB/T507705.6.7供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)電子化學(xué)品工廠的特點(diǎn)、生產(chǎn)規(guī)模、負(fù)荷性5.7.2甲、乙類廠房?jī)?nèi)不應(yīng)設(shè)置全廠分析檢測(cè)室，設(shè)置僅供本廠房?jī)?nèi)裝置5.7.3高純產(chǎn)品的生產(chǎn)車間內(nèi)可設(shè)置在線分析裝置或設(shè)備。當(dāng)在線分析設(shè)備布置在爆炸危險(xiǎn)區(qū)時(shí)，應(yīng)設(shè)置在獨(dú)立的封閉區(qū)域或柜體內(nèi)，并應(yīng)保持封閉區(qū)域或柜體內(nèi)正壓通風(fēng)，并設(shè)置內(nèi)部壓力報(bào)警，且封閉區(qū)域或柜體內(nèi)還條文說(shuō)明：電子化學(xué)品純度較高，取樣時(shí)可能會(huì)污染產(chǎn)品，導(dǎo)致質(zhì)量檢測(cè)不準(zhǔn)確。級(jí)別要求高的電子化學(xué)品一般會(huì)設(shè)置在線檢測(cè)設(shè)備，在線檢測(cè)設(shè)備距離裝置產(chǎn)品出口不宜過(guò)遠(yuǎn)，否則會(huì)影響檢測(cè)效果。檢測(cè)設(shè)備一般不具備防爆功能，為了保證生產(chǎn)安全，將檢測(cè)設(shè)備布置在爆炸危險(xiǎn)區(qū)內(nèi)，5.7.4分析檢測(cè)室中宜設(shè)置原料、產(chǎn)品及5.8.1電子化學(xué)品工廠應(yīng)設(shè)置廢氣處理性廢氣、堿性廢氣、劇毒廢氣及含爆炸性粉塵廢氣等分別收集處理，不得205.8.3當(dāng)廢氣系統(tǒng)可能混入空氣等含氧氣體時(shí)，且廢氣中的可燃?xì)怏w濃度5.8.4工藝裝置內(nèi)排氣和需處理的環(huán)境排氣應(yīng)使用獨(dú)立的管道系統(tǒng)排入廢5.8.5廢氣處理可采用吸附、吸收、熱分解、燃燒及以上幾種處理方式的5.8.6廢液回收設(shè)施，宜根據(jù)工藝裝置產(chǎn)出的廢液危險(xiǎn)類別、濃度和數(shù)量5.8.7工廠產(chǎn)生的廢液、固廢、危廢，宜設(shè)置專門(mén)的儲(chǔ)存場(chǎng)所，并在場(chǎng)所216.1.1電子化學(xué)品工廠生產(chǎn)及儲(chǔ)存介質(zhì)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家6.1.2電子化學(xué)品廠房或倉(cāng)庫(kù)的火災(zāi)危險(xiǎn)性類別應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)，有爆炸危險(xiǎn)的甲、乙類廠房的承重結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混6.1.4潔凈廠房（室）設(shè)計(jì)應(yīng)滿足工藝總體布局要求，人流和物流運(yùn)輸?shù)?.1.5廠房的生產(chǎn)環(huán)境應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的需求，并應(yīng)考慮節(jié)能和安全的要6.2.1潔凈廠房（室）內(nèi)設(shè)置甲、乙類物料暫存區(qū)、暫存間、溶劑清洗間暫存區(qū)、暫存間、溶劑清洗間的墻體、樓板、屋面的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家6.2.2潔凈廠房?jī)?nèi)宜設(shè)置廢液暫存間或溶劑暫存間，宜設(shè)置在廠房一層，6.2.3當(dāng)廠房的潔凈室內(nèi)設(shè)有甲、乙類溶劑清洗間時(shí)，清洗間應(yīng)通過(guò)強(qiáng)制22乙類溶劑或清洗劑進(jìn)行設(shè)備或容器的清洗，由于清洗過(guò)程中溶劑會(huì)少量揮發(fā)至空間中，可能會(huì)對(duì)周邊房間的防火防爆設(shè)計(jì)產(chǎn)生影響，且房間內(nèi)散發(fā)的甲乙類溶劑蒸汽散溢到周邊環(huán)境中，也會(huì)影響周邊潔凈區(qū)域。故清洗間6.2.4甲、乙類廠房?jī)?nèi)設(shè)置分析檢測(cè)室時(shí)，應(yīng)以抗爆墻與生產(chǎn)區(qū)隔開(kāi)，并6.2.5控制室、中心控制室應(yīng)根據(jù)電子化學(xué)品生產(chǎn)規(guī)模和特點(diǎn)，并結(jié)合企1生產(chǎn)區(qū)與灌（充）裝區(qū)、清洗區(qū)可設(shè)在同一建筑物內(nèi)，但應(yīng)用實(shí)體墻隔開(kāi)，并各自設(shè)置獨(dú)立出入口通向室外或2空瓶與實(shí)瓶區(qū)可設(shè)置在同一建筑物內(nèi)，但不應(yīng)在4有爆炸危險(xiǎn)的化學(xué)品和無(wú)爆炸危險(xiǎn)的化學(xué)品的灌（充）裝設(shè)施位于6.2.9劇毒物料的生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)單獨(dú)設(shè)置，與其他生產(chǎn)區(qū)域用墻體隔開(kāi)，并23叉車搬運(yùn)的物料，宜設(shè)置快速卷簾門(mén)和叉車風(fēng)淋通道，且叉車通道寬度不6.3.1電子化學(xué)品工廠應(yīng)根據(jù)工藝需要設(shè)計(jì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境，并設(shè)置能夠控制環(huán)境中的微粒和影響產(chǎn)品質(zhì)量的雜質(zhì)的設(shè)施和對(duì)環(huán)境中的溫度、濕度、6.3.2潔凈室（區(qū)）內(nèi)的物料儲(chǔ)條文說(shuō)明：配備不影響潔凈室性能的工器具，裝置，以保證潔凈室的廠房潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)，應(yīng)執(zhí)行現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)6.3.4原料加入、產(chǎn)品灌（充）裝系統(tǒng)宜設(shè)置在萬(wàn)級(jí)或千級(jí)潔凈環(huán)境內(nèi)；如產(chǎn)品純度有更高要求，宜在灌（充）裝區(qū)域設(shè)置局部更高等級(jí)的潔凈環(huán)6.3.5當(dāng)生產(chǎn)工藝無(wú)明確要求時(shí)，生產(chǎn)裝置所在潔凈室（區(qū)）的潔凈度、序號(hào)產(chǎn)品類別房間類別潔凈度溫度(℃)相對(duì)濕度（%）241光刻膠生產(chǎn)區(qū)十萬(wàn)級(jí)23±145±5灌裝間千級(jí)23±145±5外包裝間萬(wàn)級(jí)或千級(jí)23±345±10清洗間千級(jí)23±145±5洗瓶間千級(jí)23±345±5物料（緩沖）間萬(wàn)級(jí)23±345±102濕式電子化學(xué)品/有機(jī)溶劑生產(chǎn)區(qū)/18~2630~70灌裝區(qū)萬(wàn)級(jí)或千級(jí)18~2630~50分析檢測(cè)間千級(jí)19~2530~503清洗液/研磨液生產(chǎn)區(qū)/23±345±10容器清洗區(qū)萬(wàn)級(jí)或千級(jí)23±345±10灌裝區(qū)千級(jí)23±345±10分析檢測(cè)間千級(jí)23±345±105特氣生產(chǎn)區(qū)/-45±5充裝區(qū)萬(wàn)級(jí)或千級(jí)23±345±5分析檢測(cè)間千級(jí)23±345±56金屬前驅(qū)體充裝區(qū)萬(wàn)級(jí)或千級(jí)23±345±106.3.6使用爆炸危險(xiǎn)物料的潔凈室6.3.7潔凈室的設(shè)計(jì)應(yīng)考慮節(jié)能要求，潔凈室的潔凈度、溫濕度滿足工藝6.3.8潔凈室裝飾材料及其密封材料不應(yīng)采用對(duì)電子化學(xué)品品質(zhì)有影響的材料，裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火6.3.9潔凈室（區(qū)）室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)滿足使用功能的要求，且表253生產(chǎn)酸堿及有腐蝕性產(chǎn)品的環(huán)境，墻條文說(shuō)明：備用機(jī)組是用來(lái)滿足潔凈度的要求。在空調(diào)系統(tǒng)檢修、更換濾網(wǎng)時(shí)，為保證潔凈室的連續(xù)運(yùn)行，設(shè)置備用機(jī)組。備用機(jī)組的設(shè)置方式可以是設(shè)置兩臺(tái)或多臺(tái)小功率的空調(diào)，在一臺(tái)檢修時(shí)，其他空調(diào)可以保267.0.1工廠倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)應(yīng)根據(jù)倉(cāng)儲(chǔ)需求、存儲(chǔ)條件、消防、安全性等因素，結(jié)7.0.2工廠倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)面積及空間應(yīng)與生產(chǎn)規(guī)模相適應(yīng)，應(yīng)能滿足設(shè)備設(shè)施安條文說(shuō)明：工廠的倉(cāng)儲(chǔ)區(qū)域應(yīng)與生產(chǎn)規(guī)模適應(yīng)，不宜過(guò)大或者過(guò)小，倉(cāng)儲(chǔ)空間過(guò)小，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，會(huì)導(dǎo)致物料臨時(shí)儲(chǔ)存在車間內(nèi)或者室7.0.3產(chǎn)品有潔凈儲(chǔ)存要求時(shí)，不得將產(chǎn)品臨時(shí)儲(chǔ)存在潔凈生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)，條文說(shuō)明：潔凈區(qū)一般是一個(gè)密閉的環(huán)境，如果將產(chǎn)品臨時(shí)放置在潔凈區(qū)內(nèi)，一旦發(fā)生傾倒或者泄漏，會(huì)影響潔凈區(qū)域內(nèi)生產(chǎn)；而且物料儲(chǔ)存會(huì)影響區(qū)域內(nèi)的人員流線，造成安全隱患。所以產(chǎn)品必須及時(shí)轉(zhuǎn)運(yùn)至車間7.0.4在生產(chǎn)車間外貼臨設(shè)置的供某一裝置專用的槽罐車裝卸區(qū)域，宜劃7.0.5裝卸有純度要求的物料，宜采用密閉裝卸柜，且裝卸柜的設(shè)置應(yīng)采2有爆炸危險(xiǎn)的物料裝卸柜內(nèi)應(yīng)設(shè)置物料泄277.0.6使用或儲(chǔ)存甲、乙、丙類可燃液體的倉(cāng)庫(kù)應(yīng)設(shè)置防止液體流散的設(shè)7.0.7移動(dòng)式儲(chǔ)罐如果用作原料供應(yīng)或者產(chǎn)品儲(chǔ)存功能時(shí)，應(yīng)在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置獨(dú)立的存放區(qū)域，且儲(chǔ)罐堆疊不宜超過(guò)2層。存放區(qū)域應(yīng)做地面硬化并設(shè)置物料截留溝或集液坑等安全防護(hù)措施。供某一裝置單獨(dú)使用的移動(dòng)式7.0.9倉(cāng)庫(kù)環(huán)境應(yīng)陰涼、通風(fēng)，不同類別化學(xué)品應(yīng)分開(kāi)存放，對(duì)于儲(chǔ)存條件（溫度、濕度、照度、光線等）或安全性有特殊要求的物料和產(chǎn)品，倉(cāng)7.0.10有溫、濕度要求的存儲(chǔ)倉(cāng)庫(kù)應(yīng)配288.1.1電子化學(xué)品工廠消防給水系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《消防給8.1.2電子化學(xué)品工廠氣體滅火系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50370和《二氧化碳?xì)怏w系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB501938.1.3電子化學(xué)品工廠甲、乙、丙類液體儲(chǔ)罐（區(qū)）的泡沫滅火系統(tǒng)的設(shè)8.1.4電子